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一種石墨相氮化碳薄膜修飾電極的制備方法
本發(fā)明公開了一種石墨相氮化碳薄膜修飾電極的制備方法。在 保護氣氛下，首先 450℃～550℃加熱氮化碳原料 1min～6h，使得氮化 碳原料氣化后附著于耐熱載體表面，并形成氮化碳前驅體；然后 500℃～550℃加熱附著有氮化碳前驅體的耐熱載體 1min～6h，使得氮 化碳前驅體氣化并在導電基底表面形成厚度為 10nm～150nm 的石墨 相氮化碳薄膜，獲得所述修飾電極。本發(fā)明通過利用氣相沉積的方法 在導電基底表面修飾
華中科技大學
2021-04-14
液相剝離大尺寸 2D 材料及透明導電薄膜
1.亞毫米尺寸單層導電納米材料，實現(xiàn)高產量產率原 子級薄樣品的宏量制備。
2. 成膜平整，粗糙度在 10 納米以內，平整度遠好于 ITO 和銀納米線薄膜。
3. 膜具高透光率和柔性，其導電性優(yōu)于 ITO 。
中國科學技術大學
2021-04-14
一種可調薄膜體聲波諧振器及其制備方法
本發(fā)明公開了一種可調薄膜體聲波諧振器及其制備方法，該制 備方法包括步驟 S1：在潔凈的 Si 襯底上制備阻擋層；S2：在阻擋層上 制備布拉格反射柵，布拉格反射柵由不同聲波阻抗薄膜構成；S3：在 布拉格反射柵上依次制備粘附層和底電極；S4：在底電極上制備多層 異質結構，并作為體聲波諧振器的壓電層；多層異質結構由 BST 薄膜、 BZT 薄膜或 BZN 薄膜構成；S5：將多層異質結構進行退火處理后形成 晶化薄膜；S6：在
華中科技大學
2021-04-14
一種多層薄膜微結構自對準制備方法及裝置
本發(fā)明公開一種多層薄膜微結構自對準制備方法，通過分隔板將噴頭內腔體縱向分為至少兩個腔室，在各腔室內注入不相溶的高分子溶液，并匯聚于噴頭的噴嘴處；施加高壓靜電場，同時驅使接收板做平面直線運動，在高壓靜電場作用下噴嘴處的溶液變形成泰勒錐，從泰勒錐尖端拉出射流，射流中的多種高分子材料先后沿著接收板運動的方向進行靜電紡絲，形成多層薄膜微結構。本發(fā)明還公開一種實現(xiàn)上述方法的裝置，分隔板縱向設于噴嘴內，將噴嘴內腔體分隔為至少左右兩個腔室；在噴嘴端部設有端部蓋板，端部蓋板與噴嘴端部之間設有密封片；噴嘴的側面開有溶
華中科技大學
2021-04-14
一種基于激光加熱固膜的駐極體薄膜制備方法
本發(fā)明公開了一種基于激光加熱固膜的駐極體薄膜制備方法， 包括：將導電基材層固定于旋涂、噴涂或者刮涂設備上，并配置適當 的駐極體納米顆粒懸浮液；通過調整旋涂速度、噴涂速度或者刮涂厚 度參數(shù)使得駐極體懸浮液均勻覆蓋，然后對駐極體懸浮液的溶劑執(zhí)行 蒸發(fā)處理，由此在導電基材層上形成具備一定厚度的駐極體材料層； 采用激光加熱設備將激光照射到駐極體材料層表面上，由此利用激光 照射產生的熱量使得駐極體納米顆粒融化并相互連接，由此制
華中科技大學
2021-04-14
一種鈣鈦礦薄膜光伏電池及其制備方法
本發(fā)明涉及一種鈣鈦礦薄膜光伏電池及其制備方法。所述的鈣鈦礦薄膜光伏電池是由導電透明襯底、 鈣鈦礦吸光層、空穴傳輸層和金屬電極組成的。本發(fā)明的優(yōu)點是：該鈣鈦礦薄膜光伏電池器件結構極其 簡單，省去了傳統(tǒng)的需要高溫燒結的電子傳輸層，也不需要多孔層，鈣鈦礦材料本身既做吸光層也起電 子傳輸作用，所以不需要電子傳輸層。這里的鈣鈦礦材料對光具有非常強的吸收，整個電池也是低溫制 備，不需要高溫燒結等復雜過程，這有效地降低了電池的制作成本。對電池的柔性化和大面積
武漢大學
2021-04-14
用于預測多元拼合靶材制備的薄膜成分的預測方法
一種用于預測多元拼合靶材制備的薄膜成分的預測方法
一、項目分類
顯著效益成果轉化
二、成果簡介
現(xiàn)有物理氣相沉積（PVD）制備多元薄膜材料采用合金靶材作為靶源，生產過程中，薄膜成分的調控范圍受安裝的合金靶材的成分比例的限制。如果預期獲得納微復雜結構的復合薄膜，按照常規(guī)技術路線需要上百塊成分連續(xù)變化的合金靶材，這顯然是無法實現(xiàn)的。同時，采用合金靶材制備某些多元薄膜時，需要特高純度的或極端成分比例的靶材作為靶源，這類特殊靶材以現(xiàn)有技術難以制造。
為此，本發(fā)明研發(fā)出一種用于預測多元拼合靶材制備的薄膜成分的預測方法，利用本發(fā)明技術有助于新材料的研發(fā)和促進半導體器件、切削刀具涂層等高新技術的發(fā)展。
武漢理工大學
2022-08-12
一種防腐耐磨鐵基非晶薄膜及其制備方法
本發(fā)明公開了一種防腐耐磨鐵基非晶薄膜及其制備方法，其包 括的成分及該成分的原子百分比含量分別為：14.0～22.0at.％Cr，6.0～ 16.0at.％Mo，4.0～7.0at.％B，4.0～20.0at.％C，0.0～3.0at.％W 以及余 量的 Fe。其制備方法包含 S1 制備單一合金靶材；S2 選擇襯底材料， 將襯底表面進行平整化，然后清洗并吹干待用；S3 進行磁控濺射，其 中，背景真空度值不高于 5x10<sup
華中科技大學
2021-04-14
一種多層薄膜微結構自對準制備方法及裝置
本發(fā)明公開一種多層薄膜微結構自對準制備方法，通過分隔板 將噴頭內腔體縱向分為至少兩個腔室，在各腔室內注入不相溶的高分 子溶液，并匯聚于噴頭的噴嘴處；施加高壓靜電場，同時驅使接收板 做平面直線運動，在高壓靜電場作用下噴嘴處的溶液變形成泰勒錐， 從泰勒錐尖端拉出射流，射流中的多種高分子材料先后沿著接收板運 動的方向進行靜電紡絲，形成多層薄膜微結構。本發(fā)明還公開一種實 現(xiàn)上述方法的裝置，分隔板縱向設于噴嘴內，將噴嘴內腔體分隔為至 少左右兩個腔室；在噴嘴端部設有端部蓋板，端部蓋板與噴嘴端部之 間設有密封片；
華中科技大學
2021-04-14
一種有機-無機復合電致變色薄膜及其制備方法
本發(fā)明公開了一種有機-無機復合電致變色薄膜及其制備方法。該薄膜為聚苯胺與三氧化鎢的復合薄膜，其中含有5～80％質量分數(shù)的三氧化鎢，薄膜厚度為50～300nm，表面具有納米棒陣列形貌。該制備方法包括：將表面經羥基化處理的ITO玻璃或者ITO/PET基底垂直豎立并固定于反應容器中，將過氧化鎢酸溶液與苯胺溶液的混合溶液倒入其中并攪拌；再加入過硫酸銨溶液，攪拌下進行反應；反應完成后，取出沉積有薄膜的基底并沖洗、干燥而得。本發(fā)明制備方法實現(xiàn)了聚苯胺/氧化物在分子層次復合，工藝簡單，成分可方便控制，成本較低，易于實現(xiàn)工業(yè)化。制得的薄膜光譜調節(jié)范圍大、顏色豐富、響應速度快、循環(huán)壽命長，應用范圍廣泛。
浙江大學
2021-04-13