適用于 IC 裝備工件定位運(yùn)動(dòng)臺(tái)的仿真系統(tǒng)及其建模方法
本發(fā)明公開了一種適用于 IC 裝備工件定位運(yùn)動(dòng)臺(tái)的仿真系統(tǒng)及 建模方法,該方法包括:獲取運(yùn)動(dòng)臺(tái)基礎(chǔ)部件的部件模型,將所述部 件模型以學(xué)科領(lǐng)域進(jìn)行分類,構(gòu)建部件級(jí)多領(lǐng)域模型庫(kù);選用部件級(jí) 多領(lǐng)域模型庫(kù)中的部件模型,構(gòu)建功能模塊級(jí)模型庫(kù);選用所述功能 模塊級(jí)模型庫(kù)中的模型構(gòu)建系統(tǒng)級(jí)模型;對(duì)系統(tǒng)級(jí)模型進(jìn)行檢查,檢 查無(wú)誤后設(shè)定模型參數(shù),以完成運(yùn)動(dòng)臺(tái)仿真系統(tǒng)的建模。該系統(tǒng)包括部件級(jí)多領(lǐng)域模型庫(kù)、功能模塊級(jí)模型庫(kù)、系統(tǒng)級(jí)模型、模型編譯及 仿真模塊、輸出模塊。上述部件級(jí)多領(lǐng)域模型庫(kù)、功能模塊
華中科技大學(xué)
2021-04-14