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目前半導(dǎo)體光刻加工用的深紫外光刻膠都采用化學(xué)增幅體系，這種體系主要由含酸敏基團(tuán)的成膜材料和光產(chǎn)酸劑組成，這種體系最大的問題是光產(chǎn)酸在后烘階段會(huì)發(fā)生酸遷移，導(dǎo)致光刻分辨率難以提高。能夠有效改善酸遷移問題的一種方法是采用高分子光產(chǎn)酸劑，且其光產(chǎn)酸是高分子強(qiáng)酸。 課題組研制了一系列新穎的含多種鎓鹽光產(chǎn)酸基團(tuán)的苯乙烯衍生物及其與甲基丙烯酸酯的共聚物。它們?cè)谄毓膺^程中產(chǎn)生大分子的磺酸，因此可作為大分子光產(chǎn)酸劑與其它成膜材料一起組成化學(xué)增幅型光致抗蝕劑。 以之為產(chǎn)酸劑與其它部分保護(hù)的對(duì)羥基苯乙烯聚合物一起組成二組分的化學(xué)增幅型248-nm光刻膠， 制備了苯乙烯磺酸鎓鹽和甲基丙烯酸酯、對(duì)羥基苯乙烯的三元共聚物，再用可酸分解的叔丁基碳酸酯保護(hù)部分酚羥基，由其組成了單組分的化學(xué)增幅型248-nm光刻膠，這些正型248-nm光刻膠獲得了高感度（20-50mJ/cm2）、高分辨率(0.15-0.20微米)和留膜率（＞99%）及圖形線條平滑陡直等的出色表現(xiàn)。  利用高分子產(chǎn)酸劑透明性好的特點(diǎn)，還制備了厚膜248-nm光刻膠，可獲得線寬0.34微米、高-寬比可達(dá)5：1的光刻圖形：  在此基礎(chǔ)上，還制備了負(fù)型248-nm光刻膠，這些光刻膠也都獲得了很好的光刻成像性能表現(xiàn)。這些高分子光產(chǎn)酸劑也可用于制備新型的高性能193-nm光刻膠。 這些248-nm光刻膠的主要組分除了溶劑外都是自行制備，原料易得，反應(yīng)條件溫和可控，去金屬雜質(zhì)的方法也是簡(jiǎn)便易行，成本相對(duì)低廉，在經(jīng)過多年的深入研究之后，完全具備了產(chǎn)業(yè)化的條件。 半導(dǎo)體加工的關(guān)鍵設(shè)備、材料主要掌握在美、日手中，對(duì)我國電子工業(yè)的平穩(wěn)發(fā)展帶來困難和潛在的巨大威脅。其中光刻膠作為芯片光刻加工的關(guān)鍵材料，日本公司的產(chǎn)品占據(jù)全球市場(chǎng)的70%以上，而我國在中高端產(chǎn)品上（248-nm光刻膠、193-nm光刻膠）完全依賴進(jìn)口，即便是低端的i-線光刻膠國產(chǎn)化率也只有20%左右。因此，我們必須盡快扭轉(zhuǎn)這種不利的局面，這需要科研工作者和產(chǎn)業(yè)界共同努力以及政府的大力支持。     近年來光刻膠引起了社會(huì)的廣泛關(guān)注，已有多家企業(yè)開始投身于248-nm光刻膠與193-nm光刻膠的研發(fā)與產(chǎn)業(yè)化，但絕大部分仍處于研發(fā)階段。我們研制的光刻膠具備了產(chǎn)業(yè)化的技術(shù)條件并具有與國外先進(jìn)光刻膠產(chǎn)品競(jìng)爭(zhēng)的產(chǎn)品性能。    半導(dǎo)體加工用光刻膠種類較多，本課題組從2002年參與國家十五“863”光刻膠重大專項(xiàng)開始，至今近二十年來聚焦于光刻膠研究，在i-線膠、248-nm光刻膠、聚酰亞胺光刻膠、厚膜光刻膠及抗反射涂層材料等方面都取得了很好的結(jié)果，也在致力于這些光刻膠產(chǎn)品的產(chǎn)業(yè)化。 相關(guān)項(xiàng)目、專利及文章： 1.國家重大科技專項(xiàng)（02專項(xiàng)）子課題,課題編號(hào):2010ZX02303（深紫外光刻膠專用光致產(chǎn)酸劑及新型成膜樹脂的擴(kuò)試技術(shù)研究） 2.國家自然科學(xué)基金應(yīng)急管理項(xiàng)目，51641301, 含光產(chǎn)酸基團(tuán)的苯乙烯衍生物-甲基丙烯酸酯共聚物及其組成的化學(xué)增幅光致抗蝕劑研究,2016/01-2016/12 3.One-component chemically amplified resist composed of polymeric sulfonium salt PAGs for high resolution patterning，European Polymer Journal，114（2019），11-18 4.A new type of sulfonium salt copolymers generating polymeric photoacid: Preparation, properties and application，Reactive and Functional Polymers，130（2018），118-125 5.含光產(chǎn)酸基團(tuán)的苯乙烯衍生物-甲基丙烯酸酯共聚物、其制備及其應(yīng)用，中國發(fā)明專利，專利號(hào)：9。

目前半導(dǎo)體光刻加工用的深紫外光刻膠都采用化學(xué)增幅體系，這種體系主要由含酸敏基團(tuán)的成膜材料和光產(chǎn)酸劑組成，這種體系最大的問題是光產(chǎn)酸在后烘階段會(huì)發(fā)生酸遷移，導(dǎo)致光刻分辨率難以提高。能夠有效改善酸遷移問題的一種方法是采用高分子光產(chǎn)酸劑，且其光產(chǎn)酸是高分子強(qiáng)酸。 課題組研制了一系列新穎的含多種鎓鹽光產(chǎn)酸基團(tuán)的苯乙烯衍生物及其與甲基丙烯酸酯的共聚物。它們?cè)谄毓膺^程中產(chǎn)生大分子的磺酸，因此可作為大分子光產(chǎn)酸劑與其它成膜材料一起組成化學(xué)增幅型光致抗蝕劑。 以之為產(chǎn)酸劑與其它部分保護(hù)的對(duì)羥基苯乙烯聚合物一起組成二組分的化學(xué)增幅型248-nm光刻膠， 制備了苯乙烯磺酸鎓鹽和甲基丙烯酸酯、對(duì)羥基苯乙烯的三元共聚物，再用可酸分解的叔丁基碳酸酯保護(hù)部分酚羥基，由其組成了單組分的化學(xué)增幅型248-nm光刻膠，這些正型248-nm光刻膠獲得了高感度（20-50mJ/cm2）、高分辨率(0.15-0.20微米)和留膜率（＞99%）及圖形線條平滑陡直等的出色表現(xiàn)。   利用高分子產(chǎn)酸劑透明性好的特點(diǎn)，還制備了厚膜248-nm光刻膠，可獲得線寬0.34微米、高-寬比可達(dá)5：1的光刻圖形：   在此基礎(chǔ)上，還制備了負(fù)型248-nm光刻膠，這些光刻膠也都獲得了很好的光刻成像性能表現(xiàn)。這些高分子光產(chǎn)酸劑也可用于制備新型的高性能193-nm光刻膠。 這些248-nm光刻膠的主要組分除了溶劑外都是自行制備，原料易得，反應(yīng)條件溫和可控，去金屬雜質(zhì)的方法也是簡(jiǎn)便易行，成本相對(duì)低廉，在經(jīng)過多年的深入研究之后，完全具備了產(chǎn)業(yè)化的條件。 半導(dǎo)體加工的關(guān)鍵設(shè)備、材料主要掌握在美、日手中，對(duì)我國電子工業(yè)的平穩(wěn)發(fā)展帶來困難和潛在的巨大威脅。其中光刻膠作為芯片光刻加工的關(guān)鍵材料，日本公司的產(chǎn)品占據(jù)全球市場(chǎng)的70%以上，而我國在中高端產(chǎn)品上（248-nm光刻膠、193-nm光刻膠）完全依賴進(jìn)口，即便是低端的i-線光刻膠國產(chǎn)化率也只有20%左右。因此，我們必須盡快扭轉(zhuǎn)這種不利的局面，這需要科研工作者和產(chǎn)業(yè)界共同努力以及政府的大力支持。     近年來光刻膠引起了社會(huì)的廣泛關(guān)注，已有多家企業(yè)開始投身于248-nm光刻膠與193-nm光刻膠的研發(fā)與產(chǎn)業(yè)化，但絕大部分仍處于研發(fā)階段。我們研制的光刻膠具備了產(chǎn)業(yè)化的技術(shù)條件并具有與國外先進(jìn)光刻膠產(chǎn)品競(jìng)爭(zhēng)的產(chǎn)品性能。    半導(dǎo)體加工用光刻膠種類較多，本課題組從2002年參與國家十五“863”光刻膠重大專項(xiàng)開始，至今近二十年來聚焦于光刻膠研究，在i-線膠、248-nm光刻膠、聚酰亞胺光刻膠、厚膜光刻膠及抗反射涂層材料等方面都取得了很好的結(jié)果，也在致力于這些光刻膠產(chǎn)品的產(chǎn)業(yè)化。 相關(guān)項(xiàng)目、專利及文章： 1.國家重大科技專項(xiàng)（02專項(xiàng)）子課題,課題編號(hào):2010ZX02303（深紫外光刻膠專用光致產(chǎn)酸劑及新型成膜樹脂的擴(kuò)試技術(shù)研究） 2.國家自然科學(xué)基金應(yīng)急管理項(xiàng)目，51641301, 含光產(chǎn)酸基團(tuán)的苯乙烯衍生物-甲基丙烯酸酯共聚物及其組成的化學(xué)增幅光致抗蝕劑研究,2016/01-2016/12 3.One-component chemically amplified resist composed of polymeric sulfonium salt PAGs for high resolution patterning，European Polymer Journal，114（2019），11-18 4.A new type of sulfonium salt copolymers generating polymeric photoacid: Preparation, properties and application，Reactive and Functional Polymers，130（2018），118-125 5.含光產(chǎn)酸基團(tuán)的苯乙烯衍生物-甲基丙烯酸酯共聚物、其制備及其應(yīng)用，中國發(fā)明專利，專利號(hào)：9。

一、項(xiàng)目進(jìn)展 已注冊(cè)公司運(yùn)營(yíng) 二、企業(yè)信息 企業(yè)名稱 武漢研鹿教育科技有限公司 企業(yè)法人 段瓔鈺 注冊(cè)時(shí)間 2019年3月15日 注冊(cè)所在省市 湖北武漢 組織機(jī)構(gòu)代碼 91420111MA4K3AKL56 經(jīng)營(yíng)范圍 計(jì)算機(jī)教育軟件技術(shù)開發(fā)、技術(shù)咨詢、技術(shù)服務(wù)；教育咨詢（不含教育培訓(xùn)）；企業(yè)管理咨詢；會(huì)議服務(wù)；計(jì)算機(jī)系統(tǒng)集成；企業(yè)管理咨詢；商務(wù)信息咨詢；文化藝術(shù)交流活動(dòng)策劃；軟件產(chǎn)品、文化用品、工藝品（不含象牙及其制品）、玩具、日用品的銷售；廣告設(shè)計(jì)、制作、發(fā)布及代理。（依法須經(jīng)審批的項(xiàng)目，經(jīng)相關(guān)部門審批后方可開展經(jīng)營(yíng)活動(dòng)） 企業(yè)地址 洪山區(qū)南湖大道182號(hào)中南財(cái)經(jīng)政法大學(xué)中原大道新體育中心創(chuàng)業(yè)學(xué)院社會(huì)服務(wù)空間108辦公室 獲投資情況 1.種子輪:項(xiàng)目于 2018 年 4 月獲得種子輪投資 60 萬元2.天使輪:項(xiàng)目于2018年10月獲得天使輪投資900萬元人民幣，同時(shí)種子輪退出 三、負(fù)責(zé)人及成員 姓名 學(xué)院/所學(xué)專業(yè) 入學(xué)/畢業(yè)時(shí)間 段瓔鈺 工商管理學(xué)院/人力資源管理 2018.09/2022.06 李金龍 公共管理學(xué)院/社會(huì)工作 2021.09/2024.06 龐文雅 工商管理學(xué)院/市場(chǎng)營(yíng)銷 2018.09/2022.06 段映辰 中韓新媒體學(xué)院/電影學(xué) 2018.09/2022.06 四、指導(dǎo)教師 姓名 學(xué)院/所學(xué)專業(yè) 職務(wù)/職稱 研究方向 鄧漢慧 公共管理學(xué)院 教授 社會(huì)保障、創(chuàng)業(yè)管理與政策、人力資源管理 喻良濤 公共管理學(xué)院 講師 社會(huì)保障、創(chuàng)業(yè)管理與政策、人力資源管理 五、項(xiàng)目簡(jiǎn)介 “研鹿教育”是一個(gè)從“狀元帶狀元”入手創(chuàng)建的“學(xué)術(shù)精英養(yǎng)成和學(xué)業(yè)發(fā)展平臺(tái)”。 “研鹿教育”首創(chuàng)保研界學(xué)術(shù)精英發(fā)展咨詢盈利模式，其商業(yè)模式主要是通過提供教育咨詢與信息提供獲取利潤(rùn):通過公眾號(hào)、APP 等運(yùn)營(yíng)獲取用戶流量，獲取用戶流量后通過對(duì)用戶畫像分析和構(gòu)建能 力素質(zhì)模型提供精準(zhǔn)高效的一站式咨詢服務(wù)，培養(yǎng)學(xué)子持續(xù)性學(xué)習(xí)習(xí)慣，提高用戶滿意度;用戶滿意度提高后積極將顧客轉(zhuǎn)化為咨詢師和就業(yè)者，及時(shí)更新商業(yè)信息的同時(shí)提高人力資源利用效率，形成知識(shí)共享的消費(fèi)閉環(huán)。在消費(fèi)閉環(huán)的形成過程中，“研鹿教育”則主要通過信息咨詢、學(xué)業(yè)規(guī)劃、課程提供等方式盈利。 項(xiàng)目從開始運(yùn)營(yíng)至今，已經(jīng)建立起堅(jiān)固的業(yè)務(wù)“護(hù)城河”以及極佳的行業(yè)競(jìng)爭(zhēng)優(yōu)勢(shì)。2018年3月開發(fā)出全國首個(gè)保研小程序——“研鹿考研”，先其余競(jìng)爭(zhēng)對(duì)手一步進(jìn)入保研咨詢藍(lán)海市場(chǎng)。2018年4月已獲種子輪投資，2018年10月獲得900萬天使輪融資，目前已覆蓋高校320所，咨詢師3.5萬，用戶社群流量15萬，累積32余萬粉絲，保研C2C咨詢領(lǐng)域市場(chǎng)份額占96%。 目前我們正在著重打造全面信息咨詢服務(wù)平臺(tái)，致力于提供升學(xué)就業(yè)一站式服務(wù)，以成為行業(yè)內(nèi)龍頭企業(yè)為目標(biāo)，繼續(xù)深耕保研咨詢等相應(yīng)市場(chǎng)，加固業(yè)務(wù)“護(hù)城河”。

產(chǎn)品詳細(xì)介紹油研Yuken 是世界著名的葉片泵生產(chǎn)廠，本型泵專為低噪音工作而開發(fā)的高壓高性能泵，規(guī)格齊全。最大的特點(diǎn)是低噪音。并以質(zhì)量可靠、故障率低而享有極高的聲譽(yù).電話:(0755)89820325 傳真(0755)33252205E-mail:[email protected]聯(lián)系人:劉生  13670076552 深圳弘發(fā)液壓設(shè)備有限公司主要經(jīng)營(yíng)以下產(chǎn)品:日本YUKEN油研。油泵柱塞泵。變量泵及配件銷售。日本YUKEN、PV2R1、日本YUKEN、PV2R2、日本YUKEN、PV2R3、日本YUKEN、PV2R4 日本YUKEN、雙聯(lián)泵PV2R12。PV2R13。PV2R14。PV2R23。PV2R24。PV2R34。等油泵及配件PV2R1-6-F-RAA-4222 PV2R1-10-F-RAA-4222 PV2R1-12-F-RAA-41  PV2R1-14-F-RAA-41 PV2R1-17-F-RAA-41  PV2R1-19-F-RAA-41PV2R1-23-F-RAA-41    PV2R1-25-F-RAA-41PV2R1-28-F-RAA-41    PV2R1-31-F-RAA-41 PV2R2-26-F-RAA-41    PV2R2-33-F-RAA-41  PV2R2-41-F-RAA-41    PV2R2-47-F-RAA-41PV2R2-53-F-RAA-41    PV2R2-59-F-RAA-41PV2R2-65-F-RAA-41    PV2R3-52-F-RAA-31PV2R3-60-F-RAA-31    PV2R3-66-F-RAA-31PV2R3-76-F-RAA-31    PV2R3-94-F-RAA-31PV2R3-116-F-RAA-31   PV2R4-136-F-RAA-30PV2R4-153-F-RAA-30   PV2R4-184-F-RAA-30PV2R4-200-F-RAA-30   PV2R4-237-F-RAA-30  等雙聯(lián)泵：PV2R12。PV2R13。PV2R14。PV2R23。PV2R24。PV2R34。等油泵及配件。主要經(jīng)營(yíng)以下產(chǎn)品:日本YUKEN油研、油泵。柱塞泵 變量泵。YUKEN：AR變量柱塞：AR16、AR22；YUKEN：AR變量柱塞：AR16-FR01C-20YUKEN：AR變量柱塞：AR22-FR01C-20YUKEN：AR變量柱塞：AR16-FR01B-20YUKEN：AR變量柱塞：AR22-FR01B-20YUKEN：A系列 變量柱塞泵A10、A16、A22、A37、A56、A70、A90、A145YUKEN：A系列 變量柱塞泵A10-F-R-01-C-K-10YUKEN：A系列 變量柱塞泵A10-F-R-01-B-K-10YUKEN：A系列 變量柱塞泵A10-F-R-01-H-K-10YUKEN：A系列 變量柱塞泵A10-L-R-01-C-K-10YUKEN：A系列 變量柱塞泵A10-L-R-01-B-K-10YUKEN：A系列 變量柱塞泵A10-L-R-01-H-K-10YUKEN：A系列 變量柱塞泵A16-F-R-01-C-K-32YUKEN：A系列 變量柱塞泵A16-F-R-01-B-K-32YUKEN：A系列 變量柱塞泵A16-F-R-01-H-K-32YUKEN：A系列 變量柱塞泵A16-L-R-01-C-K-32YUKEN：A系列 變量柱塞泵A16-L-R-01-B-K-32YUKEN：A系列 變量柱塞泵A16-L-R-01-H-K-32YUKEN：A系列 變量柱塞泵A16-F-R-01-C-S-K-32YUKEN：A系列 變量柱塞泵A16-F-R-01-B-S-K-32YUKEN：A系列 變量柱塞泵A16-F-R-01-H-S-K-32YUKEN：A系列 變量柱塞泵A16-L-R-01-C-S-K-32YUKEN：A系列 變量柱塞泵A16-L-R-01-B-S-K-32YUKEN：A系列 變量柱塞泵A16-L-R-01-H-S-K-32YUKEN：A系列 變量柱塞泵A22-F-R-01-C-K-32YUKEN：A系列 變量柱塞泵A22-F-R-01-B-K-32YUKEN：A系列 變量柱塞泵A22-F-R-01-H-K-32YUKEN：A系列 變量柱塞泵A22-L-R-01-C-K-32YUKEN：A系列 變量柱塞泵A22-L-R-01-B-K-32YUKEN：A系列 變量柱塞泵A22-F-R-01-C-S-K-32YUKEN：A系列 變量柱塞泵A22-F-R-01-B-S-K-32YUKEN：A系列 變量柱塞泵A22-L-R-01-C-S-K-32YUKEN：A系列 變量柱塞泵A22-L-R-01-B-S-K-32YUKEN：A系列 變量柱塞泵A37-F-R-04-H-K-A-32366YUKEN：A系列 變量柱塞泵A37-F-R-01-B-K-32YUKEN：A系列 變量柱塞泵A37-F-R-01-H-K-32YUKEN：A系列 變量柱塞泵A37-L-R-01-C-K-32YUKEN：A系列 變量柱塞泵A37-L-R-01-B-K-32YUKEN：A系列 變量柱塞泵A37-L-R-01-H-K-32YUKEN：A系列 變量柱塞泵A37-F-R-01-C-S-K-32YUKEN：A系列 變量柱塞泵A37-F-R-01-B-S-K-32YUKEN：A系列 變量柱塞泵A37-F-R-01-H-S-K-32YUKEN：A系列 變量柱塞泵A37-L-R-01-C-S-K-32YUKEN：A系列 變量柱塞泵A37-L-R-01-B-S-K-32YUKEN：A系列 變量柱塞泵A37-L-R-01-H-S-K-32YUKEN：A系列 變量柱塞泵A37-F-R-01-C-K-32YUKEN：A系列 變量柱塞泵A37-F-R-01-B-K-32YUKEN：A系列 變量柱塞泵A37-F-R-01-H-K-32YUKEN：A系列 變量柱塞泵A37-L-R-01-C-K-32YUKEN：A系列 變量柱塞泵A37-L-R-01-B-K-32YUKEN：A系列 變量柱塞泵A37-L-R-01-H-K-32YUKEN：A系列 變量柱塞泵A37-F-R-01-C-S-K-32YUKEN：A系列 變量柱塞泵A37-F-R-01-B-S-K-32YUKEN：A系列 變量柱塞泵A37-F-R-01-H-S-K-32YUKEN：A系列 變量柱塞泵A37-L-R-01-C-S-K-32YUKEN：A系列 變量柱塞泵A37-L-R-01-B-S-K-32YUKEN：A系列 變量柱塞泵A37-L-R-01-H-S-K-32YUKEN：A系列 變量柱塞泵A56-F-R-01-C-K-32YUKEN：A系列 變量柱塞泵A56-F-R-01-B-K-32YUKEN：A系列 變量柱塞泵A56-F-R-01-H-K-32YUKEN：A系列 變量柱塞泵A56-L-R-01-C-K-32YUKEN：A系列 變量柱塞泵A56-L-R-01-B-K-32YUKEN：A系列 變量柱塞泵A56-L-R-01-H-K-32YUKEN：A系列 變量柱塞泵A56-F-R-01-C-S-K-32YUKEN：A系列 變量柱塞泵A56-F-R-01-B-S-K-32YUKEN：A系列 變量柱塞泵A56-F-R-01-H-S-K-32YUKEN：A系列 變量柱塞泵A56-L-R-01-C-S-K-32YUKEN：A系列 變量柱塞泵A56-L-R-01-B-S-K-32YUKEN：A系列 變量柱塞泵A56-L-R-01-H-S-K-32YUKEN：A系列 變量柱塞泵A70-F-R-01-C-S-60YUKEN：A系列 變量柱塞泵A70-F-R-01-B-S-60YUKEN：A系列 變量柱塞泵A70-F-R-01-H-S-60YUKEN：A系列 變量柱塞泵A70-L-R-01-K-S-60YUKEN：A系列 變量柱塞泵A70-L-R-01-C-S-60YUKEN：A系列 變量柱塞泵A70-L-R-01-B-S-60YUKEN：A系列 變量柱塞泵A70-L-R-01-H-S-60YUKEN：A系列 變量柱塞泵A70-L-R-01-K-S-60YUKEN：A系列 變量柱塞泵A90-F-R-01-C-S-60YUKEN：A系列 變量柱塞泵A90-F-R-01-B-S-60YUKEN：A系列 變量柱塞泵A90-F-R-01-H-S-60YUKEN：A系列 變量柱塞泵A90-L-R-01-K-S-60YUKEN：A系列 變量柱塞泵A90-L-R-01-C-S-60YUKEN：A系列 變量柱塞泵A90-L-R-01-B-S-60YUKEN：A系列 變量柱塞泵A90-L-R-01-H-S-60YUKEN：A系列 變量柱塞泵A90-L-R-01-K-S-60YUKEN：A系列 變量柱塞泵A145-F-R-01-C-S-60YUKEN：A系列 變量柱塞泵A145-F-R-01-B-S-60YUKEN：A系列 變量柱塞泵A145-F-R-01-H-S-60YUKEN：A系列 變量柱塞泵A145-L-R-01-K-S-60YUKEN：A系列 變量柱塞泵A145-L-R-01-C-S-60YUKEN：A系列 變量柱塞泵A145-L-R-01-B-S-60YUKEN：A系列 變量柱塞泵A145-L-R-01-H-S-60YUKEN：A系列 變量柱塞泵A145-L-R-01-K-S-60

本項(xiàng)目提出一種創(chuàng)新的集成電路(IC)制造工藝路線，即壓印光刻(Imprint Lithography－IL)技術(shù)，并對(duì)該技術(shù)相關(guān)的壓印和脫模工藝機(jī)理、紫外光固化阻蝕膠材料的物化和工藝特性、與IC制造其它工藝的綜合集成和優(yōu)化、壓印光刻設(shè)備的關(guān)鍵技術(shù)等進(jìn)行研究和技術(shù)開發(fā)。其基本原理為：以電子束直寫刻蝕(或其它刻蝕技術(shù))生成IC圖型母板(模具)，以母板(模具)步

儀研智造（上海）藥檢儀器有限公司始創(chuàng)于2007年，是由原中國藥科大學(xué)技術(shù)專家和上海市光學(xué)研究所多名科研人員組成，主要開發(fā)生產(chǎn)與銷售藥物檢測(cè)儀器。依托高校雄厚的智力資源，結(jié)合多年來與國家藥典委員會(huì)、國家食品藥品監(jiān)督管理局（SFDA）、國家/省/市級(jí)藥品檢驗(yàn)所、各大醫(yī)藥教學(xué)/科研院所等建立起來的良好合作關(guān)系，公司不斷提高自身的科技創(chuàng)新能力和產(chǎn)品水平，現(xiàn)已發(fā)展為以電子信息、光機(jī)電、計(jì)算機(jī)技術(shù)一體化產(chǎn)品為主的現(xiàn)代化制造企業(yè)。 公司主營(yíng)藥品檢測(cè)儀器，包括藥物黏度測(cè)定儀、藥物錐入度測(cè)定儀、膏藥軟化點(diǎn)測(cè)定儀、藥物凝固點(diǎn)測(cè)定儀、藥物旋轉(zhuǎn)粘度計(jì)、溶出儀、崩解儀、片劑硬度儀、片劑脆碎度儀、透皮擴(kuò)散儀、融變儀等60多個(gè)系列，120余品種。主要產(chǎn)品覆蓋了全國所有省區(qū)，部分產(chǎn)品已進(jìn)入海外市場(chǎng)。我司通過創(chuàng)新和技術(shù)進(jìn)步，為制藥行業(yè)提供先進(jìn)的解決方案。公司不斷投入研發(fā)和技術(shù)創(chuàng)新，保持與行業(yè)前沿的聯(lián)系，并積極參與行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)的制定和更新。

YJ-0633A藥物黏度測(cè)定儀 本儀器YJ-0633A藥物黏度測(cè)定儀的制造符合中國藥典2020年版0633黏度測(cè)定法所規(guī)定的技術(shù)要求，可以通用品氏和烏氏粘度計(jì)。本儀器專為粘度測(cè)試設(shè)計(jì)，由水槽和控制器兩部分組成。粘度恒溫槽提供一個(gè)穩(wěn)定的溫場(chǎng)和測(cè)試平臺(tái)，此外儀器也可作為高精度浴槽，進(jìn)行其它試驗(yàn)。本儀器的最大特點(diǎn)是：全噴塑處理，經(jīng)久耐用；雙層缸結(jié)構(gòu)，高精度控溫儀，控溫準(zhǔn)確。 主要功能特點(diǎn) 1、采用智能液晶顯示溫控儀，控溫迅速，響應(yīng)快，超調(diào)小，控溫精度達(dá)±0.1℃。 2、采用硬質(zhì)玻璃缸及保溫外套缸（稱雙缸），保溫性能好，試樣觀察清晰。 3、采用臺(tái)式、一體機(jī)設(shè)計(jì)方式，儀器整體性好，使用方便。 4、帶有線控計(jì)時(shí)按鍵，用于實(shí)驗(yàn)時(shí)的計(jì)時(shí)顯示和控制。 5、采用電動(dòng)攪拌裝置，浴缸內(nèi)的溫度均勻。 6、制冷器與主機(jī)分離式設(shè)計(jì)，防止壓縮機(jī)工作振動(dòng)帶來的粘度計(jì)測(cè)試誤差。 二、主要技術(shù)參數(shù) 1、工作電源：   AC(220±10%)V，50Hz±5%。 2、加熱功率：   1600W。 3、攪拌電機(jī)：   功率6W；轉(zhuǎn)速 1200r/min。 4、測(cè)溫范圍：    10℃～180（選配制冷器后可實(shí)現(xiàn)制冷）5、控溫精度：   ±0.1℃。 6、恒溫?。?    容量，25L；形式，內(nèi)外兩層缸（雙缸）。 7、使用環(huán)境：   環(huán)境溫度-10℃～+35℃，相對(duì)濕度＜85％。 8、溫度傳感器： 工業(yè)鉑電阻，其分度號(hào)為Pt100。 9、整機(jī)功耗：   不大于1800W。 10、毛細(xì)管粘度計(jì)：  4支（平氏或者烏氏客戶可任選）11、外形尺寸：   530㎜×400㎜×670㎜ （長(zhǎng)×寬×高，含浴缸等）。

本發(fā)明公開了一種用于浸沒式光刻的浸液溫控系統(tǒng)，包括：用 于浸液流動(dòng)的浸液管路，待溫控的浸液通過一管路進(jìn)口進(jìn)入該浸液管 路，溫控處理后的具有穩(wěn)定溫度的浸液通過該浸液管路的出口輸出； 用于對(duì)所述浸液進(jìn)行冷卻的工藝?yán)鋮s液回路，工藝?yán)鋮s液在該回路中 循環(huán)流動(dòng)；以及多個(gè)熱交換器，其沿流向依次布置，所述浸液管路和 工藝?yán)鋮s水回路同時(shí)流經(jīng)每個(gè)熱交換器，并利用各熱交換器分別依次 完成工藝?yán)鋮s液和浸液之間的熱交換，從而通過多次換熱獲得具有穩(wěn) 定溫度的浸液，實(shí)現(xiàn)對(duì)浸液的溫度控制。本發(fā)明的裝置系統(tǒng)采用內(nèi)部 回流結(jié)構(gòu)與多級(jí)熱交換器相結(jié)合，實(shí)現(xiàn)對(duì)浸液溫度的多級(jí)控制，可以 實(shí)現(xiàn)浸沒光刻中對(duì)浸液穩(wěn)定的精確穩(wěn)定的控制，提供溫控效率。 

本發(fā)明公開了一種光刻掩模優(yōu)化設(shè)計(jì)方法，該方法首先依據(jù)表 征掩模的網(wǎng)格格點(diǎn)尺寸大小對(duì)掩模進(jìn)行分級(jí)，在粗網(wǎng)格上快速求解掩 模，然后對(duì)在粗網(wǎng)格上求解得到的掩模進(jìn)行插值傳播到下一級(jí)較細(xì)網(wǎng) 格上進(jìn)行細(xì)化校正，最終實(shí)現(xiàn)了掩模的快速優(yōu)化。