一體化混合配氣和氣體傳感器在線檢測系統的研究與開發
大氣污染的日益嚴重,霧霾天氣逐漸增多,對傳感器的性能提出了更高的要求,然而對于氣體傳感器的研究卻缺乏大型的、一體化、同時實現多種氣體在線檢測的設備作為支撐。本課題組經過多年探索,自主研發了具有領先水平的一體化混合配氣和氣體傳感器在線檢測系統SJTUGDS-919。該套設備硬件經精心設計和嚴格驗證,具備氣體傳感研究過程中常用到的所有功能,且所有控制都能在上位機軟件上完成,實現了完全的自動化。 本套設備可以實現對氣體傳感器的快速在線檢測,支持自動采集、自動計算、自動標定。該系統可以實現多組分復雜氣體的精確稀釋和配比,為傳感器的多組分定性、定量識別和測量提供保障,并且集動態檢測、靜態檢測、探針檢測于一體。同時,該套設備還可以調節氣氛的壓力和濕度,并首次實現氣體溫度和傳感器溫度的協同調控,精準模擬了真實大氣環境。應用此套設備,可大幅度縮短研發時間,降低實驗成本,極大的提高工作效率,保證氣體傳感器研發工作的順利推進。 本項目研發依托于“微米/納米加工技術”國家級重點實驗室和“薄膜與微細技術”教育部重點實驗室等先進平臺,本套系統現已申請八項發明專利,兩項軟件著作權。應用此套系統已開展科研項目十余項,發表高水平論文50余篇。SJTUGDS-919是首創的高度集成化的國內一流的氣體傳感器檢測系統,是氣敏研究和傳感器器件研發的必備利器,是治理大氣污染的開山斧!目前正在尋求將此系統設備產業化,推向市場。
上海交通大學
2021-04-13