一種石墨烯圖形化摻雜方法
本發(fā)明公開了一種石墨烯圖形化摻雜方法,包括如下步驟:(1) 將氦氣與摻雜氣體混合作為工作氣體導(dǎo)入等離子體發(fā)生裝置中,施加 高壓脈沖電壓,在工作氣體中放電產(chǎn)生室溫常壓等離子體,將形成的 等離子體由引導(dǎo)管的噴嘴導(dǎo)出,形成微等離子體射流;(2)將噴嘴對 準(zhǔn)石墨烯薄膜的指定位置,用微等離子體射流對石墨烯薄膜進行輻照, 將工作氣體的活性原子摻入到被輻照的區(qū)域,在二維平面內(nèi)移動微等 離子體射流或石墨烯薄膜,實現(xiàn)對石墨烯的圖形化摻雜。該方法可有 效地將雜質(zhì)原子摻入到石墨烯的骨架位置上,且不會對石墨烯的原本 結(jié)構(gòu)產(chǎn)生破壞,摻雜過程簡單易行,設(shè)備成本低廉,可實現(xiàn)大規(guī)模生 產(chǎn)。
華中科技大學(xué)
2021-04-13