硅基懸臂梁耦合間接加熱式未知頻率毫米波相位檢測器
本發(fā)明的硅基懸臂梁耦合間接加熱式未知頻率毫米波相位檢測器,結(jié)構(gòu)由懸臂梁耦合結(jié)構(gòu)、功率分配/合成器、間接加熱式微波功率傳感器和開關(guān)構(gòu)成。懸臂梁耦合結(jié)構(gòu)上下左右對稱,包括兩組懸臂梁,每組懸臂梁由兩個對稱的懸臂梁構(gòu)成,兩個懸臂梁之間CPW傳輸線的電長度在中心頻率35GHz處為λ/4。為實現(xiàn)未知頻率毫米波相位的檢測,首先進行頻率檢測,頻率檢測通過利用間接加熱式微波功率傳感器測量兩路在中心頻率35GHz處相位差為90度的耦合信號的合成功率實現(xiàn);相位檢測通過將兩路相位差為90度的耦合信號分別同兩路等分后的參考信
東南大學
2021-04-14