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本發明公開了一種電場輔助的硅通孔刻蝕工藝，包括步驟：（1）在單晶硅片上旋涂光刻膠并通過光學光刻或電子束光刻得到光刻膠圖形 ；（ 2 ） 鍍 上 銀 膜 或 金 膜 ；（ 3 ） 在 電 場 之 中 ， 采 用 HF 、H₂O₂和去離子水的混合溶液作為刻蝕劑進行金屬催化刻蝕；（4）去除光刻膠；（5）去除單晶硅片上殘留的金屬膜并進行清洗處理。本發明通過在刻蝕過程中控制電場強度，由此形成從數十納米至數

項目研究背景及用途 ：有機硅改性雙馬來酰亞胺樹脂是一類高性能聚 合物材料，其熱穩定性能和力學性能都比環氧樹脂優越，因此含硅雙馬來 酰亞胺樹脂作為金屬替代物廣泛地用作制造壓縮機葉片、大型計算機部 件、印刷電路基板等，是目前最受青睞的高性能聚合物材料之一。 工藝流程 ：用催化方法先合成中間體 N-（4-羥基本基）馬來酰亞胺， 再合成含硅雙馬來酰亞胺齊聚物， 采用四種有機硅合成了四種含硅雙馬來

利用氯甲基二氯甲硅烷在低溫下與溴氟苯、金屬鎂反應，制得雙（4-氟苯基）甲基氯代甲基硅烷，再在極性溶劑中與1,24-三唑鈉反應，制得氟硅唑。 一、項目分類 關鍵核心技術突破 二、成果簡介 此產品可用于內吸性殺菌，抑制甾醇脫甲基化，用于防治子囊菌綱，擔子菌綱和半知菌類真菌（如蘋果黑星菌、白粉病菌、禾谷類的麥類核腔菌、殼針孢屬菌、鉤絲殼菌等，球座菌及甜菜上的各種病原菌，花生葉斑病）。三唑類殺菌劑破壞和阻止麥角甾醇的生物合成，導致細胞膜不能形成，使病菌死亡，對子囊菌、擔子菌和半知菌所致病害有效，對卵菌無效，對梨黑星病有特效 項目特色： 利用氯甲基二氯甲硅烷在低溫下與溴氟苯、金屬鎂反應，制得雙（4-氟苯基）甲基氯代甲基硅烷，再在極性溶劑中與1,24-三唑鈉反應，制得氟硅唑。采用自主創新的催化劑使反應可以采用較高沸點溶劑，不增加成本同時提高反應效率，省略了原有工藝的萃取水洗過程，直接得到理想的第一步中間體，生產過程中原有工藝的每噸5噸廢水變為沒有廢水，成為清潔生產工藝。第一步收效達到90%以上。 原有工藝中粗產物需要高真空、高溫、高塔板數的減壓精餾得到含量在95%以上最終產品，改進工藝后由于合成效率大幅度提高，粗產品略作簡單溶劑處理就達到95%以上的白色粉狀固體。

圖像傳感器，是一種常用的光電探測器件，它能將光子信號轉換成電子信號，被廣泛地應用在高性能光譜儀、數碼相機以及其他的電子光學設備中。普通的CCD、CMOS硅基探測器能獲得高量子效率的光譜響應范圍在400~900nm波段，在紫外波段，由于多晶硅柵的吸收系數很大，這就意味著紫外光子在極端淺（小于2nm）的表層被吸收，導致其在波長小于400nm的紫外波段量子效率（QE）極低。紫外量子效率低的缺陷限制了前照式硅基探測器在航空業、工業以及制造業等領域中的應用。因此，研制寬波段硅基探測器件使其響應范圍延伸到紫外和深紫外波段是國內外紫外探測領域的迫切需要。

成果與項目的背景及主要用途： 吸波材料即雷達吸波材料（RAM），是指能夠吸收衰減入射的電磁波，并 將其電磁能轉換成熱能而消耗掉或使電磁波因干涉而消失的一類材料。目前，隨 著電磁波污染的日益嚴重，吸波材料在民用領域具有極大的發展潛力。許多研究 已證明，持續、高強度的電磁波照射會誘發細胞變異、誘發腫瘤、癌癥等疾病， 電磁波污染已成為世界各國本世紀重點治理的環境污染之一。不讓電子設備發射 電磁波是不可能的，所以消除電磁波污染最有效的辦法就是使用吸波材料。這項 屬于電磁干擾（EMI）范疇的研究已在世界各國得到廣泛重視和應用。 技術原理與工藝流程簡介： 107天津大學科技成果選編 本項目研究制備含有不同含量及分布的碳纖維(氈)樹脂基復合吸波材料，主 要研究碳纖維(氈)排布方式、含量對于材料吸波性能的影響，通過調整參數，實 現材料對電磁波的寬頻吸收、高效吸收、選擇吸收的目的；其次，通過對纖維(氈) 表面改性、添加電磁損耗劑、改變基體種類等制備具有剛性和柔性基體吸波材料， 同時對吸波機理進行研究，以求開發一種低成本、寬頻、高效、輕質的吸波材料。 試樣的制備采用復合材料成型工藝壓縮模塑。將環氧樹脂與低分子量聚酰胺 按質量比 2：1 攪拌均勻（E-44 型環氧樹脂：低分子量聚酰胺樹脂=100：50～100： 100 質量比），在真空干燥箱中脫泡，然后澆注到事先預熱的半溢式模具中，模 具中預置碳纖維或碳氈。在透波層表面加一層 S-玻璃布，目的是達到與自由空 間的阻抗匹配，在模具底部也加一層玻璃布，目的是抵消由透波層玻璃布引起的 應力，使試樣不致彎曲而造成測量誤差。然后將澆注好的模具在 60℃，10MPa 的壓力下固化 2 個小時，得到所需的 180mm×180mm，厚度為 4mm 的正方標準 試樣。 技術水平及專利與獲獎情況： 本研究通過兩年多的大量實驗，獲得具有良好吸波性能和商用價值的環境功 能材料。可用于消除環境空間中的有害電磁波。本課題組制備了材料樣品，完成 了 4 個專題的研究報告，發表論文 12 篇，申請專利兩項。本研究已達到國際先 進水平。 應用前景分析及效益預測： 隨著電信業的飛速發展，吸波材料的應用已深入到通訊抗干擾、環保及人體 防護等諸多領域。 成本估算： 環氧樹脂/碳纖維復合吸波材料 E-44 環氧樹脂：15.4 元/公斤，低分子量聚酰胺樹脂：24 元/公斤。 碳纖維：300 元/公斤 每塊試樣用碳纖維：0.36 克 其他費用：電費，模具費，人工費 每塊試樣成本：約 4 元（180×180mm） 折合成本：約 120 元/平方米 108天津大學科技成果選編 109 應用領域：電磁波污染的防護，構筑微波暗室。 2、 連續碳納米管纖維 成果與項目的背景及主要用途： 碳納米管被譽為超級纖維，是 21 世紀的基礎材料，具有優異的物理化學性 質，其密度只有鋼的六分之一，強度超過鋼 100 倍，具有高導電導熱性，導熱性 是銅的 5-8 倍，在高性能復合材料，能源電極，電場發射等多方面有重要的應用 前景，世界各國和大公司都爭先投入搶占碳納米管市場，近年來產業發展迅猛。 連續碳納米管纖維是無數碳納米管構成的長紗線，輕于碳纖維，有高柔性， 具有碳納米管所有結構和功能特性，可編織和成型，較碳納米管更接近應用，在 制備高性能復合材料方面，極具潛力，可用于宇航、汽車用高性能復合材料、風 力發電葉片、導電導熱材料、電力傳輸電纜、高強編織物，智能紡織和柔性光電 器件等。 基于天津大學的氣相法制備連續碳納米管纖維技術，研發碳納米管纖維量產 化技術，制備萬米連續碳納米管纖維材料, 研發碳納米纖維復合材料和相關新材 料，在國內率先推出碳納米纖維新產品，主導國內市場，開拓國際市場。 技術原理與工藝流程簡介： 本方法是一步制備連續碳管纖維的方法，具有工業化應用前景。2010 年天 津大學技術團隊取得關鍵制備技術的突破，紡出千米連續的碳納米管纖維，為產 業化提供了基礎。 氣相紡絲法是以含碳原理和催化劑輸入到高溫爐中，在氣流中生長碳納米管 并組裝成絲，用機械的方法紡出碳納米管纖維的新方法。主要成果包括發明了乙 醇/丙酮混合碳源，發明了水密封反應器和致密碳管纖維的紡絲方法。目前已經 取得連續紡絲數小時數千米連續碳管纖維，在方法、技術和材料性能方面處于國 際領先水平。 應用前景分析及效益預測： 碳納米管的價格范圍較大 2-20000 元/克，價格取決于碳管種類和純度，有 些容易合成，有些受制備限制，尚未量產化。目前市場上多壁管 2000 元/公斤，天津大學科技成果選編 高純碳管價格十倍以上。高純單壁碳管尚未量產，目前仍以克量計，純度 80% 的單壁管價格為 60 美元/克，高純（>90%）單壁管在 1000-2000 美元/克以上。 連續碳管纖維為雙壁管，純度 90%，短期可參考單壁管價格 60-2000 美元/克。 應用領域： 高性能復合材料、導電導熱材料、儲能材料、功能電子和織物，產業領域航 空航天、能源、環境、化工和紡織等。 合作方式及條件： 技術合作與專利轉讓 與國際知名企業和研究單位建立合作,引領碳納米管纖維新產業的發展

本發明提出了一種基于交通狀態識別的交通干線雙向動態綠波控制方法，該方法將基于K均值聚類分析法的交通狀態識別方法和基于數解法的雙向綠波控制模型相結合，能夠根據路網交通狀態的變化動態地調整雙向綠波控制方案。該方法的具體步驟為：交通參數獲取、交通狀態判別、計算各假定的理想信號間距、確定實際信號相對于各理想信號的挪移量、確定合適的理想信號位置、連續行駛通過帶的設計、確定系統帶速。該方法能夠顯著減少城市道路交通流的延誤和停車率，提高城市道路的運行效率，為城市道路綠波控制提供有力的技術支撐。

1、成果簡介 調制（又稱鎖相，Lock-in）紅外熱像 (熱波)無損檢測設備以頻率可調的簡諧波或階躍函數方式對檢測對象進行連續光熱激勵，以紅外熱像的相位、幅值等信息檢測物體的內部缺陷，具有單次檢測面積大、非接觸、可單面檢測、不必拆下總裝后的部件、可在外場使用等優點。是一種適合于大型復合材料和多層膠接結構內部缺陷檢測的可視化檢測設備。與脈沖熱像法相比檢測設備簡單、檢測深度更深，但檢測時間較長。主要檢測對象有：航空航天復合材料結構的內部分層、脫粘；蜂窩結構和夾層結構的內部分層、脫粘、積水；各類多層膠接結構的脫粘；固體發動機絕熱層和包覆層脫粘；壁畫空鼓等。該設備和技術是2001年以來4.5次國家自然科學基金、3次航空科學基金、2次航天支撐技術基金共同資助下的自主創新研究成果，具有自主知識產權，有廣闊的應用前景。 典型技術指標： 加熱功率：1000～4000W； 圖像分辨率：320*240～620*480； 檢測時間：20-300s； 單次檢測面積：500mm*375mm及以上。 具體指標可根據實際需要的技術、經濟性能合理調整。2、應用說明 用于各類材料、結構內部缺陷的無損檢測，如航空、航天復合材料結構的內部分層、脫粘、異物和撞擊損傷，蜂窩結構和夾層結構的內部分層、脫粘、積水，鋁蒙皮和金屬板背面的腐蝕，熱障涂層的內部脫粘、裂紋，固體發動機絕熱層和包覆層脫粘。應用單位有航天二院201所、北京衛星制造廠，技術合作單位有航天6院389廠、北京航空材料研究院。3、效益分析 該設備和技術是自2001年以來4.5次國家自然科學基金、3次航空科學基金、2次航天支撐技術基金共同資助下積累的自主創新研究成果，具有國際先進的技術水平，有臺式、移動、便攜形式，有廣闊的應用前景。

1、成果簡介 脈沖紅外熱像（熱波）無損檢測設備以閃光燈為熱激勵源，以紅外熱成像方式檢測物體的內部缺陷，具有單次檢測面積大、速度快、非接觸、可單面檢測、不必拆下總裝后的部件、可在外場使用等優點。是一種適合于大型復合材料和金屬板殼結構內部缺陷檢測的可視化、數字化、定量化的檢測設備。主要檢測對象有：航空航天復合材料結構的內部分層、脫粘、異物和撞擊缺陷；蜂窩結構和夾層結構的內部分層、脫粘、積水；各類多層膠接結構的脫膠；鋁蒙皮和金屬板背面的腐蝕；熱障涂層的內部脫粘、厚度不均；固體發動機絕熱層和包覆層脫粘；壁畫空鼓，等等。該設備和技術是自2001年以來4.5次國家自然科學基金、3次航空科學基金、2次航天支撐技術基金共同資助下積累的自主創新研究成果，有廣闊的應用前景。 典型技術指標： 脈沖能量：3000～6000J； 圖像分辨率：320*240～640*480； 檢測時間：10～20s； 單次檢測面積：500mm*375mm及以上。 具體指標可根據實際需要的技術、經濟性能合理調整。2、應用說明 用于各類材料、結構內部缺陷的無損檢測，如航空、航天復合材料結構的內部分層、脫粘、異物和撞擊損傷，蜂窩結構和夾層結構的內部分層、脫粘、積水，鋁蒙皮和金屬板背面的腐蝕，熱障涂層的內部脫粘、裂紋，固體發動機絕熱層和包覆層脫粘。應用單位有航天二院201所、北京衛星制造廠，技術合作單位有航天6院389廠、北京航空材料研究院。3、效益分析 該設備和技術是自2001年以來4.5次國家自然科學基金、3次航空科學基金、2次航天支撐技術基金共同資助下積累的自主創新研究成果，具有國際先進的技術水平，有臺式、移動、便攜形式，有廣闊的應用前景。

本系統針對連續小波變換（CWT）對非平衡信號優良的時頻分析性能，采用連續小波變換對來自諸如汽車發動機、柴油機等往復式機械的聲音信號進行消噪和特征提取，然后利用多媒體技術將連續小波消噪和特征提取后的信號轉換成聲音信號進行重新播放，使故障特征能被簡單而清楚的識別，從而改變以前過多依賴于個人經驗進行這方面故障診斷的現狀。本系統對某型汽車發動機進行實驗，證明系統對

高導熱寬頻強吸收吸波彈性體材料通過將氮化硼、石墨烯等二維納米材料進行高效剝離、與納米鐵氧體顆粒雜化、采用高效均勻的混合攪拌和高精度的壓延成型工藝制備而成，具有導熱吸波性能、力學性能好、硬度低等特點，其導熱系數大于3wm-1k-1， 吸收頻寬（RL<-10dB）高達 5GHz，最小反射損耗低于-50dB，達國內先進水平。