本發明公開了一種光功率分束器,包括襯底以及在襯底上自下 而上依次排列的包層、下導波層和上導波層;上導波層為圖形層,沿 水平面上向右方向依次刻蝕有輸入波導、準直透鏡、光束整形透鏡組、 相移光柵、傅里葉變換透鏡、第一相位補償結構、直流分量相移器、 第二相位補償結構和輸出波導陣列;其中,準直透鏡、光束整形透鏡 組、相移光柵、傅里葉變換透鏡、第一相位補償結構、直流分量相移 器和第二相位補償結構的厚度相同;輸入波導和輸出波導陣