大型復(fù)雜金屬表面等離子體與脈沖放電復(fù)合拋光加工裝置
本發(fā)明涉及一種大型復(fù)雜金屬表面等離子體與脈沖放電復(fù)合拋 光加工裝置,目的是解決常規(guī)金屬表面精密加工和拋光方法的不足及 加工和拋光效率低、易產(chǎn)生加工應(yīng)力和表層損傷等問題。該裝置包括 射頻電源、射頻電源匹配器、高壓直流脈沖電源、脈沖電源極性調(diào)節(jié) 裝置、高壓直流脈沖電源阻抗、等離子體炬、加工保護罩、控制電路 和聯(lián)動機構(gòu);本發(fā)明是在大氣壓下對金屬的表面的精密加工和拋光, 不需要真空室和特制的拋光液,可降低設(shè)備成本并擴大其使用范圍。 加工效率是傳統(tǒng)拋光方法的幾倍,并且是無應(yīng)力加工,無表面和亞表 層損傷、無表面污染,拋光工件的表面粗糙度可達到 Ra-0.2μm。
華中科技大學
2021-04-13