一種用于制作原子層沉積膜的可拆卸噴頭及裝置
本發(fā)明公開了一種用于制作原子層沉積膜的可拆卸噴頭及裝置。用于制作原子層沉積膜的噴頭,包括進(jìn)氣管路、進(jìn)氣口和出氣口;所述進(jìn)氣口內(nèi)部為空腔;所述出氣口內(nèi)部形成空腔,分為上半部分和下半部分,其上半部分與下半部分之間設(shè)有漏斗形結(jié)構(gòu);進(jìn)氣管路與進(jìn)氣口固定連接,進(jìn)氣口與出氣口可拆卸密閉連接。用于制作原子層沉積膜的裝置,包括所述噴頭、腔體支撐架、基片承載臺和運(yùn)動(dòng)平臺,腔體支撐架中間形成長條狀鏤空,可順序設(shè)置多個(gè)可拆卸噴頭,基片承載臺設(shè)置在墻體支撐架下方,運(yùn)動(dòng)平臺帶動(dòng)基片承載臺。本發(fā)明能適應(yīng)不同的原子層沉積反應(yīng),通
華中科技大學(xué)
2021-04-14