一種雙軸解耦結(jié)構(gòu)的平面電機(jī)
本發(fā)明公開(kāi)了一種雙軸解耦結(jié)構(gòu)的平面電機(jī),包括基座和位于其上方的工作平臺(tái),所述基座上設(shè)有第一驅(qū)動(dòng)線圈、第二驅(qū)動(dòng)線圈、氣動(dòng)懸浮體、間隙傳感器和位置傳感器,第一和第二驅(qū)動(dòng)線圈在同一平面相垂直擺放;所述工作平臺(tái)上設(shè)有同一平面相垂直擺放的第一永磁體和第二永磁體,其中第一永磁體與第一驅(qū)動(dòng)線圈相垂直,第二永磁體與第二驅(qū)動(dòng)線圈相垂直,另有控制器分別連接兩驅(qū)動(dòng)線圈、兩傳感器和氣動(dòng)懸浮體。本發(fā)明雙軸共面解耦結(jié)構(gòu)實(shí)現(xiàn)同一平面上雙軸驅(qū)動(dòng)的二維運(yùn)動(dòng),簡(jiǎn)化了結(jié)構(gòu),增大了系統(tǒng)可靠性。
華中科技大學(xué)
2021-01-12