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一種超精密雙層宏微運動平臺的同步控制系統(tǒng)
2021-04-14 00:00:00
云上高博會
http://www.gxf2npi.xyz
關(guān)鍵詞：
運動平臺
所屬領(lǐng)域:
項目成果/簡介:
本發(fā)明公開了一種超精密雙層宏微運動平臺的同步控制系統(tǒng)，該系統(tǒng)包括設(shè)置在計算機內(nèi)的主控制模塊、兩個宏微運動平臺控制模塊和同步控制模塊；兩個宏微運動平臺控制模塊均包括微動平臺控制模塊，跟隨控制模塊，宏動平臺控制模塊，激光測量模塊，以及光柵測量模塊。本發(fā)明引入了微動平臺位置轉(zhuǎn)換器，簡化了微動平臺的控制；提出了力作用轉(zhuǎn)換器，提高了宏動平臺的跟蹤精度；采用宏動平臺跟蹤微動平臺的控制方式，防止了微動平臺運動飽和的發(fā)生，提高了宏微運動平臺的定位精度；采用了雙層宏微運動平臺同步控制器，減小了同步誤差，并改善了雙層宏
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