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本發(fā)明公開了一種四自由度倒裝鍵合頭，包括一個(gè)基于滾珠花鍵副的兩自由度串聯(lián)機(jī)構(gòu)、一個(gè)兩自由度的并聯(lián)機(jī)構(gòu)和吸嘴。在串聯(lián)機(jī)構(gòu)中，滾珠花鍵軸通過轉(zhuǎn)動(dòng)副與滑塊相連，驅(qū)動(dòng)滑塊實(shí)現(xiàn)倒裝鍵合頭 Z 方向的移動(dòng)；其套筒通過另一轉(zhuǎn)動(dòng)副固定在機(jī)架上，驅(qū)動(dòng)與套筒固連的撥叉實(shí)現(xiàn)倒裝鍵合頭 Z 方向的轉(zhuǎn)動(dòng)；并聯(lián)機(jī)構(gòu)由上、下平臺(tái)，以及連接兩者的一條固定支鏈和兩條運(yùn)動(dòng)運(yùn)動(dòng)支鏈組成，驅(qū)動(dòng)兩條運(yùn)動(dòng)支鏈中的移動(dòng)副實(shí)現(xiàn)倒裝鍵合頭 X、Y 方向的微小轉(zhuǎn)動(dòng)；并聯(lián)機(jī)構(gòu)的上平臺(tái)與滾珠花鍵軸固定連接，下平臺(tái)安裝拾取/貼放裸芯的吸嘴。本發(fā)明實(shí)現(xiàn)了倒裝

本發(fā)明屬于晶圓鍵合技術(shù)，為一種短波長光輔助硅片直接鍵合方法，其步驟包括：①清洗；②氧化性氨溶液活化；③將硅片用短波長光繼續(xù)輔助活化，活化后取出；短波長光的波長范圍為 100～400nm，短波長光照射光強(qiáng)為 5～30mW/cm²，活化時(shí)間為 0.5～30分鐘；④預(yù)鍵合；⑤退火。經(jīng)過短波長光輔助活化處理后的鍵合硅片對結(jié)合緊密，無需外壓力作用就能實(shí)現(xiàn)硅硅直接鍵合。本發(fā)明所需設(shè)備簡單，鍵合速度快，鍵合周期短，鍵合面積大，鍵合溫度低，且在鍵合強(qiáng)度及鍵合可靠性上具有

本發(fā)明屬于芯片貼裝設(shè)備相關(guān)領(lǐng)域，并公開了一種面向芯片的 倒裝鍵合貼裝設(shè)備，包括晶元移動(dòng)單元、頂針單元、大轉(zhuǎn)盤單元、小 轉(zhuǎn)盤單元、基板進(jìn)給單元)、貼裝運(yùn)動(dòng)單元，以及作為以上各單元安裝 基礎(chǔ)的支架等，其中晶元移動(dòng)單元可對晶元盤實(shí)現(xiàn)三自由度運(yùn)動(dòng)并實(shí) 現(xiàn)晶元的供給;大轉(zhuǎn)盤單元將脫離晶元盤的芯片精度轉(zhuǎn)移至吸嘴上， 然后由小轉(zhuǎn)盤單元對芯片逐一拾取;基板進(jìn)給單元實(shí)現(xiàn)貼裝基板的進(jìn) 給運(yùn)動(dòng)，貼裝運(yùn)動(dòng)單元?jiǎng)t將拾取完芯片的小轉(zhuǎn)盤運(yùn)動(dòng)至基板貼裝位置， 最終實(shí)現(xiàn)芯片的貼裝。通過本發(fā)明，各個(gè)模塊單元之間相互聯(lián)系，共 同協(xié)作，顯

產(chǎn)品詳細(xì)介紹

成都華芯眾合電子科技有限公司位于成都高新技術(shù)開發(fā)區(qū)，是專業(yè)從事高等院校教學(xué)、科研及軟件研發(fā)、生產(chǎn)、銷售服務(wù)于一體的高新技術(shù)企業(yè)。產(chǎn)品適用于物理、材料、電子、光電等理工科專業(yè)教學(xué)和相關(guān)科研領(lǐng)域。

青島永合創(chuàng)信電子科技有限公司是國內(nèi)專業(yè)研發(fā)、生產(chǎn)、銷售實(shí)驗(yàn)室儀器設(shè)備的公司，擁有自主品牌“CREATRUST”的冷凍干燥機(jī)、實(shí)驗(yàn)室器皿清洗機(jī)、不銹鋼凍存架、凍存盒等系列產(chǎn)品。公司總部位于青島市城陽區(qū)祥陽路106號青島未來科技產(chǎn)業(yè)園，公司擁有實(shí)驗(yàn)室儀器領(lǐng)域?qū)I(yè)的研發(fā)、生產(chǎn)、銷售、售后團(tuán)隊(duì)以及完善的生產(chǎn)設(shè)施和質(zhì)量管理體系。

在汽車熱管理技術(shù)方面，從車輛角度，合理有效地對車輛的發(fā)動(dòng)機(jī)，變 速器、冷卻系統(tǒng)、空調(diào)系統(tǒng)、進(jìn)氣、排氣系統(tǒng)進(jìn)行熱流的控制及利用，使各系統(tǒng) 在一個(gè)最佳的工作環(huán)境下高效地運(yùn)行，達(dá)到節(jié)能減排的目的。

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上機(jī)管理 （1） 教學(xué)上課上機(jī)申請：指導(dǎo)老師使用機(jī)房的上機(jī)申請。對提交的申請可做新增、修改、刪除的編輯，并可即時(shí)打印、生成EXCEL表格 （3）機(jī)房排課表導(dǎo)入，從學(xué)校EXCEL排課表中為指定機(jī)房導(dǎo)入排課基本信息，減少錄入排課信息的工作量 （4）教學(xué)上課上機(jī)安排：正常教學(xué)安排上機(jī)實(shí)習(xí)排課表，其設(shè)置時(shí)間段與“第一周日期設(shè)置“有關(guān) （5）教學(xué)上機(jī)課時(shí)查詢：對計(jì)劃內(nèi)教學(xué)上機(jī)班級的課時(shí)情況查詢 （6）教學(xué)分配機(jī)時(shí)：即個(gè)人機(jī)時(shí)分配 （7）教學(xué)機(jī)時(shí)扣除：可以扣除學(xué)生的上機(jī)時(shí)間 （8）教學(xué)機(jī)時(shí)批量分配：指對多班級、多用戶進(jìn)行批量機(jī)時(shí)的分配 ?(9)教學(xué)機(jī)時(shí)批量清除，對班級多用戶批量清除機(jī)時(shí) ?(10)教學(xué)上機(jī)機(jī)時(shí)管理：指根據(jù)設(shè)定的條件查詢學(xué)生現(xiàn)有機(jī)時(shí)情況，可將查詢到的記錄進(jìn)行分配、扣除、平衡機(jī)時(shí)等操作 財(cái)務(wù)管理：開戶，存款，批量存款，其他收費(fèi)，存款與機(jī)時(shí)修改，上機(jī)金額修改，轉(zhuǎn)賬，退款，批量退款，注銷賬戶 設(shè)備管理：機(jī)房設(shè)備登記，設(shè)備類型登記，自動(dòng)獲取機(jī)器名登記，機(jī)房軟件環(huán)境設(shè)置，機(jī)房設(shè)備監(jiān)控、設(shè)備監(jiān)控生成日志。 四：查詢統(tǒng)計(jì)：學(xué)生情況查詢，流水賬查詢，上機(jī)日報(bào)，收入明細(xì)日報(bào)，上級匯總、用戶機(jī)時(shí)統(tǒng)計(jì)、機(jī)器使用率等查詢統(tǒng)計(jì)的結(jié)果。 五：系統(tǒng)管理：用戶設(shè)置，重置賬號密碼、修改密碼、更改上機(jī)地點(diǎn)、系統(tǒng)鎖定、系統(tǒng)數(shù)據(jù)的備份與還原等。 軟件主要特色 （1）強(qiáng)大的教學(xué)管理功能，采用教學(xué)上機(jī)排課模式，而非預(yù)約方式，可快速生成排課表。可管理：教學(xué)課程、及業(yè)余開放情況，可以根據(jù)教學(xué)發(fā)起的教師申請記錄選擇或者時(shí)手動(dòng)添加記錄安排教學(xué)上機(jī)，課表自動(dòng)生成； 可定義設(shè)置課節(jié)數(shù)、課節(jié)時(shí)間段、課節(jié)時(shí)間長短，以便于靈活的安排機(jī)房空余時(shí)間； （1） 在校園網(wǎng)上管理員可以通過監(jiān)控管理端監(jiān)控功能，查看各臺(tái)電腦的使用情況，用戶可以在監(jiān)控端進(jìn)行不定時(shí)的截圖； 可實(shí)現(xiàn)網(wǎng)上預(yù)約管理，學(xué)生可在校園網(wǎng)訪問了解機(jī)房安排情況，提前預(yù)約機(jī)房上機(jī)或上課，可以單獨(dú)預(yù)約或整體預(yù)約； ?(3)智能識別上課和業(yè)余上機(jī)，自行管理，能夠根據(jù)時(shí)段、設(shè)備情況、地點(diǎn)、身份設(shè)定不同的費(fèi)率；上機(jī)監(jiān)控： (4)查看機(jī)房上機(jī)情況，正在上機(jī)人數(shù)、空閑機(jī)器以及機(jī)房資源利用等； (5)用戶設(shè)置：管理和設(shè)置用戶權(quán)限，權(quán)限要求可以自由分配； 收費(fèi)設(shè)置：分機(jī)房、分時(shí)段、分機(jī)器設(shè)置機(jī)房收費(fèi)標(biāo)準(zhǔn)?？梢栽诳偪囟送瓿伤袡C(jī)房的費(fèi)率設(shè)置；遠(yuǎn)程監(jiān)控：遠(yuǎn)程關(guān)機(jī)，遠(yuǎn)程重新啟動(dòng)，遠(yuǎn)程截屏，消息發(fā)送，ip管理等； 網(wǎng)段管理: 管理跨校區(qū)、跨網(wǎng)段，突破IP網(wǎng)段限制，多機(jī)房統(tǒng)一管理； (6)能處理突然斷電等異常情況。效能評估，可對機(jī)房以及對機(jī)房的每臺(tái)電腦進(jìn)行使用效率分析，對學(xué)生的上課考勤情況進(jìn)行分析；上網(wǎng)管理功能。 (7)指定閱覽或?qū)嵙?xí)的所需運(yùn)行的軟件，禁止U盤、光驅(qū)等杜絕用戶隨意拷貝，記錄每臺(tái)客戶機(jī)瀏覽過的網(wǎng)址，保存上網(wǎng)記錄，可隨時(shí)查詢，記錄每臺(tái)客戶機(jī)所運(yùn)行的程序，保存程序運(yùn)行記錄，(8)可隨時(shí)查詢，遠(yuǎn)程監(jiān)控屏幕，可隨時(shí)遠(yuǎn)程查看讀者當(dāng)前屏幕并加以保存，進(jìn)程痕跡監(jiān)控，在管理機(jī)上可以隨時(shí)查詢所有機(jī)房所有計(jì)算機(jī)的進(jìn)程并能選擇結(jié)束進(jìn)程，系統(tǒng)信息痕跡監(jiān)控，在管理機(jī)上可以隨時(shí)查詢讀者計(jì)算機(jī)硬件信息并加以保存；

智能題庫系統(tǒng)支持學(xué)校自主命題，能幫助教師解決命題難、出卷難等問題，提高命題質(zhì)量和工作效率。智能題庫系統(tǒng)以經(jīng)典測量理論（CTT）、項(xiàng)目反應(yīng)理論（IRT）為理論基礎(chǔ)，試題經(jīng)過學(xué)生考試后，通過教學(xué)質(zhì)量監(jiān)測與評價(jià)系統(tǒng)算出試題CTT值、IRT值，并反饋給智能題庫系統(tǒng)。智慧分辨試題質(zhì)量，擇優(yōu)篩劣收題簡易快捷：支持word批量導(dǎo)入試題細(xì)致化命題：支持按照知識點(diǎn)、難易程度、學(xué)科能力、區(qū)分度、教材大綱、題型等指標(biāo)屬性命題多樣化組卷：人工組卷、指標(biāo)組卷、智能組卷、套卷組卷智能反饋：系統(tǒng)智能反推試題屬性，分辨試題質(zhì)量，擇優(yōu)篩劣（人工+智能）Word智能化分析：支持在線拆題，適應(yīng)廣泛模板人性化模板：針對不同地區(qū)的試卷樣式，可定義不同的試卷模板科學(xué)決策：多維度統(tǒng)計(jì)分析，輔助決策更科學(xué)大容量大負(fù)載：2000000+試題，2000+用戶同時(shí)在線組卷