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上海網(wǎng)化化工科技有限公司成立于2008年，是一家專注于專用化學(xué)品免費撮合交易的互聯(lián)網(wǎng)公司。成立初期，公司主要從事醫(yī)藥中間體研發(fā)、生產(chǎn)及進(jìn)出口貿(mào)易。2010年，公司成功轉(zhuǎn)型成為互聯(lián)網(wǎng)公司，確立了專用化學(xué)品全品類免費撮合交易的商業(yè)模式。2015年，秉承著“大數(shù)據(jù)、開放、分享”的理念，上海網(wǎng)化化工科技有限公司正式對外發(fā)布其主營品牌——網(wǎng)化商城。網(wǎng)化商城專注于專用化學(xué)品全品類免費撮合交易的B2B平臺，致力于提高化學(xué)品流通效率，助力企業(yè)研發(fā)成功。

威海匯鑫化工機械有限公司位于美麗富饒的膠東半島，風(fēng)景如畫的威海工業(yè)園區(qū)內(nèi)，是生產(chǎn)各種反應(yīng)釜和磁力攪拌器的專業(yè)廠。公司有設(shè)計，制造一、二、三類壓力容器資質(zhì)，主要生產(chǎn)與各種化工生產(chǎn)用反應(yīng)釜相配套的磁力攪拌器和實驗室用各型號大、中、小型實驗室反應(yīng)釜 、聚合釜、氧化釜．氫化釜．鈦鎳反應(yīng)釜等各種不同種類的磁力反應(yīng)釜，廣泛應(yīng)用于各科研院所、大專院校以及化工、制藥、染料、食品及生物化工等各類化工企業(yè)。

蓬萊祿昊化工機械有限公司成立于1993年，公司注冊資金1000萬元，自2002以來先后取得一二三類壓力容器設(shè)計、制造許可證及ISO90001企業(yè)管理體系認(rèn)證，2007年取得企業(yè)自主進(jìn)出口權(quán)許可證。是蓬萊市一家取得三類容器設(shè)計、制造許可證的廠家，公司占地100余畝，現(xiàn)有職工100余人，各類工程技術(shù)人員45人，其中具有中、高級職稱的工程師20人。 公司主要產(chǎn)品分為反應(yīng)釜、儲存、換熱、分離、塔器等設(shè)備、低溫儲罐、膜分離氫氣回收裝置、制氮機、膜分離水處理系統(tǒng)、溶劑回收裝置和溶解乙炔生產(chǎn)裝置，具備承接整套項目設(shè)備的能力，其中反應(yīng)釜從試驗室用的小至0.5升大至上百立方攪拌設(shè)備均有設(shè)計、制造經(jīng)驗，換熱設(shè)備方面公司具備雙管板換熱器設(shè)計制造的成熟工藝，在塔器的設(shè)計制造方面公司為陽煤集團(tuán)煙臺巨力化肥設(shè)計制作的400立方脫硫塔直徑4.2米，總高度35米，設(shè)備凈重120噸，該設(shè)備整體制作整體運輸，填補了煙臺地區(qū)大型設(shè)備整體制作整體運輸?shù)目瞻住?公司自2003年從美國整體引進(jìn)普里森膜分離整套技術(shù)，該技術(shù)主要用于氣體分離提純行業(yè)，先后承接了南京惠生甲醇合成氫回收項目、上海焦化甲醇合成氫回收項目，及天津堿廠甲醇合成氫氫回收項目，中國較大的一氧化碳純化項目華魯恒升一氧化碳純化項目也是由我公司設(shè)計制作的，還有具有戰(zhàn)略意義的神華包頭煤制烯烴項目中氫回收裝置等等，受到用戶的高度評價。 公司2005年對傳統(tǒng)的磁力密封攪拌器進(jìn)行了研發(fā)和更新改制，經(jīng)改制后的磁力密封反應(yīng)釜操作更加簡單，密封性能更加穩(wěn)定，日常維護(hù)更加方便，一經(jīng)投入使用，收到用戶的高度評價；公司在2007年為煙臺世緣橡膠化工廠改良橡膠項目設(shè)計制作20立方聚合釜，一次開車成功，為企業(yè)創(chuàng)造了良好的經(jīng)濟效益，同時為公司贏得了良好的聲譽。 在精餾提純方面，我們先后和天津大學(xué)精餾中心、北京化工大學(xué)、煙臺大學(xué)、山東工業(yè)大學(xué)、燕山石化北京玉龍石化設(shè)計院、山東齊魯石化設(shè)計院、山東省化工規(guī)劃設(shè)計院、中石化洛陽設(shè)計院、中國航天六院等大中專院校及各大設(shè)計院保持良好的溝通，相互交流，取得了比較良好的成績，先后為中國科工集團(tuán)航天六院硝酸脂項目提供從小試到大生產(chǎn)的蒸餾提純整套裝置，運行穩(wěn)定，指標(biāo)超出預(yù)先設(shè)計3個百分點，受到航天六院的高度評價。 公司和美國AP公司建立起了良好的合作關(guān)系，自2005年起長期為其供貨，設(shè)備遠(yuǎn)銷到挪威、臺灣、韓國、歐洲、東南亞、美國等國家和地區(qū)，公司和英國豪頓華工程公司自2008年起建立起良好的合作關(guān)系，為豪頓華工程公司配套供應(yīng)的緩沖、儲存設(shè)備遠(yuǎn)銷到法國、英國、巴西等國家，成為豪頓集團(tuán)全球合格供應(yīng)商中的一員。 為了適應(yīng)市場的需求,公司聘用了低溫界的權(quán)威專家和相關(guān)的工程技術(shù)人員，對傳統(tǒng)的低溫儲罐做了進(jìn)一步的技術(shù)革新，新設(shè)備在靜態(tài)蒸發(fā)率上的指標(biāo)遠(yuǎn)遠(yuǎn)優(yōu)于同行業(yè)相關(guān)指標(biāo)，保證設(shè)備的長期使用，新產(chǎn)品已經(jīng)成為美國AP公司預(yù)約供貨商。 公司將繼續(xù)秉承質(zhì)量第一、信譽至上的方針，繼續(xù)努力、開拓進(jìn)取，在技術(shù)和質(zhì)量上勇上新臺階，同時也正和越來越多的客戶建立起良好的合作關(guān)系，熱忱歡迎國內(nèi)外有識之士、科研團(tuán)體、各大院校與我們攜手參與、合作共贏！

上海榮泰生化工程有限公司成立于1996年，二十多年專注實驗室通用儀器設(shè)備的研發(fā)與制造。公司位于上海，辦公及產(chǎn)研大樓總面積為2000平方米。隨著海外業(yè)務(wù)量的不斷增加，目前榮泰產(chǎn)品已遠(yuǎn)銷北美、歐洲、中東、日本、印度等全球多個國家。有著成熟的生產(chǎn)工藝、專業(yè)的生產(chǎn)設(shè)備、資深的管理團(tuán)隊，已取得ISO 9001、CE認(rèn)證及醫(yī)療器械生產(chǎn)許可證，是國內(nèi)領(lǐng)先的實驗領(lǐng)域耗材制造商。 我們始終堅持質(zhì)量領(lǐng)先，用戶至上的原則。秉承“科技領(lǐng)先，服務(wù)市場，誠信待人，追求完美”的企業(yè)理念，不斷進(jìn)行技術(shù)創(chuàng)新、設(shè)備創(chuàng)新、服務(wù)創(chuàng)新和管理方式創(chuàng)新來繼續(xù)研發(fā)出更多滿足未來發(fā)展需要的實驗室產(chǎn)品，我們以穩(wěn)定可靠的產(chǎn)品質(zhì)量，完善的服務(wù)體系贏得客戶的信任。致力于向客戶及合作伙伴，提供高附加值的產(chǎn)品及專業(yè)服務(wù)。

山東魯南瑞虹化工儀器有限公司（原山東魯南化工儀器廠），始建于1969年9月，是中國儀器儀表行業(yè)協(xié)會理事單位、中國色譜學(xué)會理事、原化工部定點大型精密分析儀器專業(yè)生產(chǎn)廠，是色譜儀三大生產(chǎn)廠家之一，是山東省第一批高新技術(shù)企業(yè)，2014年被評為國家火炬計劃重點高新技術(shù)企業(yè)；公司研發(fā)中心是山東省省級企業(yè)技術(shù)中心、山東省色譜工程技術(shù)研究中心，能夠獨立承擔(dān)各類大型分析儀器的設(shè)計開發(fā)、應(yīng)用創(chuàng)新及分析方法的建立；健全了質(zhì)量管理體系、環(huán)境管理體系和安全管理體系，通過了GB/T 19001-2016、 GB/T14001-2016國際質(zhì)量環(huán)境管理體系認(rèn)證；公司產(chǎn)品于2002年、2005年、2008年、2011年及2016年連續(xù)五屆榮獲“山東名牌”稱號。 公司集產(chǎn)品設(shè)計、開發(fā)、生產(chǎn)、銷售、服務(wù)于一體，制定了長期經(jīng)營戰(zhàn)略方針，有優(yōu)質(zhì)的人力資源和豐厚的物質(zhì)及財力資源，公司擁有員工五百余人，具有高級職稱的工程技術(shù)人員占公司員工總數(shù)的三分之一以上，售后服務(wù)網(wǎng)點覆蓋全國省、市、自治區(qū)，對服務(wù)需求及時響應(yīng)。公司科研實力雄厚，分別在公司總部、北京、上海、合肥設(shè)立研發(fā)中心，獨立研制的SP-502型氣相色譜儀曾榮獲“國家科技進(jìn)步獎”、“山東省科技進(jìn)步一等獎”和“全國科學(xué)大會獎”，被化工部列為替代進(jìn)口產(chǎn)品。SP-6890型、SP-2000型、SP-7890型、SP-7820型氣相色譜儀、LC-1000D液相色譜儀及RZF-3000型熱解組分地化儀曾被列為“國家級重點新產(chǎn)品項目”，榮獲省級、市級科技進(jìn)步獎，多次獲國家科技創(chuàng)新基金支持，“一種熱導(dǎo)池檢測器”2018年被授予國家發(fā)明專利。環(huán)境在線色譜（工業(yè)防爆）、便攜式色譜（車載）、氣相色譜-質(zhì)譜聯(lián)用儀（GC/MS）、全電子流量、電子壓力控制的GC-8850,GC-8860型高性能色譜儀（EPC）已批量生產(chǎn)，目前生產(chǎn)實驗室色譜、在線色譜及各類專業(yè)色譜六大系列共計20余個品種。 公司生產(chǎn)線設(shè)備精良，工藝先進(jìn)，檢驗設(shè)備精密、全面、準(zhǔn)確，操作人員技術(shù)精湛。產(chǎn)品質(zhì)量優(yōu)良、性能穩(wěn)定，贏得了廣大用戶的信賴，具有廣泛的品牌知名度及完美的產(chǎn)品美譽度，受到國內(nèi)色譜界專業(yè)人士的一致稱贊。 產(chǎn)品銷往全國各地，并部分出口到俄羅斯、東南亞及中東地區(qū)。廣泛應(yīng)用于各大專院校、科研院所及醫(yī)藥、化工、石油、電力、農(nóng)藥、礦井、商檢、公安、環(huán)保、疾控、釀造及食品殘留檢驗等各個領(lǐng)域。

星皇亞太企業(yè)（博羅）化工有限公司是一家集研發(fā)、生產(chǎn)、銷售為一體的高端化妝品專業(yè)企業(yè)，坐落于風(fēng)景秀麗的南國海濱城市——廣東惠州，所處的工業(yè)區(qū)交通發(fā)達(dá)，環(huán)境優(yōu)美，周邊良好的生態(tài)環(huán)境有利于化妝品的研發(fā)和生產(chǎn)。 (主要產(chǎn) 品包括：美容護(hù)膚、洗護(hù)發(fā)、面膜、彩妝、香水等)。本企業(yè)作風(fēng)嚴(yán)謹(jǐn)、正直，在原材料的選擇上嚴(yán)格要求，堅決杜絕了防腐劑和添加劑等存在安全隱患的成分原料。 10萬級GMP制藥標(biāo)準(zhǔn)的無菌化妝品生產(chǎn)車間、全自動電加熱真空乳化鍋、多條現(xiàn)代化的生產(chǎn)包裝和自動灌裝線等先進(jìn)硬件設(shè)置的配備，連同研發(fā)實驗室嚴(yán)格按照美國CTFA和歐盟COLIPA標(biāo)準(zhǔn)進(jìn)行檢測和管理，使得企業(yè)在設(shè)備清潔、生產(chǎn)操作、現(xiàn)場品管、質(zhì)量檢測、衛(wèi)生安全等各個方面均建立起一整套嚴(yán)格的標(biāo)準(zhǔn)操作流程及制度。為求產(chǎn) 品達(dá)到安全無害、品質(zhì)優(yōu)良、效果優(yōu)異，企業(yè)保證每個單品在上市前均會進(jìn)行一系列檢驗分析，最終帶給消費者舒心的使用過程、靚麗的肌膚和愉快的心情。 星皇亞太企業(yè)（博羅）化工有限公司擁有強大的技術(shù)實力、先進(jìn)的硬件設(shè)備、盡心的服務(wù)團(tuán)隊、優(yōu)質(zhì)的管理系統(tǒng)，秉持信任誠實和富有責(zé)任感的經(jīng)營理念，必定能為消費者和客戶提供最放心的優(yōu)質(zhì)產(chǎn) 品。 工廠前臺 我們秉承“為合作伙伴創(chuàng)造價值”的核心價值觀，并以“誠實、寬容、創(chuàng)新、服務(wù)”為企業(yè)精神，通過自主創(chuàng)新和真誠合作為電子商務(wù)及信息服務(wù)行業(yè)創(chuàng)造價值。   

濟寧康德瑞化工科技有限公司坐落在風(fēng)景優(yōu)美的孔孟之鄉(xiāng)、運河之都-山東省濟寧市，是嘉興市向陽化工廠在濟寧市化學(xué)工業(yè)開發(fā)區(qū)內(nèi)投資新建的股份制企業(yè)。新建項目總投資13232萬元，占地面積為33400m2，建筑物占地面積為8996m2。主要生產(chǎn)二乙基羥胺、異丙基羥胺、二氟乙酸系列及磺化系列產(chǎn)品。生產(chǎn)規(guī)模為年產(chǎn)羥胺橡膠助劑系列10000 噸，二氟乙酸系列1200噸，對甲苯磺酰胺系列3500噸。 企業(yè)極為重視企業(yè)管理、新產(chǎn)品開發(fā)、技術(shù)人才的培養(yǎng)。在企業(yè)管理上，從生產(chǎn)、銷售、供應(yīng)、財務(wù)、人員等方面初步建立了現(xiàn)代化管理體系。產(chǎn)品質(zhì)量檢驗通過三級質(zhì)量檢驗認(rèn)證。通過ISO 9001:2008 質(zhì)量管理體系認(rèn)證和ISO14001:2004 環(huán)境管理體系認(rèn)證，已取得《安全生產(chǎn)標(biāo)準(zhǔn)化》證書。產(chǎn)品《N-異丙基羥胺》獲得了國家專利證書。企業(yè)不斷致力于向社會推廣和提供優(yōu)質(zhì)的產(chǎn)品及完美的服務(wù)；公司設(shè)有專業(yè)技術(shù)部門和品質(zhì)監(jiān)管部門，擁有設(shè)備完善的實驗室，公司還與嘉興學(xué)院等多所高校及科研部門建立長期的互助關(guān)系，共同研究探討技術(shù)與產(chǎn)品質(zhì)量上的問題，以確保能為合作單位提供高性價比的產(chǎn)品和技術(shù)服務(wù)。    

研究背景 芯片是人類最偉大的發(fā)明之一，也是現(xiàn)代電子信息產(chǎn)業(yè)的基礎(chǔ)和核心。小到手機、電腦、數(shù)碼相機，大到6G、物聯(lián)網(wǎng)、云計算均基于芯片技術(shù)的不斷突破。半導(dǎo)體光刻工藝水平的發(fā)展是以芯片為核心的電子信息產(chǎn)業(yè)的基石，目前半導(dǎo)體光刻的制造工藝幾乎是摩爾定律的物理極限。隨著制造工藝的越來越小，芯片內(nèi)晶體管單元已經(jīng)接近分子尺度，半導(dǎo)體制作工藝的“瓶頸效應(yīng)”越來越明顯。隨著全球化以及科技的高速發(fā)展，急劇增長的龐大數(shù)據(jù)量要求數(shù)據(jù)處理模型和算法結(jié)構(gòu)不斷優(yōu)化升級，帶來的結(jié)果就是對計算能力和系統(tǒng)功耗的要求不斷提高。而目前智能電子設(shè)備大多存在傳輸瓶頸、功耗增加以及計算力瓶頸等現(xiàn)象，已越來越難以滿足大數(shù)據(jù)時代對計算力與功耗的需求，因此提高運算速度同時降低運算功耗是目前信息工業(yè)界面臨的緊要問題。 如當(dāng)年集成電路開創(chuàng)信息時代一樣，當(dāng)下已經(jīng)普及的光通信正在成為新革命力量的開路先鋒。與此同時，光子芯片正在從分立式器件向集成光路演進(jìn)，光子芯片向小型化、集成化的發(fā)展趨勢已是必然。相對于電子驅(qū)動的集成電路，光子芯片有超高速率，超低功耗等特點，利用光信號進(jìn)行數(shù)據(jù)獲取、傳輸、計算、存儲和顯示的光子芯片，具有非常廣闊的發(fā)展空間和巨大的潛能。 項目功能 本項目瞄準(zhǔn)光通信關(guān)鍵技術(shù)及核心芯片，基于量子阱二極管發(fā)光探測共存現(xiàn)象，探索關(guān)鍵微納制造技術(shù)，研制出可以同時實現(xiàn)通信、感知功能的一體化光電子芯片。 技術(shù)路線 一、技術(shù)原理及可行性 本項目主要負(fù)責(zé)人王永進(jìn)教授發(fā)現(xiàn)如圖1所示的量子阱二極管發(fā)光探測共存現(xiàn)象，首次研制出同質(zhì)集成發(fā)射、傳輸、調(diào)制和接收器件的光電子芯片，這些原創(chuàng)工作引起了業(yè)界相關(guān)科研小組地廣泛關(guān)注，化合物半導(dǎo)體同質(zhì)集成光電子芯片成為研究熱點。香港大學(xué)的蔡凱威小組和申請人合作提出濕法刻蝕和激光選擇性剝離技術(shù)，在藍(lán)寶石氮化物晶圓上實現(xiàn)LED基同質(zhì)集成光電子芯片(Optica 5, 564-569 (2018))。沙特阿卜杜拉國王科技大學(xué)Ooi教授和美國加州大學(xué)圣巴巴拉分校Nakamura教授小組在藍(lán)寶石氮化物晶圓上，研制出基于氮化物激光器的同質(zhì)集成光電子芯片(Opt. Express 26, A219(2018))。中科院蘇州納米所孫錢小組在硅襯底氮化物晶圓上，研制出基于氮化物激光器的同質(zhì)集成光電子芯片(IEEE J. Sel. Top. Quantum Electron. 24, 8200305 (2018))。在NRZ-OOK調(diào)制方式下，InGaN/GaN量子阱二極管可實現(xiàn)Gbps的光發(fā)射、調(diào)制和探測速率(Appl. Phys. Express 13, 014001 (2020))。這些工作表明研發(fā)基于光子傳輸?shù)幕衔锇雽?dǎo)體同質(zhì)集成光電子芯片以實現(xiàn)片上光子通信是可行的。   二、總體結(jié)構(gòu)設(shè)計及工藝流程 本項目提出的同時通信/感知一體化光電子芯片基于常規(guī)的藍(lán)寶石襯底氮化鎵基多量子阱LED外延片進(jìn)行設(shè)計，無需特殊定制的外延結(jié)構(gòu)。以典型的2寸氮化鎵基藍(lán)光LED外延片為例，其外延片結(jié)構(gòu)如圖2所示，從下至上依次為藍(lán)寶石襯底、AlGaN緩沖層、未摻雜GaN層、N型GaN層、InGaN/GaN多量子阱層和P型GaN層，通過調(diào)節(jié)InGaN/GaN多量子阱層的參數(shù)（層厚度與In的比例等等）可制備具有不同中心波長的光源器件。   圖3為本項目所提出的同時通信/感知一體化光電子芯片結(jié)構(gòu)。在藍(lán)寶石襯底的氮化物晶圓上通過刻蝕和沉積等一系列晶圓級微納加工技術(shù)，制備出單片集成的InGaN/GaN多量子阱LED和PD。光子芯片的P、N電極可以采用倒裝技術(shù)直接與基板相連，光線從透明的藍(lán)寶石襯底發(fā)出，這樣不僅使得器件具有優(yōu)良的電性能和熱特性而且簡化了其后期的封裝工藝。 三、技術(shù)創(chuàng)新優(yōu)勢 1、同一塊晶圓上集成LED和PD使得兩者間距離大大縮短，不僅有助于增強PD對藍(lán)寶石表面反射光線的耦合，提升感知系統(tǒng)性能，而且縮小了器件整體外形，符合集成電子器件小型化、便攜化的發(fā)展趨勢； 2、單片集成的LED和PD器件相比于傳統(tǒng)異質(zhì)的、分立的LED和PD簡化了封裝形式和工藝，不再需要對LED和PD進(jìn)行單獨的封裝，而且同質(zhì)集成器件的基板也較異質(zhì)結(jié)構(gòu)的簡單統(tǒng)一，極大地縮短了集成系統(tǒng)的制作周期； 3、同時通信/感知一體化光電子芯片采用相同的工藝就可以制作出LED和PD，簡化了生長異質(zhì)材料的復(fù)雜性，縮短了器件流片的周期，使用同一工藝就可將LED和PD進(jìn)行批量生產(chǎn)，有效地降低了生產(chǎn)成本。 四、實驗驗證 本項目團(tuán)隊所在的Peter Grünberg研究中心擁有完整的LED器件制備、光電性能測試與電學(xué)性能測試平臺，并且項目成員積累了豐富的測試技術(shù)與經(jīng)驗，能夠滿足本項目的同時通信/感知一體化光電子芯片測試同時表征光電參數(shù)與電學(xué)參數(shù)的需求。下圖4所示為器件形貌表征圖，從左邊依次是掃描電鏡圖、光鏡圖、原子力顯微鏡圖。   基于通信感知一體化芯片，本項目利用單個多功能集成器件成功實現(xiàn)了對人體脈搏的監(jiān)測功能，如圖5所示。   另外基于通信感知一體化氮化鎵光電子芯片，我們還實現(xiàn)了照明、成像和探測功能為一體的LED陣列系統(tǒng)，如圖6所示。該系統(tǒng)可以在點亮照明的同時，實現(xiàn)對外界光信號的探測與感知，通過后端系統(tǒng)處理后，再將信息通過陣列顯示出來，實現(xiàn)多種功能的集成。 項目負(fù)責(zé)人王永進(jìn)教授是國家自然基金委優(yōu)秀青年項目、國家973項目獲得者，他以第一或通訊作者身份在Light-Sci Appl.等主流學(xué)術(shù)期刊發(fā)表一系列高質(zhì)量研究論文，獲授權(quán)中國發(fā)明專利23項，美國發(fā)明專利2項，被National Science Review、Semiconductor Today等做9次專題報道，榮獲2019年中國電子學(xué)會科學(xué)技術(shù)獎（自然科學(xué)）、2019年南京市十大重大原創(chuàng)成果獎等。

在大尺寸寬禁帶/半導(dǎo)體單晶襯底外延設(shè)備、材料生長等方面做出了突出的工作。2001年始，研制出國內(nèi)第一臺用于氮化鎵（GaN）襯底的鹵化物氣相外延（HVPE）系統(tǒng)，研究發(fā)展了獲得高質(zhì)量GaN襯底所需的所有關(guān)鍵技術(shù)并擁有自主知識產(chǎn)權(quán)，在氮化鎵單晶襯底設(shè)備和材料技術(shù)領(lǐng)域已獲授權(quán)國家發(fā)明專利30余項、申請國家發(fā)明專利30余項。在國內(nèi)最早研制出2英寸毫米級GaN單晶襯底，建成6英寸HVPE系統(tǒng)并實現(xiàn)7片2吋及4-6吋GaN均勻生長；研究出創(chuàng)新性的GaN襯底批量制備技術(shù)，即將進(jìn)行高質(zhì)量、低成本GaN襯底的產(chǎn)業(yè)化應(yīng)用，為第三代半導(dǎo)體應(yīng)用奠定了材料基礎(chǔ)。

本發(fā)明公開了一種激光輔助低溫生長氮化物材料的方法及裝備， 該方法將非氮元素的前驅(qū)體蒸汽和活性氮源前驅(qū)體氣體分別輸送到反 應(yīng)腔室內(nèi)溫度為 250 至 800℃的襯底材料處，利用波長與活性氮源分 子鍵共振波長相等的激光束作用于活性氮源氣體，使激光能量直接耦 合至活性氮源氣體分子，加速 NH 鍵的斷裂，提供充足的活性氮源， 使非氮元素與活性氮源發(fā)生化學(xué)反應(yīng)，沉積第 III 族氮化物膜層材料， 持續(xù)作用直到沉積物覆蓋整個襯底