一種抗大沖擊的高精度微光機(jī)電系統(tǒng)加速度計(jì)
本實(shí)用新型公開了一種抗大沖擊的高精度微光機(jī)電系統(tǒng)加速度計(jì)。主要由封裝外殼和布置在封裝外殼中的微機(jī)械加速度敏感單元和光學(xué)微位移測(cè)量單元組成,微機(jī)械加速度敏感單元位于光學(xué)微位移測(cè)量單元正下方;微機(jī)械加速度敏感單元從上到下依次為光柵、質(zhì)量塊?懸臂梁?硅基底微機(jī)械結(jié)構(gòu)和下限位板。本實(shí)用新型能保證微機(jī)械結(jié)構(gòu)在大沖擊下不失效,固定封裝的光學(xué)微位移測(cè)量單元能保證各個(gè)光學(xué)元件在大沖擊下不損毀,相對(duì)位置保持不變,從而實(shí)現(xiàn)抗大沖擊的高精度加速度測(cè)量。
浙江大學(xué)
2021-04-13