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研發生產的半球諧振微陀螺、圓盤多環微陀螺等10多款高性能、小尺寸、高可靠性MEMS微慣性傳感器，達到慣性級，在微小衛星、微航天器等場合極具應用潛力。與傳統的微陀螺相比，該陀螺無運動部件，抗沖擊性更好；同時該陀螺可以采用角速度檢測和角速度積分檢測兩種工作模式，極大的提升了其應用場合與范圍。

針對我國在軍事、工業等領域對高性能、小尺寸、高可靠性MEMS微慣性傳感器日益迫切的需求，上海交通大學自2001年起就開展基于MEMS技術的微慣性傳感器的研究，已成功研制十余款傳感器樣機，在研的半球諧振微陀螺、圓盤多環微陀螺等預期體積小于1cm3，成本低于50美元，功耗低于100mW，有望達到慣性級，在微小衛星、微航天器等場合極具應用潛力。與傳統的微陀螺相比，該陀螺無運動部件，抗沖擊性更好；同時該陀螺可以采用角速度檢測和角速度積分檢測兩種工作模式，極大的提升了其應用場合與范圍，特別適合在高G環境下進行空間位置測量、導航與姿態控制等。此外，其在消費電子市場以及汽車市場也擁有這巨大的應用空間，如手機、游戲機等手持電子設備的姿態控制系統，照相機、攝像機的穩定電子平臺，汽車的防翻車預警系統等。。相關研究內容作為重要組成部分曾獲省部級及以上獎勵多次，授權發明專利幾十余項，微陀螺方面的專利國內第一，國際第二，發表SCI/EI等論文幾十篇。

已有樣品/n該研究得到科技部“863計劃”資助（編號：2005AA404220），旨在研制與無損血糖監測耦聯的閉環式人工胰島微系統，將檢測和治療系統集成。減小系統體積、減輕重量，提高可靠性，方便使用；集成血糖儀、微泵、硅針、微流通道與控制系統于一體，實現無痛化注射。成果的先進性或獨特性：該研究研制與無損血糖監測耦聯的閉環式人工胰島微系統，將檢測和治療系統集成。減小系統體積、減輕重量，提高可靠性，方便使用；集成血糖儀、微泵、硅針、微流通道與控制系統于一體，實現無痛化注射。目

產品詳細介紹                        BJ-MRVS真空封管設備，高純原料密封，石英玻璃密封管目前我們國家對材料測試越來越重視，很多單位及科研院校對產品甄別出現很大問題，但是真正測試材料需要選擇一款精準可靠的測試產品，這樣對自己的測試成果及研究會帶來很大的作用,對我們的生產帶來極大的指導性作用。鄭重申明： 最近網上有單位冒充我們的產品，他們采用盜圖，或是盜取技術參數，我們的產品沒有授權給任何一家單位，確認產品可以直接撥打電話：15810615463 010-60414386  。 ★為了保護購買者的利益：我們支持貨到驗收后付款。          三工位密封管           單工位密封管          真空封管設備專用氫氧機關鍵詞： 來料封管,真空封管,真空密封,多工位真空密封,旋轉密封,高純原料密封,石英玻璃真空密封,試管密封,真空封管設備一、產品簡介：     BJ-MRVS真空封管設備真空密封系統，主要用于對玻璃管進行真空密封。管預抽真空后，在試管旋轉過程中，管壁材料經高溫熔融并在外部大氣壓的作用下和管內石英柱體壓接融合在一起而形成真空密封。     系統可密封的試管材料可以是普通的硼硅酸鹽玻璃也可以是石英玻璃，本產品可通過變換不同的卡套連接外徑為Φ45，Φ20，Φ15，Φ13mm的試管，另外可以定制適應其他外徑試管的卡套。試管在真空密封過程中的旋轉速度可以在一定的范圍內進行調節，方便配合不同管徑的玻璃管和焊槍的使用。二、應用領域：1.實驗室的日常高純原料的真空密封2.工廠批量進行試管的密封3.石英玻璃試管真空密封4.硼酸鹽玻璃真空密封三、技術規格：工 位 數： 1個，3個，定制真空漏率：  2x10-11 Pa·m3/S旋轉速度：  0~30轉/分鐘試管外徑：  Φ 45,Φ 20,Φ 15,Φ 13mm或其他真空接口：  KF25；泄氣閥：KF16手動溫度范圍：  -20 ~ 200 ℃充氣口尺寸：3mm、6mm、8mm、1/8in、1/4in、可選可密封試管長度：標配170mm或其他可密封試管壁厚：可達2mm(根據焊槍火焰大小而定)四 、功能特點：國內首創，專業高效；試管密封速度快、操作方便；適應不同管徑試管的真空密封；采用獨特旋轉密封法蘭，可以調節試管的密封速度；無需手動轉動試管或焊槍便可實現試管密封；采用進口氦質譜檢漏儀檢漏，確保低的漏氣率；產品采用高真空標準設計加工；產品裝有充保護氣接口及放氣閥；可定制玻璃試管夾持裝置適應不同外徑石英管；可根據用戶要求搭配不同的真空泵和真空測量；可以提供成套使用的氫氧機及配件；系統可以和手套箱配合使用(增加隔離閥選件)部分服務用戶浙江大學     華中科技大學 武漢理工大學 燕山大學     哈工大       西安工業大學北京石油化工學院中南大學河南理工大學 

該項目應用先進的MEMS技術，研制完成了耐高溫壓力傳感器設計、制造關鍵技術及系列產品開發。解決了一直困擾航空航天、石油化工、軍工、能源電力等領域因高溫、高頻響、高過載、微型化、瞬時高溫沖擊等惡劣環境下的壓力、力、加速度測量難題。該成果獲得2006年度國家技術發明二等獎、2005年度教育部技術發明一等獎、2004年度陜西省科技進步一等獎和2004年度西安市科技進步一等獎四項獎勵。相關技術已獲得國家授權發明專利20余項。

項目主要針對瑞雷波物探方法使用的動圈式檢波器的缺點，開展全數字MEMS檢波器研制，以此提高公路路基物探精度。主要研究內容如下：（1）全數字MEMS檢波器電路系統及硬件裝置的研制；（2）針對所研制的檢波器檢測軟件系統研制；（3）針對所研制的檢波器對瑞雷波信號的振動模型研究；

基于石墨烯的 MEMS 壓力傳感器，屬于微機電系統（MEMS）的壓力檢測器件，解決現有 MEMS 壓力傳感器尺寸較大，靈敏度有限的問題。本實用新型包括基底、絕緣層，所述基底表面氧化形成絕緣層，絕緣層內刻蝕出空腔，絕緣層上表面覆蓋石墨烯薄膜，將所述空腔封閉，石墨烯薄膜為 1~5 層；所述石墨烯薄膜邊緣沉積兩個金屬電極，兩個金屬電極上分別焊接有導線。本實用新型采用石墨烯薄膜構成 MEMS 壓阻式壓力傳感器，制備方法簡單，可靠性好，壓力傳感器體積更小，從微米尺度變為納米尺度，靈敏度更高，在 1~5 層內增

項目的背景及目的 本軟件是MEMS器件的設計人員的輔助工具，通過該軟件設計人員可以在實際生產之前提前預覽到所設計器件的三維幾何形狀，如果不符合要求可以進行重新設計或者對原來設計進行修改。這樣可以大大的降低設計的成本和時間，為MEMS設計人員提供較為感性的認識。 技術原理與工藝流程 基于體積圖形學的MEMS工藝仿真系統需要結合體積圖形學和專家系統以及物理模型，最終實現MEMS典型工藝的真實模

磁流變液是一種機敏材料，在外加磁場的作用下，液體的粘度發生很大的變化，具有很大的抗剪切力，易于控制并且連續可控。運用磁流液可以制作磁流變剎車、離合器、減振器和阻尼器等高科技磁液變元器件，它們可以用于車輛懸掛系統，土木工程結構抗震、減振及大型能量動力設備的基礎隔振等方面。此外磁流變阻尼器還可用于制成無級可調式健身器材。我們針對磁流變減振器具有很大的阻尼力，且

已有樣品/n全金屬化源漏FOI FinFET 相比類似工藝的常規FinFET 漏電降低1 個數量級，驅動電流增大2 倍，驅動性能在低電源電壓下達到國際先進水平。由于替代了傳統的源漏SiGe 外延技術，與極小pitch 的大規模FinFET 器件的兼容性更好，有助于降低制造成本，提高良品率，具有很高的技術價值。