本發(fā)明的硅基未知頻率縫隙耦合式直接式毫米波相位檢測(cè)器是由共面波導(dǎo)、縫隙耦合結(jié)構(gòu)、移相器、單刀雙擲開(kāi)關(guān)、Wilkinson功分器、Wilkinson功合器以及直接式熱電式功率傳感器所構(gòu)成,整個(gè)結(jié)構(gòu)基于高阻Si襯底制作,一共設(shè)置有四個(gè)縫隙耦合結(jié)構(gòu),上方的兩個(gè)縫隙耦合結(jié)構(gòu)實(shí)現(xiàn)信號(hào)的頻率測(cè)量,下方的兩個(gè)縫隙耦合結(jié)構(gòu)實(shí)現(xiàn)信號(hào)的相位測(cè)量,在前后縫隙之間設(shè)置有一段移相器;Wilkinson功分器和Wilkinson功合器是由共面波導(dǎo)、非對(duì)稱(chēng)共面帶線和一個(gè)隔離電阻組成;直接式熱電式功率傳感器主要由共面波導(dǎo)、兩個(gè)熱電
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