大氣污染的日益嚴重,霧霾天氣逐漸增多,對傳感器的性能提出了更高的要求,然而對于氣體傳感器的研究卻缺乏大型的、一體化、同時實現(xiàn)多種氣體在線檢測的設(shè)備作為支撐。本課題組經(jīng)過多年探索,自主研發(fā)了具有領(lǐng)先水平的一體化混合配氣和氣體傳感器在線檢測系統(tǒng)SJTUGDS-919。該套設(shè)備硬件經(jīng)精心設(shè)計和嚴格驗證,具備氣體傳感研究過程中常用到的所有功能,且所有控制都能在上位機軟件上完成,實現(xiàn)了完全的自動化。
本套設(shè)備可以實現(xiàn)對氣體傳感器的快速在線檢測,支持自動采集、自動計算、自動標定。該系統(tǒng)可以實現(xiàn)多組分復(fù)雜氣體的精確稀釋和配比,為傳感器的多組分定性、定量識別和測量提供保障,并且集動態(tài)檢測、靜態(tài)檢測、探針檢測于一體。同時,該套設(shè)備還可以調(diào)節(jié)氣氛的壓力和濕度,并首次實現(xiàn)氣體溫度和傳感器溫度的協(xié)同調(diào)控,精準模擬了真實大氣環(huán)境。應(yīng)用此套設(shè)備,可大幅度縮短研發(fā)時間,降低實驗成本,極大的提高工作效率,保證氣體傳感器研發(fā)工作的順利推進。
本項目研發(fā)依托于“微米/納米加工技術(shù)”國家級重點實驗室和“薄膜與微細技術(shù)”教育部重點實驗室等先進平臺,本套系統(tǒng)現(xiàn)已申請八項發(fā)明專利,兩項軟件著作權(quán)。應(yīng)用此套系統(tǒng)已開展科研項目十余項,發(fā)表高水平論文50余篇。SJTUGDS-919是首創(chuàng)的高度集成化的國內(nèi)一流的氣體傳感器檢測系統(tǒng),是氣敏研究和傳感器器件研發(fā)的必備利器,是治理大氣污染的開山斧!目前正在尋求將此系統(tǒng)設(shè)備產(chǎn)業(yè)化,推向市場。
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