基于多足旋轉(zhuǎn)壓電驅(qū)動器實現(xiàn)的跨尺度驅(qū)動激勵方法
多足旋轉(zhuǎn)壓電驅(qū)動器及其實現(xiàn)跨尺度驅(qū)動的激勵方法,屬于壓電驅(qū)動技術(shù)領(lǐng)域.解決了現(xiàn)有壓電驅(qū)動器的驅(qū)動方法在具備快速,大行程響應(yīng)能力的同時,難于兼具高精度,納米尺度定位功能這一突出問題.本方法基于多足旋轉(zhuǎn)壓電驅(qū)動器的兩組彎振壓電陶瓷實現(xiàn)的,并根據(jù)目標輸出位移選擇三種激勵模式之一,兩種激勵模式的組合或者三種激勵模式的組合來實現(xiàn)不同位移尺度的輸出,所述激勵模式包括交流連續(xù)激勵模式,脈沖步進激勵模式和直流微驅(qū)動模式,使得驅(qū)動器不僅具備快速,大行程響應(yīng)能力,同時具備高精度,納米尺度定位功能,最終實現(xiàn)真正的跨尺度,超精密驅(qū)動.它用于壓電驅(qū)動領(lǐng)域中實現(xiàn)跨尺度,超精密驅(qū)動.
哈爾濱工業(yè)大學
2021-05-04