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本發明屬于晶圓鍵合技術，為一種短波長光輔助硅片直接鍵合方法，其步驟包括：①清洗；②氧化性氨溶液活化；③將硅片用短波長光繼續輔助活化，活化后取出；短波長光的波長范圍為 100～400nm，短波長光照射光強為 5～30mW/cm²，活化時間為 0.5～30分鐘；④預鍵合；⑤退火。經過短波長光輔助活化處理后的鍵合硅片對結合緊密，無需外壓力作用就能實現硅硅直接鍵合。本發明所需設備簡單，鍵合速度快，鍵合周期短，鍵合面積大，鍵合溫度低，且在鍵合強度及鍵合可靠性上具有

本發明屬于芯片貼裝設備相關領域，并公開了一種面向芯片的 倒裝鍵合貼裝設備，包括晶元移動單元、頂針單元、大轉盤單元、小 轉盤單元、基板進給單元)、貼裝運動單元，以及作為以上各單元安裝 基礎的支架等，其中晶元移動單元可對晶元盤實現三自由度運動并實 現晶元的供給;大轉盤單元將脫離晶元盤的芯片精度轉移至吸嘴上， 然后由小轉盤單元對芯片逐一拾取;基板進給單元實現貼裝基板的進 給運動，貼裝運動單元則將拾取完芯片的小轉盤運動至基板貼裝位置， 最終實現芯片的貼裝。通過本發明，各個模塊單元之間相互聯系，共 同協作，顯

產品詳細介紹

成都華芯眾合電子科技有限公司位于成都高新技術開發區，是專業從事高等院校教學、科研及軟件研發、生產、銷售服務于一體的高新技術企業。產品適用于物理、材料、電子、光電等理工科專業教學和相關科研領域。

青島永合創信電子科技有限公司是國內專業研發、生產、銷售實驗室儀器設備的公司，擁有自主品牌“CREATRUST”的冷凍干燥機、實驗室器皿清洗機、不銹鋼凍存架、凍存盒等系列產品。公司總部位于青島市城陽區祥陽路106號青島未來科技產業園，公司擁有實驗室儀器領域專業的研發、生產、銷售、售后團隊以及完善的生產設施和質量管理體系。

成果描述：本發明公開了一種提高噴膜主液穩定性的噴膜防水材料，按重量份包括以下組分：由主液和丙烯酸鹽組成,其重量組分為:主液+丙烯酸鈣液體+丙烯酸鋅固體,各組分的配比為:100份主液+5-20份30%丙烯酸鈣液體+0.8-2.0份丙烯酸鋅水溶液。本發明能夠有效解決噴膜主液自聚及團聚，以提高噴膜主液穩定性，確保噴膜施工的順利進行，穩定噴膜防水材料力學性能。市場前景分析：軌道交通基礎設施建設領域。與同類成果相比的優勢分析：技術先進，性價比較高。

本發明公開了一種提高噴膜主液穩定性的噴膜防水材料，按重量份包括以下組分：由主液和丙烯酸鹽組成,其重量組分為:主液+丙烯酸鈣液體+丙烯酸鋅固體,各組分的配比為:100份主液+5-20份30%丙烯酸鈣液體+0.8-2.0份丙烯酸鋅水溶液。本發明能夠有效解決噴膜主液自聚及團聚，以提高噴膜主液穩定性，確保噴膜施工的順利進行，穩定噴膜防水材料力學性能。

項目成果/簡介:壓電駐極體是具有強壓電效應的柔性駐極體材料，因其表現出“類鐵電性”和，也稱為鐵電駐極體，是一類新型的人工智能和新能源材料。它的壓電性源于雙極性空間電荷在聚合物基體上的取向排列，以及材料特殊的微孔結構。壓電駐極體膜是具有強壓電效應的新型柔性壓電功能膜，與傳統壓電材料的壓電效應起源有本質區別。 與壓電陶瓷和傳統的鐵電聚合物（例如聚偏氟乙烯PVDF及其共聚物）相比較，壓電駐極體具有一些獨特的性能：壓電駐極體在提高壓電活性的同時還擁有聚合物的高柔韌性、薄膜型（厚度可低至40μm）、超輕（體密度可低至330kg/m3）、低成本、低電容率、可大面積成形，以及低聲阻抗（0.03MRayl）等特點。經過特殊工藝制備的壓電駐極體薄膜的準靜態壓電系數d33高達1000pC/N，這一數值遠遠高于PVDF（約25 pC/N）及其共聚物P(VDF/TrFE)。因此，壓電駐極體組合了壓電陶瓷和鐵電聚合物薄膜各自的優點，在國防、醫療、航空航天、綠色能源（例如寬頻帶振動能量采集器、生物運動能量采集、海浪發電等）、控制、通訊（例如自供能微型無線傳感網絡）、智能結構、電聲換能器、空氣耦合超聲換能器等領域有廣闊的應用前景。應用范圍:柔性薄膜傳感器、結構健康監測、人體健康監測、無損檢測、觸覺傳感器、電子肌膚、聲吶、空氣耦合超聲波換能器、微能量采集器等多個領域。項目階段:小規模生產效益分析:目前芬蘭的Emfit公司是唯一能夠大批量生產聚丙烯（PP）壓電駐極體功能膜的生產商，采用的技術主要由兩部分構成：微孔結構薄膜制備和電極化處理。在微孔 薄膜制備階段，首先將聚丙烯樹脂與無機礦物顆粒（例如CaCO3和TiO2）熔融共混，然后擠出成聚丙烯-礦物顆粒復合薄板，最后雙向拉伸形成微孔結構的薄膜。在電極化處理階段采用電暈極化方式。而我們擬采用的技術是：以低廉價格的商品聚丙烯包裝材料為原材料，采用具有自主知識產權的多次壓縮氣體膨化工藝調控薄膜微結構和機電性能，獲得高活性聚丙烯壓電駐極體膜。利用該技術生產出功能薄膜的活性遠高于芬蘭商品膜，最高可達50倍。

?成果與項目的背景及主要用途：用于 CO2 分離的膜技術在天然氣、沼氣的 凈化，三次采油中的 CO2 回收，密閉空間中的 CO2 脫除以及減輕溫室效應等領 域有廣闊的應用性前景。與傳統的 CO2 分離技術相比，膜分離方法具有投資少， 能耗低，環境友好，設備簡單緊湊、節約空間、高效靈活、易于操作等優點，而 且 CO2 濃度越高，膜法分離越經濟，即使 CO2 濃度低于 5%，用膜法的費用也 僅為吸收法的 64.7%。 18天津大學科技成果選編 19 可以用于脫除酸性氣體的膜主要有液膜、無機膜和高分子膜，實際應用中滿 足氣體分離要求的目前只有高分子膜。但普通的高分子膜也存在高的滲透性和選 擇性不能兼得的缺點。含有固定載體的促進傳遞膜兼具液膜和普通高分子膜的優 勢，能同時具有高的分離系數和透過速率，而且穩定性好，是一類很有發展前途 的氣體分離膜，已引起國際上研究者們的極大關注。 技術原理與工藝流程簡介：本研究成果合成了幾種對 CO2 具有促進傳遞作 用的固定載體膜材料，通過載體與 CO2 的相互作用促進 CO2 在膜內的傳遞，因 而具有較高的滲透選擇性。同時由于載體是以化學鍵固定在高分子上，因此具有 很好的穩定性。 本成果以自主開發的固定載體膜材料為分離層，以多種材質的超濾膜為基膜， 制備了用于 CO2 分離的固定載體復合膜。所研制的復合膜，其 CO2/CH4 透過分 離性能處于世界領先水平。 技術水平及專利與獲獎情況：所制備的固定載體復合膜 CO2/CH4 分離因子 可達 100～300，CO2 滲透速率可達 10-6～10-5 cm3(STP)/cm2·s·cmHg。 本研究成果共獲得發明專利 3 項，分別為： 1. 用于酸性氣體分離的固定載體復合膜制備方法（專利號：ZL02148632.8） 2. CO2 氣體分離復合膜的制備方法（專利號：01144974.8） 3. 用于分離酸性氣體的固定載體復合膜制備方法（專利號：ZL02158530.X） 本成果與所在課題組其他成果一起，獲 2004 年度天津市自然科學獎一等獎 應用前景分析及效益預測：本研究成果所開發的 CO2 分離膜制備技術其經 濟效益是明顯的。首先，采用 CO2 膜分離可以降低我國能源生產的成本。我國 目前的天然氣產量已經超過 300 億 m3，若其中的 10%以膜分離方法來進行凈化， 則需要約 12 萬 m2 的膜才能滿足需要，與傳統方法相比每年可節約 4000 萬元。 此外，由于可持續發展和環境保護的需要，采用城市生活垃圾和其他工業垃圾生 產沼氣近年來得到了迅速發展。至今，我國已建設了大中型沼氣池 3 萬多個，總 容積超過 137 萬 m3，年產沼氣 5.5 億 m3，采用膜分離技術處理這些沼氣也需要 大量的 CO2 分離膜。最后，隨著海上油氣資源的開發以及農業生產中氣肥的大 量使用，對 CO2 分離膜的需求和產生的效益也很大。天津大學科技成果選編 應用領域： 1. 天然氣、沼氣的凈化； 2. 三次采油中的 CO2 回收； 3. 密閉空間中的 CO2 脫除； 4. 農業生產中氣肥的使用。 該項目需要以下條件： 1. 聚合物合成的相關設備及原料：反應釜，冷卻裝置等。 2. 復合膜加工設備及原料：涂膜機，干燥器，膜交聯設備，交聯劑等。 3. 膜組件加工設備及原料。 4. 需要廠房面積大于 1000m2。 合作方式及條件： 由天津大學提供膜材料合成、復合膜制備、交聯等相關技術，由合作方提供 廠房、設備、原材料及相關的人員配套。 

膜法口罩的核心是高性能空氣凈化膜材料，該材料具有由納米纖維構成的三維類蜘蛛網結構，形成的微孔尺寸可控制在0.1到0.5微米范圍內，能有效過濾99%以上的非油性顆粒，有效攔截各種固體氣溶膠、飛沫和病毒，同時具有良好的透氣性，不會產生呼吸的不適感。空氣凈化膜材料除了可用于制作口罩外，還可以用于空氣凈化器、醫療防護服等領域。基于膜材料制作的防護服，具有良好的抗菌拒水性能，是醫療防護中等級最高的醫用防護服，它的特點是人體的汗氣可以向外散發，而外面的水和細菌病毒等不能進入，且具有優異的耐老化、耐消毒等性能，可經常消毒殺菌。 在工業領域空氣凈化膜用于煙塵的超低排放控制，已經推廣應用了上百套工程裝備，產生經濟效益二十多億元，先后獲得中國石油和化學工業聯合會技術發明一等獎、中國膜工業協會科學技術一等獎、侯德榜化工科學技術青年獎等獎勵。?????以空氣凈化膜為核心濾材的5萬口罩已經在南京市江北新區、浦口區多家政府機構、江蘇省膜產業園入園企業等上百家單位使用，為堅持在防疫一線工作的人員提供了有力保障。在南京市政府召開的防疫物資主題會議上，空氣凈化膜技術受到了南京市工信局、科技局等部門的高度重視，。