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半導體設備超潔凈流控系統及其受制約流控零部件
浙江大學聚焦超潔凈流控系統基礎研究、技術攻關和產品研發，攻克了影響光刻分辨率、良品率與產率的1mk級溫度測控、5ppt級金屬離子測控、20μm級氣泡測控、50nm級殘留液膜測控等關鍵核心技術
一、項目分類
關鍵核心技術突破
二、技術分析
如何通過超潔凈流控技術降低流控污染，減少曝光缺陷，提升曝光良率，是國產高端半導體制造裝備研制面臨的重大挑戰，直接關乎整機產品的產線應用性能與市場競爭力。此外，作為各類半導體制造裝備的共性核心零部件，超潔凈流控部件市場被美國、日本等國壟斷，使我國半導體制造裝備產業面臨核心零部件“卡脖子”風險。浙江大學流體動力與機電系統國家重點實驗室啟爾團隊所承擔的高端半導體制造裝備核心分系統之一的超潔凈流控系統，自2004年以來在國家863計劃和國家02專項支持，聚焦超潔凈流控系統基礎研究、技術攻關和產品研發，攻克了影響光刻分辨率、良品率與產率的1mk級溫度測控、5ppt級金屬離子測控、20μm級氣泡測控、50nm級殘留液膜測控等關鍵核心技術，完成了超潔凈流控系統九大組件的研制和集成測試，為半導體制造設備掃描速度與產能的提高提供基礎理論與方法依據，同時自主研發的半導體機臺核心超潔凈流控零部件實現了產品化，突破了國外技術的封鎖，為我國半導體制造的發展與自主創新提供了基礎支撐。
浙江大學
2022-07-22
一種電控液晶菲涅耳紅外聚束微透鏡芯片
本發明公開了一種電控液晶菲涅耳紅外聚束微透鏡芯片，包括：第一驅控信號輸入端口、第二驅控信號輸入端口、以及菲涅耳液晶聚束微透鏡，菲涅耳紅外聚束微透鏡有 m 級衍射相位環，菲涅耳液晶聚束微透鏡采用液晶夾層結構，且上下層之間順次設置有紅外增透膜系、第一基片、頂面圖案化電極、第一電隔離層、第一液晶定向層、液晶層、第二液晶定向層、第二電隔離層、頂層圖案化電極、電極間電絕緣層、公共電極、以及第二基片，頂面圖案化電極和公共電極分別
華中科技大學
2021-04-14
非連續可用子載波CI-OFDM碼添加方法
本發明相對于傳統的OFDM系統發射機模型，添加了一個N點IDFT運算，不需要太多額外的復雜度和硬件開銷。相對于傳統的OFDM，本發明大大降低了發送信號的PAPR，使發送信號功率分配更加均勻，降低了發射機功放的設計難度。本發明提出對添加Nzero個0后的N維信號進行CI擴展，相對于現有技術直接對N-Nzero調制符號進行CI擴展，保持了子載波的正交性，使得發射信號的PAPR獲得了進一步的降低。
電子科技大學
2021-04-10
基于重復子結構的復合材料建模方法
本發明公開了一種基于重復子結構的復合材料有限元建模方法，包括以下步驟：建立復合材料精細化的多組分單胞有限元模型；基于上述精細化的多組分單胞有限元模型，建立復合材料重復子結構模型；對重復子結構進行縮聚，然后將特征矩陣裝配到單胞殘余結構，得到全復合材料分析模型；此方法在保證計算精度的同時簡化了復合材料精細化建模工程，極大的提高建模效率，具有十分重要的工程意義。
東南大學
2021-04-11
摩擦界面的聲子傳遞理論與能量耗散模型
該成果獲2018年度國家科學技術獎自然科學類二等獎，該成果系統地開展了摩擦的聲子耗散以及聲子在界而和多層膜結構內的輸運規律的研究，在摩擦的聲子粍散機理研宄方面，發現摩擦粍能與聲子主導頻率的定量關系；在國際上最早給出超晶格結構導熱系數最小值出現的條件：率先提出聲子沿石墨法向輸運的自由程遠大于經典理論預測的10nm左右：實現了描述聲子輸運的玻爾茲曼方程的數值解，在國際上率先發現多層膜之間的范德華力能夠提髙聲子在多層膜結構面內的平均自由程。該項0組的研究成果主要發表在Nano Letters、Physical Review B、Nature Nanotechnology等國際學術期刊上，其中8篇代表性論文獲Science、Nature Nanotechnology、Nature Materials、Advanced Materials等重要國際學術期刊論文SCI他引509篇次，單篇最髙SCI他引U5次，研宂成果在國際上產生了重要的學術影響。
東南大學
2021-04-10
一種懸式絕緣子再現檢測系統
本實用新型公開了一種懸式絕緣子在線監測系統，包括：應力監測裝置、污穢檢測裝置和導線風偏 監測裝置，用來實時監測瓷柱式絕緣子的應力數據、污穢數據和導線風偏數據；應力監測裝置、污穢檢 測裝置和導線風偏監測裝置的輸出均連接 A/D 轉換電路，A/D 轉換電路的輸出連接數字處理電路，數字 處理電路用來將 A/D 轉換電路輸出的數字信號遠距離傳輸到移動終端；移動終端連接數據存儲器；太陽 能電池用來供電；控制電路與應力監測裝置、污穢檢測裝置、導線風偏監測裝置、A/D 轉換電路、數字 處理電路和移動終端均相連。本實用新型可實現高壓輸電線路上瓷柱式絕緣子的遠程實時監控，從而及 時發現并排除絕緣子的安全隱患。
武漢大學
2021-04-13
多功能瓷柱式絕緣子在線監測系統
本實用新型公開了一種多功能瓷柱式絕緣子在線監測系統，包括：泄漏電流采集裝置，用來實時監 測瓷柱式絕緣子的泄露電流數據；Sensor-應力監測裝置，用來實時監測瓷柱式絕緣子的應力數據；污穢 檢測裝置，用來實時監測瓷柱式絕緣子的污穢數據；控制器通過信號線與泄漏電流采集裝置、Sensor-應 力監測裝置和污穢檢測裝置均相連；控制器用來收集數據，并將收集的數據通過發射天線發送出去，信 號接收器通過接收天線接收數據，信號接收器和終端機信號連接；太陽能電池用來供電。本實用新型設 計精簡，成本低廉，可很大程度保證瓷柱式絕緣子的正常運行，從而預防事故發生，確保輸電線路的安 全和穩定運行。
武漢大學
2021-04-13
基于準田字形壓電振子驅動的平面電機
本實用新型涉及多自由度壓電超聲電機技術，具體涉及基于準田字形壓電振子驅動的平面電機，包 括定子組件、動子組件、支座組件和預緊組件，采用準田字形定子組件，且通過預緊組件與支座組件連 接；動子組件分別連接定子組件和支座組件。電機通過激發準田字形定子組件的面外一階對稱彎曲振動、 左右圍桿面內一階彎曲振動、前后圍桿面內一階彎曲振動三種模態的振動或近共振復合出兩相橢圓運動 軌跡，據此推動動子組件交替地沿 x、y 向移動。可實現微米甚至更高精度級平面運動；
武漢大學
2021-04-14
一種測量絕緣子結構高度的裝置
本實用新型提供一種測量絕緣子結構高度的裝置，包括基座(1)、吊框(2)，所述吊框(2)包括 橫梁(21)與立柱(22)，所述橫梁(21)與所述立柱(22)垂直，所述立柱(22)與所述基座(1)的 底面垂直，所述立柱(22)上有測量刻度，所述橫梁(21)上設置有懸掛件(3)，所述懸掛件(3)包 括連成一體的懸掛部(31)和連接部(32)，所述懸掛部(31)與所測量的絕緣子(4)的鋼腳的形狀相 同。所述基座(1)上可以設有水平儀(11)，底部還可以設有 3 個調平支腳(12)，本裝置
武漢大學
2021-04-14
聲子拓撲材料的理論研究方面重要進展
課題組采用基于密度泛函理論的晶格動力學方法研究了碲化鎘(CdTe)材料的聲子譜（見圖1(a)），通過系統分析發現在具有閃鋅礦結構的II-VI半導體碲化鎘中存在理想的第二類外爾聲子（見圖1(b)），并且發現這樣的準粒子激發發生于聲學支和光學支的交匯處。課題組隨后根據二階力常數矩陣構造類似于電子系統的Wannier緊束縛Hamiltonian，從而可以
南方科技大學
2021-04-14