教授

電子信息工程學(xué)院博士

電子信息

河北工業(yè)大學(xué)

主要從事集成電路關(guān)鍵材料-拋光液研發(fā)及產(chǎn)業(yè)化研究，主研完成國(guó)家中長(zhǎng)期發(fā)展規(guī)劃02 重大專項(xiàng)項(xiàng)目“極大規(guī)模集成電路平坦化工藝與材料”及“20-14nm 集成電路拋光液及清洗液研發(fā)”2 項(xiàng)，研究成果已在我國(guó)集成電路龍頭企業(yè)中芯國(guó)際實(shí)施并轉(zhuǎn)化；為河北省“巨人計(jì)劃”創(chuàng)新團(tuán)隊(duì)及河北省電子超精密加工材料與技術(shù)協(xié)同創(chuàng)新中心產(chǎn)業(yè)化應(yīng)用方向負(fù)責(zé)人；中國(guó)高等教育學(xué)會(huì)科技服務(wù)專家指導(dǎo)委員會(huì)委員。獲天津市科學(xué)技術(shù)發(fā)明獎(jiǎng)一項(xiàng)，主研國(guó)家自然科學(xué)基金 1 項(xiàng)及主持完成河北省自然科學(xué)基金 1 項(xiàng)，成果轉(zhuǎn)化 2 項(xiàng)，橫向合作經(jīng)費(fèi) 1000 余萬(wàn)元。發(fā)表 SCI、EI論文 20 余篇，申請(qǐng)及授權(quán)發(fā)明專利 10 余項(xiàng)。

作為負(fù)責(zé)人與北方集成電路技術(shù)創(chuàng)新中心 《北京) 有限公司，簽訂橫向項(xiàng)目“多層銅布線 CMP 新材料與新技術(shù)成果應(yīng)用工程”一項(xiàng)，2021/10- 2024/12，合同金額 600萬(wàn)元，該成果阻擋層拋光液及其應(yīng)用工藝技術(shù)，已經(jīng)通過(guò)了工藝考核、小批量供應(yīng)以及大批量供應(yīng)，電性能、可性均達(dá)標(biāo)，用戶成品率達(dá) 99%以上，工程工藝技術(shù)采用新技術(shù)，大大簡(jiǎn)化，性價(jià)比高、環(huán)保、安全，國(guó)家難一全部材料國(guó)產(chǎn)化，有效解決了卡脖子核心材料，具有椰好的社會(huì)效益與經(jīng)濟(jì)效益!

2021 年 8 月至今，掛職江蘇省宣興市掛職經(jīng)開(kāi)區(qū)科技局副局長(zhǎng)期間，依托河北工業(yè)大學(xué)的人才、學(xué)科優(yōu)勢(shì)以及個(gè)人的專業(yè)優(yōu)勢(shì)，結(jié)合宜興區(qū)域優(yōu)勢(shì)，與江蘇山水半導(dǎo)體科技有限公司進(jìn)行深度校企合作，解決了以中環(huán)領(lǐng)先半導(dǎo)體為代表的的我圍大硅片制造關(guān)鍵原材料“斷供”難題以及多項(xiàng)關(guān)鍵技術(shù)問(wèn)題，良品率達(dá)到和超過(guò)了國(guó)際同類水平，為我國(guó)集成電路產(chǎn)業(yè)鏈與供應(yīng)鏈安全提供有力支撐，簽訂橫向合同 200 余萬(wàn)元，并共建了工程技術(shù)研究中心，為技術(shù)合作和人才培養(yǎng)提供支撐。