一種超精密雙層宏微運動平臺的同步控制系統
本發明公開了一種超精密雙層宏微運動平臺的同步控制系統,該系統包括設置在計算機內的主控制模塊、兩個宏微運動平臺控制模塊和同步控制模塊;兩個宏微運動平臺控制模塊均包括微動平臺控制模塊,跟隨控制模塊,宏動平臺控制模塊,激光測量模塊,以及光柵測量模塊。本發明引入了微動平臺位置轉換器,簡化了微動平臺的控制;提出了力作用轉換器,提高了宏動平臺的跟蹤精度;采用宏動平臺跟蹤微動平臺的控制方式,防止了微動平臺運動飽和的發生,提高了宏微運動平臺的定位精度;采用了雙層宏微運動平臺同步控制器,減小了同步誤差,并改善了雙層宏
華中科技大學
2021-04-14