本發(fā)明的硅基縫隙耦合式T型結(jié)的直接式毫米波信號檢測儀器是由傳感器、模數(shù)轉(zhuǎn)換和液晶顯示三大模塊組成,傳感器由共面波導(dǎo)傳輸線、縫隙耦合結(jié)構(gòu)、移相器、單刀雙擲開關(guān)、T型結(jié)功分器、T型結(jié)功合器以及直接式熱電式功率傳感器所構(gòu)成,該結(jié)構(gòu)是制作在高阻Si襯底上,上方的兩個(gè)縫隙耦合結(jié)構(gòu)實(shí)現(xiàn)信號的頻率測量,下方的兩個(gè)縫隙耦合結(jié)構(gòu)實(shí)現(xiàn)信號的相位測量;T型結(jié)功分器和T型結(jié)功合器是由共面波導(dǎo)傳輸線、扇形缺陷結(jié)構(gòu)和空氣橋組成;直接式熱電式功率傳感器由共面波導(dǎo)傳輸線、熱電偶和隔直電容所構(gòu)成。模數(shù)轉(zhuǎn)換部分由STM32和AD620
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