基于石墨烯的 MEMS 壓力傳感器
基于石墨烯的 MEMS 壓力傳感器,屬于微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)的壓力檢測器件,解決現(xiàn)有 MEMS 壓力傳感器尺寸較大,靈敏度有限的問題。本實(shí)用新型包括基底、絕緣層,所述基底表面氧化形成絕緣層,絕緣層內(nèi)刻蝕出空腔,絕緣層上表面覆蓋石墨烯薄膜,將所述空腔封閉,石墨烯薄膜為 1~5 層;所述石墨烯薄膜邊緣沉積兩個(gè)金屬電極,兩個(gè)金屬電極上分別焊接有導(dǎo)線。本實(shí)用新型采用石墨烯薄膜構(gòu)成 MEMS 壓阻式壓力傳感器,制備方法簡單,可靠性好,壓力傳感器體積更小,從微米尺度變?yōu)榧{米尺度,靈敏度更高,在 1~5 層內(nèi)增
華中科技大學(xué)
2021-04-14