本發明的硅基縫隙耦合式T型結的間接式毫米波信號檢測儀器是由傳感器、模數轉換、MCS51單片機和液晶顯示四大模塊組成,傳感器是由共面波導傳輸線、縫隙耦合結構、移相器、單刀雙擲開關、T型結功分器、T型結功合器以及間接式熱電式功率傳感器所構成,整個結構基于高阻Si襯底制作,上方的兩個縫隙耦合結構實現信號的頻率測量,下方的兩個縫隙耦合結構實現信號的相位測量;T型結功分器和T型結功合器主要是由共面波導傳輸線、扇形缺陷結構和空氣橋所組成;間接式熱電式功率傳感器由共面波導傳輸線、終端電阻以及熱電堆所構成。模數轉換
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