本發(fā)明涉及一種大型復雜金屬表面等離子體與脈沖放電復合拋
光加工裝置,目的是解決常規(guī)金屬表面精密加工和拋光方法的不足及
加工和拋光效率低、易產生加工應力和表層損傷等問題。該裝置包括
射頻電源、射頻電源匹配器、高壓直流脈沖電源、脈沖電源極性調節(jié)
裝置、高壓直流脈沖電源阻抗、等離子體炬、加工保護罩、控制電路
和聯動機構;本發(fā)明是在大氣壓下對金屬的表面的精密加工和拋光,
不需要真空室和特制的拋光液,可降低設備成本并擴大其使用范圍。
加工效率是傳統(tǒng)拋光方法的幾倍,并且是無應力加工,無表面和亞表
層損傷、無表面污染,拋光工件的表面粗糙度可達到 Ra-0.2μm。
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