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基于MEMS技術(shù)的傳感器及數(shù)據(jù)記錄儀

在空氣動力學(xué)研究、飛行器及發(fā)動機試驗、風(fēng)洞試驗、流體力學(xué)及水工試驗、水輪機及 水下兵器試驗、生物醫(yī)學(xué)應(yīng)用，化爆或核爆沖擊波等許多研究中，出于對不改變被測流場的 考慮或受安放位置局限，必須原位測壓時，常常對傳感器的外形尺寸的微型化有較為苛刻的 要求，以期在不干擾流場狀態(tài)情況下，復(fù)現(xiàn)動態(tài)流場的變化規(guī)律。XJG4 微型壓力傳感器正 是為這些應(yīng)用開發(fā)的，它采用了微型化設(shè)計的微機械加工工藝制成集成壓阻力敏元件，進行 精致巧妙的微型封裝，通常外徑在Φ8mm 到Φ15mm、長度不超過 25mm，并且可按照用戶要求 的形狀與尺寸定制。微型壓力傳感器系列以其小巧的外形、高輸出、高溫、優(yōu)異的動態(tài)和靜 態(tài)特性以及極高的可靠性而顯示其特色。

西安交通大學(xué) 2021-04-10

一種基于 MEMS 的智能服裝及其制作方法

本發(fā)明公開了一種基于 MEMS 的智能服裝及其制備方法，可用于采集心電、心音等人體生理參數(shù)，該智能服裝的功能是通過將柔性傳感器陣列薄膜與紡織品整合的方式來實現(xiàn)的：首先，在晶圓上采用MEMS 技術(shù)分別制作出聲/電換能器及其電氣互聯(lián)結(jié)構(gòu)。其次，在晶圓的反面刻蝕出硅島圖形，使得每個傳感器之間相互孤立。再次，在晶圓的正反面旋涂上聚合物，并對其進行光刻圖形化出傳感器窗口以及縫紉孔，即得到柔性傳感器陣列薄膜。聚合物起到對傳感器的保護作用，縫紉孔可用于讓導(dǎo)電纖維將傳感器傳感器陣列薄膜與紡織品縫合于一體，即得到有特

華中科技大學(xué) 2021-04-14

農(nóng)業(yè)廢棄物資源(作物秸稈、加工廢料)綜合利用技

一、成果簡介 利用畜禽糞便和農(nóng)作物秸稈栽培雙孢蘑菇等草腐型食用菌，利用木屑、枝杈和玉米芯栽培香菇等木腐型食用菌的循環(huán)經(jīng)濟發(fā)展項目具有經(jīng)濟效益高和不產(chǎn)生污染物等優(yōu)勢，采收食用菌后的菌渣還可以作為有機肥料促進有機農(nóng)業(yè)的發(fā)展。農(nóng)戶栽培食用菌的投入產(chǎn)出比平均為1：2，即投入1000元錢的純利潤也達(dá)1000元。

中國農(nóng)業(yè)大學(xué) 2021-04-14

一種 MEMS 陀螺儀芯片雙面陽極鍵合工藝

本發(fā)明提出這樣一種陽極鍵合工藝方法：將 MEMS 陀螺儀器件層沉積到臨時高分子襯底上，完成金屬電極沉積和 MEMS 結(jié)構(gòu)刻蝕之后，將臨時高分子襯底用化學(xué)機械拋光的方法去除。去除之后，將玻璃基體和玻璃蓋帽分別緊貼 MEMS 結(jié)構(gòu)的兩側(cè)，加電加熱后一次完成雙面陽極鍵合。這種工藝方法與傳統(tǒng)的兩次陽極鍵合分兩步進行相比，更加節(jié)省成本，而且避免了第二次陽極鍵合對第一次陽極鍵合強度削弱這個固有缺點，使得產(chǎn)品可靠性提高。

華中科技大學(xué) 2021-04-14

一種基于位移差分的 MEMS 重力梯度儀

本發(fā)明公開了一種基于位移差分的 MEMS 重力梯度儀。包括第一振子單元和第二振子單元；前者包括第一外圍框架和與第一外圍框架通過第一組梁連接的第一檢驗質(zhì)量，后者包括第二外圍框架和與第二外圍框架通過第二組梁連接的第二檢驗質(zhì)量，第一組梁和第一檢驗質(zhì)量構(gòu)成第一機械振子，第二組梁和第二檢驗質(zhì)量構(gòu)成第二機械振子，第一振子單元和第二振子單元相向正對設(shè)置，第一機械振子和第二機械振子的敏感軸位于同一直線上，第一檢驗質(zhì)量上的電容陣列與第二檢驗質(zhì)量上的電容陣列構(gòu)成位移檢測電容，通過位移檢測電容測得檢驗質(zhì)量的位移差進而得到

華中科技大學(xué) 2021-04-14

系列果酒（黑加侖、水蜜桃、楊梅、洋蔥葡萄酒等）釀造技 術(shù)

黑加侖富含花青素、多酚等營養(yǎng)物質(zhì)，但酸度較高口感不佳，通過酵母篩選及工藝優(yōu)化，獲得了口感較佳的黑加侖果酒釀造技術(shù)。水蜜桃保藏時間極短，容易腐爛變質(zhì)，品相較差的果難以銷售，通過釀酒酵母及釀造工藝優(yōu)化，獲得了桃香味濃郁口感佳的水蜜桃果酒。楊梅富含花青素等營養(yǎng)物質(zhì)，但酸度較高，不適 合釀酒，通過降酸酵母篩選及工藝優(yōu)化，獲得了顏色亮麗口感佳的楊梅果酒。洋蔥葡萄酒具有眾多保健功能且效果顯著，但洋蔥浸泡葡萄酒，口感較差，有洋蔥腐爛味和刺激味，通過對洋蔥發(fā)酵處理，得到洋蔥發(fā)酵液，與葡萄酒勾兌具有較好的協(xié)調(diào)性，口感好，無洋蔥味，其洋蔥槲皮素含量高于浸泡，保健功效更為顯著。 

江南大學(xué) 2021-04-11

基于IP庫的通用MEMS器件可視化仿真與驗證工具

“虛擬工藝”軟件可由標(biāo)準(zhǔn)工藝流程文件和掩膜版圖文件，模擬出所要加工的MEMS器件的真實三維結(jié)構(gòu)，具有良好的通用性和精度。下圖為自主開發(fā)的“虛擬工藝”軟件生成的微夾鉗三維結(jié)構(gòu)。 “虛擬運行”軟件對器件的運動情況進行仿真，并與最初設(shè)計方案比較來指導(dǎo)和修正實際加工。下圖顯示了微夾鉗的虛擬運行結(jié)果，圖中的器件顏色表示了器件運動時的劇烈程度，紅色表示變形最劇烈的部分，淡藍(lán)色表示變形較小的部分。

南開大學(xué) 2021-04-14

基于IP庫的通用MEMS器件可視化仿真與驗證工具

項目的背景及目的 迄今為止，集成電路的模擬、仿真直至評測已有了非常完善的工具軟件；并已成為設(shè)計過程的重要組成部分；對設(shè)計的成功、可靠、高效都已起到?jīng)Q定性作用。而對MEMS而言，還相差甚遠(yuǎn)，這和MEMS發(fā)展的成熟程度有著直接關(guān)系。當(dāng)然，這并不意味著MEMS不需要這樣的工具和系統(tǒng)。相反，由于MEMS的功能多樣、加工復(fù)雜、分析困難、設(shè)計周期長、成本高等。特別需要一個能包括運動仿真、評測在內(nèi)的設(shè)計工具和系統(tǒng)。這是當(dāng)前推動MEMS發(fā)展的當(dāng)務(wù)之急。

南開大學(xué) 2021-04-14

裝載-釋放雙重可控生物農(nóng)藥微膠囊懸浮劑的制備關(guān)鍵技 術(shù)

本成果針對蔬菜病蟲害難以有效防治和農(nóng)藥殘留造成的食品安全問題，在國內(nèi)外有關(guān)農(nóng)藥微膠囊制備的理論和技術(shù)的基礎(chǔ)上，結(jié)合在物理化學(xué)、材料學(xué)及農(nóng)藥毒理學(xué)等方面的研究，以典型生物農(nóng)藥為活性成分，制備裝載-釋放雙重可控的納米微膠囊懸浮劑。能有效防治多種害蟲，具有控釋功能，從而降低農(nóng)藥殘留。

揚州大學(xué) 2021-04-14

深圳市超頻三科技股份有限公司

超頻三創(chuàng)建于2005年,是一家集LED燈具套件和PC散熱件研發(fā)、生產(chǎn)、銷售于一體的國家級高新技術(shù)企業(yè),致力為全球客戶提供最佳照明及系統(tǒng)散熱解決方案，超頻三智慧教室照明整體解決方案采用物聯(lián)網(wǎng)技術(shù)將教學(xué)中的照明元素進行智能化整合。在考量不同教學(xué)環(huán)境下對照明的不同需求后， 以完整的解決方案將傳統(tǒng)的人為電控照明管理提升至智能管理模式，實現(xiàn)了照明設(shè)備的科學(xué)使用，降低能耗。五大場景應(yīng)用模式， 通過控制面板或手機APP，輕松切換，為師生提供舒適的照明環(huán)境。

深圳市超頻三科技股份有限公司 2021-01-15