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本項(xiàng)目提出一種創(chuàng)新的集成電路(IC)制造工藝路線，即壓印光刻(Imprint Lithography－IL)技術(shù)，并對(duì)該技術(shù)相關(guān)的壓印和脫模工藝機(jī)理、紫外光固化阻蝕膠材料的物化和工藝特性、與IC制造其它工藝的綜合集成和優(yōu)化、壓印光刻設(shè)備的關(guān)鍵技術(shù)等進(jìn)行研究和技術(shù)開發(fā)。其基本原理為：以電子束直寫刻蝕(或其它刻蝕技術(shù))生成IC圖型母板(模具)，以母板(模具)步

防銹幾乎是所有金屬與生俱來的共性，因?yàn)橹灰醒酰捅厝挥薪饘俚难趸兴蜁?huì)有金屬的銹蝕。只要有界面就存在摩擦，相對(duì)應(yīng)的就需要潤(rùn)滑，潤(rùn)滑是隨摩擦產(chǎn)生的，這是在日常生活和科學(xué)技術(shù)領(lǐng)域的任何地方都存在的一種平凡現(xiàn)象；也是現(xiàn)代技術(shù)部門經(jīng)常遇到的最普遍最重要的問題之一。因此防銹潤(rùn)滑脂是一種用途極其廣泛的長(zhǎng)線產(chǎn)品。 防銹主要是為了保障材料的使用性能，延長(zhǎng)其使用壽命。潤(rùn)滑主要是為了使機(jī)械設(shè)備在苛刻的使用條件（如高溫、高速、高負(fù)荷、特殊介質(zhì)環(huán)境）下持續(xù)穩(wěn)定工作，發(fā)揮最大功能，減少維修和停工損耗，節(jié)約能耗和材料消耗，提高綜合經(jīng)濟(jì)效益。由于金屬材質(zhì)和使用環(huán)境的差異，摩擦形式的不同，對(duì)產(chǎn)品有不同的功能要求。為了適應(yīng)用的需要，開發(fā)生產(chǎn)了各種不同用途的潤(rùn)滑脂、防銹劑。 新近開發(fā)的該復(fù)合防銹潤(rùn)滑脂是復(fù)合了多重防銹及潤(rùn)滑于一體的一種膏脂，在高溫120℃和強(qiáng)紫外線照射下不流淌，不流失；在低溫-40℃下不干固、不龜裂；經(jīng)水沖刷不脫落不稀釋；在絲扣縫隙有很好的油浸潤(rùn)性。可用于長(zhǎng)期暴露在野外的螺栓（如鐵路軌道螺栓）的防銹潤(rùn)滑，達(dá)到延長(zhǎng)使用壽命，方便松緊螺栓進(jìn)行保養(yǎng)和維修的目的。產(chǎn)品已在鐵道軌道最惡劣環(huán)境路段的螺栓上做了應(yīng)用試驗(yàn)，其防銹和浸潤(rùn)潤(rùn)滑效果極佳。 本產(chǎn)品也可用于各類傳動(dòng)（齒輪、鏈條、滾球）部位的潤(rùn)滑，也可用于其它長(zhǎng)期暴露在野外露天的螺栓的防銹與潤(rùn)滑，是一種適應(yīng)性較廣的防銹潤(rùn)滑兼?zhèn)涞膶?shí)用型膏脂。

中試階段/n防銹主要是為了保障材料的使用性能，延長(zhǎng)其使用壽命。潤(rùn)滑主要是為了使機(jī)械設(shè)備在苛刻的使用條件（如高溫、高速、高負(fù)荷、特殊介質(zhì)環(huán)境）下持續(xù)穩(wěn)定工作，發(fā)揮最大功能，減少維修和停工損耗，節(jié)約能耗和材料消耗，提高綜合經(jīng)濟(jì)效益。由于金屬材質(zhì)和使用環(huán)境的差異，摩擦形式的不同，對(duì)產(chǎn)品有不同的功能要求。為了適應(yīng)用的需要，開發(fā)生產(chǎn)了各種不同用途的潤(rùn)滑脂、防銹劑。。新近開發(fā)的該復(fù)合防銹潤(rùn)滑脂是復(fù)合了多重防銹及潤(rùn)滑于一體的一種膏脂，在高溫120℃和強(qiáng)紫外線照射下不流淌，不流失；在低溫-40℃下不干固、不龜裂；經(jīng)水沖刷不脫落不稀釋；在絲扣縫隙有很好的油浸潤(rùn)性。可用于長(zhǎng)期暴露在野外的螺栓（如鐵路軌道螺栓）的防銹潤(rùn)滑，達(dá)到延長(zhǎng)使用壽命，方便松緊螺栓進(jìn)行保養(yǎng)和維修的目的。產(chǎn)品已在鐵道軌道最惡劣環(huán)境路段的螺栓上做了應(yīng)用試驗(yàn)，其防銹和浸潤(rùn)潤(rùn)滑效果極佳。。 本產(chǎn)品也可用于各類傳動(dòng)（齒輪、鏈條、滾球）部位的潤(rùn)滑，也可用于其它長(zhǎng)期暴露在野外露天的螺栓的防銹與潤(rùn)滑，是一種適應(yīng)性較廣的防銹潤(rùn)滑兼?zhèn)涞膶?shí)用型膏脂。

本發(fā)明公開了一種用于浸沒式光刻的浸液溫控系統(tǒng)，包括：用 于浸液流動(dòng)的浸液管路，待溫控的浸液通過一管路進(jìn)口進(jìn)入該浸液管 路，溫控處理后的具有穩(wěn)定溫度的浸液通過該浸液管路的出口輸出； 用于對(duì)所述浸液進(jìn)行冷卻的工藝?yán)鋮s液回路，工藝?yán)鋮s液在該回路中 循環(huán)流動(dòng)；以及多個(gè)熱交換器，其沿流向依次布置，所述浸液管路和 工藝?yán)鋮s水回路同時(shí)流經(jīng)每個(gè)熱交換器，并利用各熱交換器分別依次 完成工藝?yán)鋮s液和浸液之間的熱交換，從而通過多次換熱獲得具有穩(wěn) 定溫度的浸液，實(shí)現(xiàn)對(duì)浸液的溫度控制。本發(fā)明的裝置系統(tǒng)采用內(nèi)部 回流結(jié)構(gòu)與多級(jí)熱交換器相結(jié)合，實(shí)現(xiàn)對(duì)浸液溫度的多級(jí)控制，可以 實(shí)現(xiàn)浸沒光刻中對(duì)浸液穩(wěn)定的精確穩(wěn)定的控制，提供溫控效率。 

本發(fā)明公開了一種光刻掩模優(yōu)化設(shè)計(jì)方法，該方法首先依據(jù)表 征掩模的網(wǎng)格格點(diǎn)尺寸大小對(duì)掩模進(jìn)行分級(jí)，在粗網(wǎng)格上快速求解掩 模，然后對(duì)在粗網(wǎng)格上求解得到的掩模進(jìn)行插值傳播到下一級(jí)較細(xì)網(wǎng) 格上進(jìn)行細(xì)化校正，最終實(shí)現(xiàn)了掩模的快速優(yōu)化。 

微納米結(jié)構(gòu)成形是光電子制造中的核心工藝之一。壓印光刻克服了傳統(tǒng)光學(xué)光刻中光學(xué)衍射效應(yīng)的限制，是一種經(jīng)濟(jì)、高效、高分辨的結(jié)構(gòu)成形方法。 正在探索的壓印工藝方法包括：UV-NIL、模板電誘導(dǎo)自組裝納米成形、電潤(rùn)濕驅(qū)動(dòng)納米壓印等。   正在探討壓印光刻的應(yīng)用領(lǐng)域包括：集成電路(IC)、微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)、生物微流控、光波導(dǎo)、光或磁存儲(chǔ)、有機(jī)光電子、平板顯示等器件的制造。

研發(fā)階段/n1、在該方向發(fā)表論文10余篇，Nature子刊，Science子刊各一篇。。2、申報(bào)和獲得該方向相關(guān)發(fā)明專利8項(xiàng)。其中1項(xiàng)授權(quán)轉(zhuǎn)讓給Facebook，Sony和中國(guó)一家企業(yè)。在華中科技大學(xué)申報(bào)5項(xiàng)發(fā)明專利，依托武漢舒博光電技術(shù)有限公司申報(bào)2項(xiàng)發(fā)明專利。。3、研發(fā)出2代超分辨納米光刻樣機(jī)。。4、配備光學(xué)裝備開發(fā)專門團(tuán)隊(duì)，初步建成光學(xué)精密制造和檢測(cè)平臺(tái)。

本發(fā)明公開了一種光刻掩模優(yōu)化設(shè)計(jì)方法，該方法首先依據(jù)表征掩模的網(wǎng)格格點(diǎn)尺寸大小對(duì)掩模進(jìn)行分級(jí)，在粗網(wǎng)格上快速求解掩模，然后對(duì)在粗網(wǎng)格上求解得到的掩模進(jìn)行插值傳播到下一級(jí)較細(xì)網(wǎng)格上進(jìn)行細(xì)化校正，最終實(shí)現(xiàn)了掩模的快速優(yōu)化。

本發(fā)明公開了一種用于浸沒式光刻的浸液溫控系統(tǒng)，包括：用于浸液流動(dòng)的浸液管路，待溫控的浸液通過一管路進(jìn)口進(jìn)入該浸液管路，溫控處理后的具有穩(wěn)定溫度的浸液通過該浸液管路的出口輸出；用于對(duì)所述浸液進(jìn)行冷卻的工藝?yán)鋮s液回路，工藝?yán)鋮s液在該回路中循環(huán)流動(dòng)；以及多個(gè)熱交換器，其沿流向依次布置，所述浸液管路和工藝?yán)鋮s水回路同時(shí)流經(jīng)每個(gè)熱交換器，并利用各熱交換器分別依次完成工藝?yán)鋮s液和浸液之間的熱交換，從而通過多次換熱獲得具有穩(wěn)定溫度的浸液，實(shí)現(xiàn)對(duì)浸液的溫度控制。本發(fā)明的裝置系統(tǒng)采用內(nèi)部回流結(jié)構(gòu)與多級(jí)熱交換器相結(jié)合，

懸賞金額：50萬(wàn)元 發(fā)榜企業(yè)：惠州市強(qiáng)達(dá)電子工業(yè)有限公司 需求領(lǐng)域：特種功能材料 LED前沿與核心技術(shù) 精細(xì)化工 電子材料、半導(dǎo)體材料高分子、復(fù)合材料 產(chǎn)業(yè)集群：先進(jìn)材料產(chǎn)業(yè)集群 技術(shù)關(guān)鍵詞：光刻樹脂; 光刻膠; 特種硅樹脂; 高性能硅橡膠; 紫外光固化技術(shù)