一種高靈敏的ZnO/AlN核鞘納米棒陣列紫外光探測器的制備方法
本發明公開了一種高靈敏的ZnO/AlN核鞘納米棒陣列紫外光探測器的制備方法,包括如下步驟:在藍寶石襯底上生長ZnO納米棒陣列;采用磁控濺射法在ZnO納米棒上濺射不同厚度的AlN鞘層薄膜;采用濺射法或者電子束蒸鍍分別在ZnO/AlN核鞘納米棒陣列兩端制備具有歐姆接觸的金屬電極,構成完整的器件。本發明通過簡單的磁控濺射方法,控制濺射時間,在ZnO納米棒上生長不同厚度、表面光滑均一的AlN鞘層薄膜,制備的ZnO/AlN核鞘光探測器件不僅具有更好的紫外光響應,在360nm紫外光照射下,電壓為5V時,明暗電流比為5.5×103,提高了一個數量級,同時具有更快速的響應和恢復時間,分別是0.883和0.956s。
東南大學
2021-04-11