項目的背景及目的 迄今為止,集成電路的模擬、仿真直至評測已有了非常完善的工具軟件;并已成為設計過程的重要組成部分;對設計的成功、可靠、高效都已起到決定性作用。而對MEMS而言,還相差甚遠,這和MEMS發展的成熟程度有著直接關系。當然,這并不意味著MEMS不需要這樣的工具和系統。相反,由于MEMS的功能多樣、加工復雜、分析困難、設計周期長、成本高等。特別需要一個能包括運動仿真、評測在內的設計工具和系統。這是當前推動MEMS發展的當務之急。