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基于MEMS傳感器和VLC定位融合的單卡爾曼濾波導航裝置和方法
本發(fā)明公開了一種基于MEMS傳感器和VLC定位融合的單卡爾曼濾波導航裝置和方法，包括MEMS傳感器、INS模塊、VLC定位模塊、PDR定位模塊和測姿定位單卡爾曼濾波器模塊；本發(fā)明基于INS慣導機械編排的誤差方程作為融合濾波器的系統(tǒng)方程，觀測方程包括VLC定位信息更新、PDR定位信息更新和磁力計觀測量更新。融合濾波器輸出VLC接收器的姿態(tài)給VLC定位模塊，輸出PDR設備的姿態(tài)給PDR定位模塊以校正姿態(tài)的影響。首次在VLC定位領域使用融合測姿準確估計VLC接收器的姿態(tài)信息，主要解決了VLC定位容易受設備姿態(tài)影響以及在光信號被遮擋情況下定位不連續(xù)的問題。
東南大學
2021-04-11
基于MEMS傳感器和VLC定位融合的雙卡爾曼濾波導航裝置和方法
本發(fā)明公開了一種基于MEMS傳感器和VLC定位融合的雙卡爾曼濾波導航裝置和方法，包括MEMS傳感器、INS模塊、PDR定位模塊、VLC定位模塊以及測姿定位雙卡爾曼濾波器；對于測姿濾波器，基于慣導機械編排的誤差方程作為系統(tǒng)方程，觀測方程包括加速度計觀測量更新和磁力計觀測量更新，輸出姿態(tài)信息給VLC定位模塊和PDR定位模塊以校正姿態(tài)的影響。對于定位濾波器，二維平面的位置信息作為系統(tǒng)狀態(tài)向量，基于行人航位推算的誤差方程作為系統(tǒng)方程，而VLC的定位結果為觀測方程。本發(fā)明的技術方案解決VLC定位容易受設備姿態(tài)影響以及在光信號被遮擋情況下定位不連續(xù)的問題，消除姿態(tài)對VLC定位的影響。
東南大學
2021-04-11
基于體積圖形學的MEMS工藝仿真系統(tǒng)
項目的背景及目的 本軟件是MEMS器件的設計人員的輔助工具，通過該軟件設計人員可以在實際生產(chǎn)之前提前預覽到所設計器件的三維幾何形狀，如果不符合要求可以進行重新設計或者對原來設計進行修改。這樣可以大大的降低設計的成本和時間，為MEMS設計人員提供較為感性的認識。 技術原理與工藝流程 基于體積圖形學的MEMS工藝仿真系統(tǒng)需要結合體積圖形學和專家系統(tǒng)以及物理模型，最終實現(xiàn)MEMS典型工藝的真實模
南開大學
2021-04-14
新型氣敏材料及MEMS氣敏器件的研究
復旦大學微電子學院教授盧紅亮團隊首次結合硬模板法、原子層沉積技術和水熱工藝，在低功耗MEMS器件上原位合成了單層有序SnO2納米碗支化ZnO納米線的多級異質復合納米材料，并以此作為氣體傳感器，對濃度低至1 ppm的硫化氫實
復旦大學
2021-01-12
最新的MEMS陀螺儀--HTG系列陀螺儀
產(chǎn)品詳細介紹 最新的MEMS陀螺儀--HTG系列陀螺儀 MEMS陀螺儀HTG系列簡介：最新的MEMS陀螺儀--HTG系列陀螺儀是用來測量角速率的固態(tài)傳感器, 采用MEMS芯片，制造采用BIMOS生產(chǎn)工藝和載流焊工藝技術。HTG系列MEMS陀螺儀具有高可靠性和高封裝堅固性;可用于慣性測量元件、高可靠性的汽車電子、導彈制導和控制、飛行器穩(wěn)定控制、天線穩(wěn)定、攝像、數(shù)碼攝影、機器人等系統(tǒng)。 MEMS陀螺儀HTG系列性能參數(shù)：
陜西航天長城科技有限公司
2021-08-23
一種基于 MEMS 的智能服裝及其制作方法
本發(fā)明公開了一種基于 MEMS 的智能服裝及其制備方法，可用于采集心電、心音等人體生理參數(shù)，該智能服裝的功能是通過將柔性傳感器陣列薄膜與紡織品整合的方式來實現(xiàn)的：首先，在晶圓上采用MEMS 技術分別制作出聲/電換能器及其電氣互聯(lián)結構。其次，在晶圓的反面刻蝕出硅島圖形，使得每個傳感器之間相互孤立。再次，在晶圓的正反面旋涂上聚合物，并對其進行光刻圖形化出傳感器窗口以及縫紉孔，即得到柔性傳感器陣列薄膜。聚合物起到對傳感器的保護作用，縫紉孔可用于讓導電纖維將傳感器傳感器陣列薄膜與紡織品縫合于一體，即得到有特
華中科技大學
2021-04-14
一種 MEMS 陀螺儀芯片雙面陽極鍵合工藝
本發(fā)明提出這樣一種陽極鍵合工藝方法：將 MEMS 陀螺儀器件層沉積到臨時高分子襯底上，完成金屬電極沉積和 MEMS 結構刻蝕之后，將臨時高分子襯底用化學機械拋光的方法去除。去除之后，將玻璃基體和玻璃蓋帽分別緊貼 MEMS 結構的兩側，加電加熱后一次完成雙面陽極鍵合。這種工藝方法與傳統(tǒng)的兩次陽極鍵合分兩步進行相比，更加節(jié)省成本，而且避免了第二次陽極鍵合對第一次陽極鍵合強度削弱這個固有缺點，使得產(chǎn)品可靠性提高。
華中科技大學
2021-04-14
一種基于位移差分的 MEMS 重力梯度儀
本發(fā)明公開了一種基于位移差分的 MEMS 重力梯度儀。包括第一振子單元和第二振子單元；前者包括第一外圍框架和與第一外圍框架通過第一組梁連接的第一檢驗質量，后者包括第二外圍框架和與第二外圍框架通過第二組梁連接的第二檢驗質量，第一組梁和第一檢驗質量構成第一機械振子，第二組梁和第二檢驗質量構成第二機械振子，第一振子單元和第二振子單元相向正對設置，第一機械振子和第二機械振子的敏感軸位于同一直線上，第一檢驗質量上的電容陣列與第二檢驗質量上的電容陣列構成位移檢測電容，通過位移檢測電容測得檢驗質量的位移差進而得到
華中科技大學
2021-04-14
系列化主被式上下肢關節(jié)運動康復器
針對腦卒中與關節(jié)損傷高發(fā)趨勢，本產(chǎn)品基于康復醫(yī)學理論研發(fā)多關節(jié)智能康復產(chǎn)品，覆蓋肘、膝、踝、腕等上下肢關鍵關節(jié)，通過對關節(jié)的反復訓練，增強關節(jié)本體感覺，打開活動度，推動神經(jīng)系統(tǒng)重組代償，助力關節(jié)功能恢復。
本產(chǎn)品實現(xiàn)多項突破，運用高精度傳感器，精準捕捉關節(jié)運動微小變化，實現(xiàn)人機互動與實時康復數(shù)據(jù)反饋；結合自適應算法實現(xiàn)動態(tài)重力補償，精準調控角度/速度/力矩三維參數(shù)，通過循跡坐標點樣線擬合生理運動軌跡；創(chuàng)新集成多訓練模式切換系統(tǒng)，滿足全康復周期需求；產(chǎn)品兼具硬/軟件雙重安全防護，提高產(chǎn)品安全性。
腕關節(jié)康復器
前臂康復器
肘關節(jié)康復器
膝關節(jié)康復器
踝關節(jié)康復器
吉林大學
2025-05-19
一種基于 MEMS 系統(tǒng)的高靈敏度高分辨率的 微型溫度傳感器及監(jiān)測方法
本發(fā)明涉及一種基于 MEMS 系統(tǒng)的高靈敏度高分辨率的微型溫度傳感器及監(jiān)測方法，包括兩組 V 型彎曲梁組件，其中每組 V 型彎曲梁組件包括若干上下疊放的 V 型梁，所述每組 V 型彎曲梁組件的所 有 V 型梁同中心，且同時固定在一個固定塊上；兩組 V 型彎曲梁組件通過連接桿與固定在一個杠桿的 一端，所述杠桿另一端設有壓電陶瓷，壓電陶瓷的上下斷面分別是接電的上電極和下電極。本發(fā)明可以 感應極其微小的溫度變化并且將之轉換為較大的電信號輸出，能夠顯著
武漢大學
2021-04-14