本發明公開了一種基于 CO2 激光器的自校準測量 SF6 濃度的裝置及方法,運用波長可調諧 CO2 激光器,在傳統光聲光譜技術的基礎上,檢測兩個不同波長的光聲信號,并通過數據處理計算出 SF6 濃度。該裝置成功實現了自校準的 SF6 濃度測量,避免了傳統光聲光譜技術中運用標準氣標定檢測系統的過程,從而排除了標定過程中氣壓、溫度、緩沖氣等因素對檢測結果準確性的影響,從而提高了光聲光譜技術的測量精度和實用性。此外該自校準