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MEMS壓力傳感器
成果簡介： 自然頻率 55kHz-79 kHz 量程 Normal：9kPa-120kPa Extended：5kPa-160kPa 靈敏度 50-80Hz/kPa 一個大氣壓下（101.3kPa）的諧振頻率 63 kHz-75 kHz 受溫度的影響 15V±1.5V 驅動電壓 50-80Hz/kPa
電子科技大學
2017-10-23
非硅MEMS 技術及其應用
1988年國際上提出的MEMS(MicroElectroMechanical System)技術是將IC工藝和機電設計相結合制造微傳感器、微執行器和微系統的新技術，也稱硅MEMS。作為對硅MEMS的補充和發展，非硅材料種類繁多、性能各異，能滿足不同應用領域的需求，我們在國家863 計劃等項目支持下于九十年代初首先提出并創立了非硅MEMS技術。 提出非硅MEMS新概念和總體思路；開發了以金屬基為主的多種材料兼容的非硅表面微加工、高深寬比三維微加工等成套非硅微加工技術，為非硅MEMS發展奠定了良好基礎；把經典原理和非硅微加工結合，開發了一系列壓電、靜電、磁電、微流體、慣性等種類的微器件和微系統，形成若干具有完全知識產權的專利群；并將非硅MEMS應用于生物芯片、微引信、信息、光器件、復合膜模具、國防武器、非硅MEMS生產線等眾多領域，取得了顯著的經濟、社會效益，推動和引領了我國非硅MEMS技術的應用和發展。 非硅MEMS技術及其應用獲得國家技術發明二等獎2項（2008，2000），省部一等獎4項，獲2009年中國工業博覽會創新獎；授權發明專利200多項；出版MEMS專著6部。
上海交通大學
2021-04-13
虛擬顯示頭盔顯示器技
所設計的頭盔顯示器目鏡畸變系數低于5%，色差小，視場角達到120度，放大率合適。配合光路結構達到非常理想的成像效果。結構采用2k分辨率的高z清顯示屏。 所設計的相關控制電路模塊精確簡單，并且對頭盔姿態響應敏感、準確。高清顯示屏顯示內容準確，刷新速率滿足要求。整個驅動電路在響應速度上延遲不超過20ms，人眼難以察覺。
上海理工大學
2021-04-13
光學防抖MEMS驅動器
本發明公開了一種光學防抖MEMS驅動器.現有的光學防抖驅動器,最多僅具有五軸.本發明包括平面三軸驅動器和垂直三軸驅動器.所述的平面三軸驅動器包括第一框架,驅動臂和中間固定板.垂直三軸驅動器包括運動件和驅動件.運動件包括第二框架,第二懸臂,偏轉盤,彈簧條,中心盤和第三接觸點.多根第二懸臂的一端均與偏轉盤連接,另一端均與第二框架連接.驅動件包括底盤和扇環狀電極片組.扇環狀電極片組包括n片扇環狀電極片.n片扇環狀電極片均固定在底板上.扇環狀電極片組與偏轉盤對齊.本發明可實現使圖像傳感器在平面三軸及豎直三軸上運動,解決由于相機抖動帶來的圖像模糊問題.
杭州電子科技大學
2021-05-06
北京技睿新天科技有限公司
北京技睿新天科技有限公司是一家致力于三維掃描系統研發、三維掃描儀生產與銷售，并提供三維掃描、產品設計、逆向造型培訓等專業服務的高新技術企業。
我公司具有雄厚的產品開發與技術創新能力，匯聚了一批擁有高學歷、豐富工程經驗的精英組成研發團隊。公司配備有專門的產品研發中心及項目工程部門，吸納國內最優秀的IT及機械行業專業人士，其人員組成以碩士博士為主，均來自全國各大名牌高校及科研院所，不但具有雄厚的新技術研發能力，亦具有科學合理的配套項目服務能力。公司在研發方面與中科院自動化研究所形成了合作機制，在新技術的運用及推廣上有良好的互動和協作。自公司成立至今，已將公司主要產品——技睿新天JR系列三維掃描系統軟件更新換代三次，相繼推出了JR系列三維掃描儀、JR人體掃描儀、普睿PRECAM攝影測量系統以及便攜接觸式測量系統（光筆系統），形成了成熟的產品體系，并全面提升了產品的性能及競爭力，產品所用技術在國內首屈一指，在國際亦名列前茅。
北京技睿新天科技有限公司
2021-01-15
新型諧振MEMS微慣性傳感器
研發生產的半球諧振微陀螺、圓盤多環微陀螺等10多款高性能、小尺寸、高可靠性MEMS微慣性傳感器，達到慣性級，在微小衛星、微航天器等場合極具應用潛力。與傳統的微陀螺相比，該陀螺無運動部件，抗沖擊性更好；同時該陀螺可以采用角速度檢測和角速度積分檢測兩種工作模式，極大的提升了其應用場合與范圍。
上海交通大學
2021-04-10
一種 MEMS 器件的封裝方法
本發明公開了一種 MEMS 器件的封裝方法，包括 S1 在框架基 板與封蓋的內表面上對稱附著圖形化的過渡金屬化層和釬料層；S2 在 框架基板的釬料層上附著圖形化的自蔓延多層膜；S3 將芯片鍵合固定 在框架基板上并實現信號互連；S4 將固定有芯片的框架基板與封蓋進 行除氣除濕處理后對準堆疊形成封裝結構；S5 對封裝結構施加壓力、 預熱后引燃自蔓延多層膜，自蔓延多層膜燃燒并熔化釬料層實現冶金 互連。本發明將封蓋直接與框架
華中科技大學
2021-04-14
新型諧振MEMS微慣性傳感器
針對我國在軍事、工業等領域對高性能、小尺寸、高可靠性MEMS微慣性傳感器日益迫切的需求，上海交通大學自2001年起就開展基于MEMS技術的微慣性傳感器的研究，已成功研制十余款傳感器樣機，在研的半球諧振微陀螺、圓盤多環微陀螺等預期體積小于1cm3，成本低于50美元，功耗低于100mW，有望達到慣性級，在微小衛星、微航天器等場合極具應用潛力。與傳統的微陀螺相比，該陀螺無運動部件，抗沖擊性更好；同時該陀螺可以采用角速度檢測和角速度積分檢測兩種工作模式，極大的提升了其應用場合與范圍，特別適合在高G環境下進行空間位置測量、導航與姿態控制等。此外，其在消費電子市場以及汽車市場也擁有這巨大的應用空間，如手機、游戲機等手持電子設備的姿態控制系統，照相機、攝像機的穩定電子平臺，汽車的防翻車預警系統等。。相關研究內容作為重要組成部分曾獲省部級及以上獎勵多次，授權發明專利幾十余項，微陀螺方面的專利國內第一，國際第二，發表SCI/EI等論文幾十篇。
上海交通大學
2021-04-13
深圳市技湛科技有限公司
深圳技湛科技有限公司成立于2013年8月，是一家擁有音視頻核心研發能力的高科技創新型企業，公司核心創始人研發團隊專注音頻核心算法研究超過十年，具備豐富的音視頻研發經驗和精湛的技術實力。目前深圳技湛已推出擁有核心競爭力自主品牌的音頻處理器操作系統，并通過深圳市高新技術和軟件企業認證，成為音頻領域技術研發能力頂尖的高科技公司。
深圳技湛專注于研發、生產、銷售具備自主知識產權“GEAZAN”品牌的數字音頻處理器、模擬和數字麥克風、本地遠講數字擴聲系統等整套前端音頻解決方案產品。另外，深圳技湛同時為幾十家音視頻品牌廠商提供ODM技術支撐和OEM產品，為合作伙伴提供定制化的音頻配套產品。
深圳技湛自公司成立至今，憑借積極奮進，不斷進取的專注精神，秉承“聆聽、精進”的企業文化，公司產品和技術服務得到業內諸多知名品牌企業客戶的贊譽和認可。深圳技湛已成為數字音頻領域自主創新品牌的新軍。
深圳市技湛科技有限公司
2021-01-15
上海齊玖科技有限公司
上海齊玖科技有限公司
2023-05-08