一種精密減振組件及由其構成的減振平臺
本發(fā)明公開了一種精密減振組件及由其構成的減振平臺,具有減振和 Z 向定位功能。精密減振組件包括被動減振部件、主動減振執(zhí)行器和外框架。被動減振部件采用雙腔體結構的活塞桿,氣囊和壓力腔分別位于兩個腔體內,氣囊具有較大的縱向支撐力和較低的剛度,能隔離衰減高頻的振動。主動減振執(zhí)行器為直線型音圈電機,與被動減振部件并聯(lián),根據(jù)被控對象振動狀態(tài)和位置信息,對被動對象施加作用力,帶動被控對象運動到指定的位置和對振動進行補償。至少三個精密減振組件構成的減振平臺具有多自由度減振,Z 向精確定位和調平調焦功能。本發(fā)明可用
華中科技大學
2021-04-14