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高等教育領域數字化綜合服務平臺
壓印法集成電路光刻技術
西安交通大學
2021-01-12
用于浸沒式光刻的浸液溫控裝置
華中科技大學
2021-04-11
一種光刻掩模優化設計方法
華中科技大學
2021-04-11
微納米壓印光刻工藝及裝備
西安交通大學
2021-04-11
超衍射極限納米光刻機技術
華中科技大學
2021-01-12
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華中科技大學
2021-04-14
用于浸沒式光刻的浸液溫控裝置
華中科技大學
2021-04-14
半導體光刻膠成膜樹脂制備技術
清華大學
2022-07-12
248-nm光刻膠研發與產業化
遼寧大學
2021-04-10
248-nm光刻膠研發與產業化
北京師范大學
2021-05-09