一種叉指電容結構的曲率傳感器
本發明公開了一種基于叉指電容結構的曲率傳感器,包括柔性基板、金屬條以及叉指型結構,所述柔性基板上放置叉指型結構,金屬條的數量為兩個,兩個金屬條平行放置在柔性基板上表面兩側,金屬條之間放置相互平行、懸空的叉指型結構,當柔性基板貼合在一個曲率的表面上時,彎曲的柔性基板會導致叉指型結構之間的交疊部分發生改變,使得叉指型結構構成的叉指電容發生變化,通過檢測叉指電容的變化量實現曲率的測量,本發明突破了傳統檢測原理的思維限制,尋找到了基于MEMS技術的實現方法,靈敏度和體積都有提升。同時還具有結構簡單、設計靈活、易于測量、工藝兼容、成本低等優勢。
東南大學
2021-04-11