本發明的硅基已知頻率縫隙耦合式T型結直接式毫米波相位檢測器是由共面波導傳輸線、縫隙耦合結構、移相器、T型結功分器、T型結功合器以及直接式熱電式功率傳感器所構成,整個結構基于高阻Si襯底制作,一共有四個縫隙耦合結構,上方的兩個縫隙耦合結構連接著兩個直接式熱電式功率傳感器,下方的兩個縫隙耦合結構實現信號的相位測量,在前后縫隙之間設置有一個移相器;T型結功分器和T型結功合器是由共面波導傳輸線、扇形缺陷結構和空氣橋所組成;直接式熱電式功率傳感器主要由共面波導傳輸線、兩個熱電偶和一個隔直電容所構成,每個熱電偶
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