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新型諧振MEMS微慣性傳感器

2021-04-10 00:00:00
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關(guān)鍵詞： 微慣性傳感器
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項(xiàng)目成果/簡介:
研發(fā)生產(chǎn)的半球諧振微陀螺、圓盤多環(huán)微陀螺等10多款高性能、小尺寸、高可靠性MEMS微慣性傳感器，達(dá)到慣性級，在微小衛(wèi)星、微航天器等場合極具應(yīng)用潛力。與傳統(tǒng)的微陀螺相比，該陀螺無運(yùn)動部件，抗沖擊性更好；同時該陀螺可以采用角速度檢測和角速度積分檢測兩種工作模式，極大的提升了其應(yīng)用場合與范圍。
項(xiàng)目階段:
產(chǎn)業(yè)化應(yīng)用
效益分析:
半球諧振微陀螺、圓盤多環(huán)微陀螺等體積小于1cm3，成本低于50美元，功耗低于100mW，慣性級
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