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本發(fā)明公開(kāi)了一種用于非球面測(cè)量的波長(zhǎng)掃描干涉儀及方法，包括一套可調(diào)諧激光器作為光源，一個(gè)泰曼—格林干涉儀用于產(chǎn)生干涉條紋，一個(gè)平移臺(tái)用于沿光軸掃描光程差，一個(gè)用于將干涉數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)為數(shù)字信號(hào)并傳入計(jì)算機(jī)的圖像卡，以及一個(gè)用于同步CCD相機(jī)和平移臺(tái)動(dòng)作的數(shù)據(jù)卡。與傳統(tǒng)非球面測(cè)量方法不同的是，本干涉儀適用范圍廣，可以測(cè)量大非球面度的表面或波前，且無(wú)需補(bǔ)償零位鏡。另外，該方法無(wú)需復(fù)雜且通常較為昂貴的多維運(yùn)動(dòng)平臺(tái)。

基于啞鈴形光纖結(jié)構(gòu)的馬赫增德干涉儀, 適用于光纖激光器、光纖傳感、光纖通信領(lǐng)域。解決了基于光纖結(jié)構(gòu)的馬赫增德干涉儀尺寸大、敏感性差、制作成本高的問(wèn)題。該干涉儀包括在光纖(1)上制作的第一、第二擴(kuò)芯區(qū)(21、23)，拉錐區(qū)(22)。制作方法：將光纖(1)去除涂覆，在對(duì)光纖(1)加熱的同時(shí)將光纖(1)兩端向中間推，分別制作位置連續(xù)的第一、第二擴(kuò)芯區(qū)(21、23)，然后在第一、第二擴(kuò)芯區(qū)(21、23)之間將光纖(1)拉細(xì)制作拉錐區(qū)(22)。加熱的方法包括：電火花放電、CO2激光器聚焦或火焰加熱。激光在第一擴(kuò)芯區(qū)21分成兩路，一路耦合到包層中傳播，另一路繼續(xù)在纖芯中傳播，在第二擴(kuò)芯區(qū)23處，包層中的光信號(hào)和纖芯中的光信號(hào)相干產(chǎn)生干涉條紋。

研發(fā)階段/n本發(fā)明公開(kāi)了一種基于干涉條紋形狀的二維小角度測(cè)量裝置，屬于精密測(cè)量技術(shù)領(lǐng)域。該裝置包括激光器、分光鏡、目標(biāo)反射鏡、參考反射鏡和四象限接收器，目標(biāo)反射鏡固定在被測(cè)物體上。激光調(diào)制器對(duì)激光器發(fā)出的光束進(jìn)行調(diào)制，被調(diào)制的光束經(jīng)分光鏡后分為兩束，這兩束光分別經(jīng)目標(biāo)反射鏡和參考反射鏡反射后再返回分光鏡，會(huì)聚產(chǎn)生動(dòng)態(tài)干涉條紋，當(dāng)被測(cè)物體繞ｚ軸有角度變化時(shí)，動(dòng)態(tài)干涉條紋的寬度將發(fā)生變化，當(dāng)被測(cè)物體繞ｘ軸有角度變化時(shí)，動(dòng)態(tài)干涉條紋的寬度和方向同時(shí)改變。動(dòng)態(tài)干涉條紋用四象限光電接收器接收后轉(zhuǎn)為電信號(hào)，該信

力與位移耦合控制的新型動(dòng)力轉(zhuǎn)向系統(tǒng)屬于一種新型電動(dòng)轉(zhuǎn)向技術(shù)，屬于汽車零部件設(shè)計(jì)領(lǐng)域。汽車動(dòng)力轉(zhuǎn)向是人車路閉環(huán)系統(tǒng)的橋梁和紐帶，是影響汽車主動(dòng)安全性和駕駛員轉(zhuǎn)向感覺(jué)的關(guān)鍵問(wèn)題。如何有機(jī)融合駕駛員轉(zhuǎn)向感覺(jué)與汽車主動(dòng)安全性，使轉(zhuǎn)向輕便性與轉(zhuǎn)向路感協(xié)調(diào)統(tǒng)一，已成為當(dāng)前國(guó)內(nèi)外動(dòng)力轉(zhuǎn)向系統(tǒng)設(shè)計(jì)的技術(shù)難題和產(chǎn)業(yè)化的技術(shù)瓶頸。本項(xiàng)目立足前沿，突破一系列關(guān)鍵技術(shù)，形成具有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的創(chuàng)新成果，創(chuàng)新性地研制出基于力與位移耦合控制的新型動(dòng)力轉(zhuǎn)向系統(tǒng)，不僅能實(shí)現(xiàn)汽車轉(zhuǎn)向輕便性和駕駛員路感的完美融合，而且還能使汽車的安全

產(chǎn)品詳細(xì)介紹 拉繩位移傳感器是直線位移傳感器在結(jié)構(gòu)上的精巧集成，充分結(jié)合了角度位移傳感器，直線位移傳感器以及齒輪、條傳動(dòng)的各種優(yōu)點(diǎn)，是一款結(jié)構(gòu)緊湊、多用途、安裝簡(jiǎn)便且安裝空間尺寸小，無(wú)須補(bǔ)償間隙，具有高精度測(cè)量、高重復(fù)性測(cè)量和高定位精度、長(zhǎng)行程和壽命的傳感器。可以用于精確測(cè)量和定位控制。配合顯示儀表，也可以作為測(cè)量?jī)x器進(jìn)行人工測(cè)量。該系列產(chǎn)品具有很大的選擇空間，有S、M、L、XL等四種型號(hào)，行程從10MM至100000MM不等，具有模擬直流電流4-20毫安，模擬直流電壓0-5伏或0-10伏和脈沖A、B、Z相數(shù)字輸出可滿足大行程、高精度、各種信號(hào)需求。      SOP拉繩位移傳感器的核心部件電位器采用的是日本思博的產(chǎn)品，具有穩(wěn)定性強(qiáng)，高精度，壽命長(zhǎng)（壽命可達(dá)500萬(wàn)次）等特點(diǎn)。鋼絲繩采用的是日本社鋼集團(tuán)株式會(huì)社的產(chǎn)品，世界上最頂尖的鋼絲繩，鋼絲繩直徑0.68MM，繩內(nèi)擁有133根鋼絲。    拉繩位移傳感器用于倉(cāng)儲(chǔ)位置定位，水庫(kù)大壩保護(hù)，閘門(mén)開(kāi)度控制，壓力機(jī)械，造紙機(jī)械，紡織機(jī)械，金屬板材機(jī)械，包裝機(jī)械，印刷機(jī)械，水平控制儀，建筑機(jī)械，工業(yè)機(jī)器人，射出機(jī)，木工機(jī)械，電梯，空氣壓縮機(jī)/油壓機(jī)，高度機(jī)，X-Y軸及其他長(zhǎng)度位移，液位等相關(guān)尺寸量測(cè)和位置控制。WPS-L大型拉繩位移傳感器L型機(jī)座號(hào)：最大有效行程（電壓、電流、電阻型）11500mm，脈沖型：20000mm；線性精度：（通用型）0.25%FS；（精密型）0.05%~0.08%FS；重復(fù)精度：0.002%FS～0.001%FS；產(chǎn)品型式：電流型（4～20mA；或20～4mA）；電壓型（0～10Vdc；或10～0Vdc）               固定螺絲：M4mm；安裝方式：螺絲有效壽命：500萬(wàn)次往復(fù)行程；保護(hù)等級(jí)：IP67供電電壓：24VDC(脈沖型供電電壓：5~24VDC)

本發(fā)明公開(kāi)了一種銑削加工振動(dòng)位移高帶寬補(bǔ)償裝置，屬于銑 削技術(shù)領(lǐng)域，其包括用于支撐主軸的主軸支撐塊，呈方框狀的口字型 滑塊以及敞口凹槽，該口字型滑塊包圍在主軸支撐塊的周圍，敞口凹 槽用于容置口字型滑塊和主軸支撐塊，主軸支撐塊兩個(gè)側(cè)面分別通過(guò) 第一X軸音圈電機(jī)和第二X軸音圈電機(jī)與口字型滑塊的與Y軸平行的 兩個(gè)邊的內(nèi)壁相連接，敞口凹槽的與 X 軸平行的兩個(gè)邊的內(nèi)壁分別通 過(guò)第一Y軸音圈電機(jī)和第二Y軸音圈電機(jī)與口字型滑塊的與X軸平行 的兩個(gè)邊的外壁相連，敞口凹槽的底部安裝有 Z 軸音圈電機(jī)和多個(gè)柔 性鉸鏈支撐。本發(fā)明裝置結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，布局合理，檢測(cè)精度高，能同時(shí) 檢測(cè)沿 X 軸、Y 軸以及 Z 軸的振動(dòng)位移并進(jìn)行補(bǔ)償。 

簡(jiǎn)介：本發(fā)明屬于光譜測(cè)量技術(shù)領(lǐng)域，公開(kāi)了一種菲涅爾雙面鏡干涉成像光譜儀。它包括光學(xué)結(jié)構(gòu)、二維探測(cè)器和數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)，所述的光學(xué)結(jié)構(gòu)包括前置望遠(yuǎn)鏡、入射狹縫和菲涅爾雙面鏡；所述菲涅爾雙面鏡包括平面反射鏡M1和平面反射鏡M2。本發(fā)明的成像光譜儀，在結(jié)構(gòu)上，從入射狹縫到二維探測(cè)器之間僅有一個(gè)光學(xué)元件（菲涅爾雙面鏡），這使得儀器結(jié)構(gòu)大為簡(jiǎn)化；另外，由于本發(fā)明在光路結(jié)構(gòu)中采用菲涅爾雙面鏡，菲涅爾雙面鏡表面反射率高，入射光能損失低。

本發(fā)明公開(kāi)了一種基于橢圓柱內(nèi)反射鏡的位移檢測(cè)裝置，該裝置將凸透鏡成像的原理進(jìn)行巧妙地運(yùn)用，通過(guò)光致發(fā)光物質(zhì)(或漫反射材料)、橢圓柱內(nèi)反射鏡和線陣感光元件將光匯聚點(diǎn)的位置檢測(cè)轉(zhuǎn)化為線陣感光元件上感光最強(qiáng)點(diǎn)的檢測(cè)，只需通過(guò)計(jì)算機(jī)便可檢測(cè)出來(lái)。裝置包括點(diǎn)光源激光器、凸透鏡、橢圓柱內(nèi)反射鏡和線陣感光元件。點(diǎn)光源激光器與橢圓柱內(nèi)反射鏡放置于凸透鏡的同一側(cè)；光致發(fā)光物質(zhì)(或漫反射材料)涂在橢圓柱內(nèi)反射鏡的一條焦線上，此焦線與凸透鏡的光軸重合；橢圓柱內(nèi)反射鏡的另一焦線放置線陣感光元件，以檢測(cè)被測(cè)表面的位移。該裝置

本發(fā)明公開(kāi)了一種可溯源白光干涉原子力探針自動(dòng)定位工件方 法，該方法包括如下步驟：在納米級(jí)位移平臺(tái)運(yùn)動(dòng)之前記錄下激光干 涉位移計(jì)量系統(tǒng)的初始位移；接著其在垂直方向上快速產(chǎn)生一個(gè)適量 的位移，在位移發(fā)生后通過(guò)零級(jí)條紋的移動(dòng)量是否在閾值范圍內(nèi)來(lái)判 斷原子力探針是否定位到工件，而如果納米級(jí)垂直位移平臺(tái)在到達(dá)極 限的位移運(yùn)動(dòng)時(shí)還未定位到工件，記錄下其最終位置，并將納米級(jí)垂 直位移平臺(tái)復(fù)位，重復(fù)上述步驟，直至定位到工件。按照本發(fā)明設(shè)定 的自動(dòng)定位的方法，不受原子力探針與工件之間的距離限制，同時(shí)在定位過(guò)程中對(duì)位移進(jìn)行計(jì)量，可實(shí)現(xiàn)可溯源，而采用零級(jí)條紋的移動(dòng) 量來(lái)判斷探針是否定位到工件具有定位快速和高精度的顯著效果。 

1 成果簡(jiǎn)介該技術(shù)可用于制造高技術(shù)產(chǎn)品——各種不同波長(zhǎng)激光的共焦球面法布里-珀羅掃描干涉儀； 該技術(shù)屬國(guó)際首創(chuàng)，具有完全的自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)。這種技術(shù)突破了制作一種波長(zhǎng)的共焦球面法布里-珀羅掃描干涉儀需要用相應(yīng)波長(zhǎng)激光進(jìn)行調(diào)整的限制，它既可以用于在已有相應(yīng)激光作為檢測(cè)工具的情況下制作共焦球面法布里-珀羅掃描干涉儀，也可以在沒(méi)有相應(yīng)激光作為檢測(cè)工具的情況下，甚至在國(guó)內(nèi)外尚沒(méi)有研制出相應(yīng)（波長(zhǎng)）激光器的情況下，制作所需任何波長(zhǎng)的共焦球面法布里-珀羅掃描干涉儀；該項(xiàng)技術(shù)包括共焦球面法布里-珀羅掃描干涉儀全套部件的制作技術(shù)和檢測(cè)技術(shù)，還包括最新國(guó)際首創(chuàng)的光纖耦合輸入共焦球面法布里-珀羅掃描干涉儀制造技術(shù)；采用該技術(shù)可以以極高的性價(jià)比和極高的利潤(rùn)率制作共焦球面干涉儀，具有國(guó)內(nèi)外最高的性能價(jià)格比。 該技術(shù)已經(jīng)成熟，制作工藝已經(jīng)簡(jiǎn)化和標(biāo)準(zhǔn)化，并已用于批量生產(chǎn)共焦球面干涉儀。該技術(shù)生產(chǎn)的是高技術(shù)產(chǎn)品，但由于技術(shù)與工藝成熟，所以對(duì)操作人員的要求并不高，細(xì)心的操作工即可勝任。2 應(yīng)用說(shuō)明用該技術(shù)制造的共焦球面法布里珀羅干涉儀有重要而廣泛的應(yīng)用，舉例如下：激光器模譜分析與測(cè)量 適于各種激光器的測(cè)量，包括： 適用于固體、氣體、液體、半導(dǎo)體激光器的測(cè)量；適用于連續(xù)激光器、重復(fù)頻率脈沖激光器的測(cè)量；適用于各種波長(zhǎng)（可見(jiàn)光、紅外光、紫外光等）激光的測(cè)量。激光橫模測(cè)量：檢測(cè)激光器工作于基橫模，高階橫模，混合模；激光縱模測(cè)量：縱模數(shù)量、間隔、譜線寬度、增益線線型；激光縱模分裂與模競(jìng)爭(zhēng)的測(cè)量；激光器增益系數(shù)的測(cè)量。激光器的制作過(guò)程監(jiān)測(cè)：監(jiān)測(cè)激光器工作的單頻、雙頻及多頻狀態(tài)及雙頻激光功率平衡。多種儀器的制作與工作狀態(tài)的檢測(cè)：比如激光陀螺、原子時(shí)鐘、激光測(cè)速儀等，這些儀器都需要工作在一個(gè)穩(wěn)定的頻率上。濾波器、選頻器：從多個(gè)頻率的激光束中，選出其中一個(gè)頻率的激光。穩(wěn)頻器：用于使激光器穩(wěn)定工作在一個(gè)所需要的頻率上。多種傳感器：微位移測(cè)量（比如壓電陶瓷的微小伸縮靈敏度的測(cè)量等），物體表面超聲脈沖的檢測(cè)，微振動(dòng)的檢測(cè)，液體折射率和濃度的檢測(cè)。3 效益分析對(duì)于制作通用波長(zhǎng)激光的共焦球面法布里-珀羅掃描干涉儀，其售價(jià)-成本比高 10:1；對(duì)不常用波長(zhǎng)激光的共焦球面法布里-珀羅掃描干涉儀，其售價(jià)-成本比可高 50:1。共焦球面法布里-珀羅掃描干涉儀的單價(jià)較高，為 5000-25000 元；生產(chǎn)效率高， 4-5 臺(tái)/人日；生產(chǎn)設(shè)備投資很低。僅需光學(xué)平臺(tái)、通用激光器和示波器；生產(chǎn)的共焦球面法布里-珀羅掃描干涉儀，是國(guó)家教委規(guī)定的大學(xué)實(shí)驗(yàn)室必備基本儀器；是激光器、多種傳感器等儀器的制作與使用過(guò)程的監(jiān)測(cè)等應(yīng)用的首選儀器；在教學(xué)、科研、生產(chǎn)與應(yīng)用領(lǐng)域中均有重要而廣泛的應(yīng)用，市場(chǎng)大；由于高性價(jià)比和高效益，使用該技術(shù)生產(chǎn)的共焦球面法布里-珀羅掃描干涉儀已經(jīng)占領(lǐng)國(guó)內(nèi)市場(chǎng)，國(guó)際市場(chǎng)待開(kāi)發(fā)，可望產(chǎn)生很好的經(jīng)濟(jì)效益。