面向物聯(lián)網(wǎng)硅基SIW帶金屬柱懸臂梁可重構(gòu)帶通濾波器
本發(fā)明公開了一種面向物聯(lián)網(wǎng)的硅基SIW帶金屬柱懸臂梁可重構(gòu)帶通濾波器,包括SIW帶通濾波器、轉(zhuǎn)接結(jié)構(gòu)(3)和帶金屬柱的MEMS懸臂梁結(jié)構(gòu)。帶金屬柱的MEMS懸臂梁結(jié)構(gòu)包括MEMS懸臂梁(6),MEMS懸臂梁依靠錨區(qū)(7)的支持懸浮在硅襯底(1)之上,MEMS懸臂梁的下表面上設(shè)置有金屬柱(11),硅襯底對(duì)應(yīng)金屬柱的位置開設(shè)有孔(14),且該孔(14)穿過硅襯底(1)上的氮化硅層(10)和上表面金屬層(5)進(jìn)入硅襯底(1)中。本發(fā)明只需要通過控制MEMS懸臂梁的狀態(tài)就能夠改變?yōu)V波器通帶的中心頻率,達(dá)到切換濾波器通帶中心頻率的目的,MEMS懸臂梁可以實(shí)現(xiàn)快速的DOWN態(tài)和UP態(tài)的轉(zhuǎn)換,可以有效地實(shí)現(xiàn)微波電路中對(duì)濾波器濾波范圍的控制。
東南大學(xué)
2021-04-11