一種基于 CO2 激光器的自校準(zhǔn)測(cè)量 SF6 濃度的裝置及方法
本發(fā)明公開(kāi)了一種基于 CO2 激光器的自校準(zhǔn)測(cè)量 SF6 濃度的裝置及方法,運(yùn)用波長(zhǎng)可調(diào)諧 CO2 激光器,在傳統(tǒng)光聲光譜技術(shù)的基礎(chǔ)上,檢測(cè)兩個(gè)不同波長(zhǎng)的光聲信號(hào),并通過(guò)數(shù)據(jù)處理計(jì)算出 SF6 濃度。該裝置成功實(shí)現(xiàn)了自校準(zhǔn)的 SF6 濃度測(cè)量,避免了傳統(tǒng)光聲光譜技術(shù)中運(yùn)用標(biāo)準(zhǔn)氣標(biāo)定檢測(cè)系統(tǒng)的過(guò)程,從而排除了標(biāo)定過(guò)程中氣壓、溫度、緩沖氣等因素對(duì)檢測(cè)結(jié)果準(zhǔn)確性的影響,從而提高了光聲光譜技術(shù)的測(cè)量精度和實(shí)用性。此外該自校準(zhǔn)
華中科技大學(xué)
2021-04-14