一種用于廣義橢偏儀的光強(qiáng)自動(dòng)調(diào)整裝置及其控制方法
本發(fā)明公開(kāi)了一種廣義橢偏儀光強(qiáng)自動(dòng)調(diào)整裝置及其控制方法。裝置主要包括計(jì)算機(jī)、光譜儀、伺服電機(jī)控制器、直流伺服電機(jī)、增量式編碼器和中性密度濾光片轉(zhuǎn)盤(pán)。在廣義橢偏儀硬件連接完成的情況下,根據(jù)光譜儀采集的光譜曲線是否飽和以及是否絕大部分在光譜儀線性響應(yīng)區(qū)間來(lái)決定是否要轉(zhuǎn)動(dòng)直流伺服電機(jī),從而帶動(dòng)中性密度濾波片轉(zhuǎn)盤(pán)轉(zhuǎn)動(dòng)以切換中性密度濾波片來(lái)改變光源照射出來(lái)的光強(qiáng)大小。本發(fā)明可以實(shí)現(xiàn)對(duì)雙旋轉(zhuǎn)補(bǔ)償器廣義橢偏儀光強(qiáng)自動(dòng)調(diào)整,且響應(yīng)快速,操作簡(jiǎn)單。
華中科技大學(xué)
2021-04-14