本發明公開了一種四自由度倒裝鍵合頭,包括一個基于滾珠花鍵副的兩自由度串聯機構、一個兩自由度的并聯機構和吸嘴。在串聯機構中,滾珠花鍵軸通過轉動副與滑塊相連,驅動滑塊實現倒裝鍵合頭 Z 方向的移動;其套筒通過另一轉動副固定在機架上,驅動與套筒固連的撥叉實現倒裝鍵合頭 Z 方向的轉動;并聯機構由上、下平臺,以及連接兩者的一條固定支鏈和兩條運動運動支鏈組成,驅動兩條運動支鏈中的移動副實現倒裝鍵合頭 X、Y 方向的微小轉動;并聯機構的上平臺與滾珠花鍵軸固定連接,下平臺安裝拾取/貼放裸芯的吸嘴。本發明實現了倒裝
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