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隨著集成電路工藝的進步，MOS管的特征尺寸越來越小，電路的工作電壓也不斷下降，柵氧化層的厚度也越來越薄，在這種趨勢下，將可控硅ESD防護器件的觸發電壓降低到可觀的電壓值內，使用高性能的ESD防護器件來泄放靜電電荷以保護柵極氧化層顯得十分重要。本發明涉及可用于65nm半導體工藝的靜電保護（ESD）器件，特別涉及低電壓觸發的SCR器件。    本發明提供一種采用新型技術減小器件的ESD觸發電壓的PMOS嵌入的低壓觸發用于ESD保護的SCR器件。本發明采用PMOS進行觸發NMOS導通，NMOS的導通電流觸發SCR晶閘管，從而減小SCR器件的ESD觸發電壓。ESD脈沖信號施加在Anode和Cathode之間，PMOS首先被觸發導通，PMOS開通之后，觸發NMOS導通，NMOS導通后，其導通電流觸發晶閘管SCR導通。晶閘管電流（SCR current）導通大部分ESD 電流，從而實驗了ESD保護。

本發明公開了一種用于 ESD 保護的低壓觸發 SCR 器件。本發明創造采用第一 PMOS 和第二 PMOS 分別進行襯底觸發和柵觸發，從而降低 SCR 器件的觸發電壓。 ESD 脈沖信號施加在 Anode 和 Cathode 之間，第一 PMOS 和第二 PMOS 首先被觸發導通，第一 PMOS 開通之后，給 Nwell 施加一觸發電流，第二 PMOS 開通之后給第三 PMOS 施加一觸發電壓。第一 PMOS 施加的 Nwell 觸發電流和第三 PMOS 的溝道電流觸發晶閘管導通，晶閘管電流（ SCR current ）導通大部分 ESD  電流，從而實現了 ESD 保護。

一、 項目簡介NOX作為一種主要的空氣污染物會造成一系列的環境問題，例如光化學煙霧、酸雨、地表水富營養化、臭氧層破壞等。如何有效的消除氮氧化物引起了全球的關注，也是我國大氣環保中的重點。人類活動產生的NOX主要是由燃燒所致，目前, 減少燃燒煙氣中的NOX排放主要有燃燒控制和煙氣脫硝兩種措施。各種控制方法中選擇性催化還原法（SCR）由于兼顧經濟和效率成為火電廠等固定源主要的脫硝技術。其主要技術是在催化劑作用下，用NH3、尿素或者其他烴類為還原劑，把NO、NO2還原為N2和H2O。但是，傳統的脫硝方式存在一些問題：受催化劑活性溫度限制的要求，傳統SCR裝置一般安裝在除塵器和脫硫塔的上游以滿足最佳催化溫度為350-400℃的要求。這種安裝方式會使得煙氣中含有大量的飛灰和SO2，造成催化劑活性的降低和使用壽命的縮短，且增加了現有鍋爐脫硝改造的難度。有的煙氣脫硝SCR裝置也安裝在除塵器之后，但需要安裝煙氣再熱系統才能滿足反應溫度的要求，這樣就帶來能耗增加，從而影響經濟性。因此，研究低溫SCR脫硝技術，保證其在250℃甚至更低的溫度下運行，使得SCR反應器可以安裝在電除塵和脫硫塔之后，具有重要意義。迄今為止，我們的實驗研究已經獲得重要進展，即獲得了在150～250℃之間脫硝效率超過80%的催化劑，其脫硝效率和傳統脫硝方式相當，但溫度卻大大降低，應用前景非常廣闊 。二、 項目技術成熟程度已完成低溫SCR脫硝催化劑的性能實驗工作。三、 技術指標在150～250℃之間，催化劑的脫硝效率超過80%。四、 市場前景在鍋爐等燃燒設備需要脫硝的地方都可以應用，市場前景廣闊。五、 規模與投資需求投資規模1000萬元，廠房及設備設施需求等。六、 生產設備溶解池、干燥爐、金屬切割、焊接等。七、 效益分析按每年生產2000噸計算，可獲利約2000-3000萬。八、 合作方式技術入股，技術轉讓等形式。九、 項目具體聯系人及聯系方式項目負責人和聯系人：茍湘，電話：13652167898，郵箱：[email protected] 。

產品詳細介紹

還原劑是SCR煙氣脫硝必不可少的重要原料。位于大中城市及其近郊區的電廠（人口稠密區的脫硝設施）因安全性要求較高，均宜選用尿素作為還原劑。通過理論研究、實驗室小型實驗、中試、工業示范，開發成功SCR脫硝尿素催化熱解技術。（1）提出了尿素催化熱解反應的合理溫度區間；（2）研發出新型尿素熱解爐；（3）開發出物料及能量平衡計算軟件包。該成果獲北京市科技成果二等獎。

還原劑是SCR煙氣脫硝必不可少的重要原料。位于大中城市及其近郊區的電廠（人口稠密區的脫硝設施）因安全性要求較高，均宜選用尿素作為還原劑。通過理論研究、實驗室小型實驗、中試、工業示范，開發成功SCR脫硝尿素催化熱解技術。（1）提出了尿素催化熱解反應的合理溫度區間；（2）研發出新型尿素熱解爐；（3）開發出物料及能量平衡計算軟件包。

還原劑是SCR煙氣脫硝必不可少的重要原料。位于大中城市及其近郊區的電廠（人口稠密區的脫硝設施）因安全性要求較高，均宜選用尿素作為還原劑。通過理論研究、實驗室小型實驗、中試、工業示范，開發成功SCR脫硝尿素催化熱解技術。 （1）提出了尿素催化熱解反應的合理溫度區間； （2）研發出新型尿素熱解爐； （3）開發出物料及能量平衡計算軟件包。

利于層狀納米材料比表面積大的特點，在碳基柔性襯底上制備了高性能柔性 超級電容器，及葡萄糖傳感器。超級電容器的能量密度最大為50.2Whkg-1,功 率密度為8002 W kg-1 at 17.6 Wh kg-1,充電1分鐘能點亮兩只綠色LED燈3 到5分鐘。性能處于國際先進水平，成果先后發表于JALC0M , 714(2017) 63-70； 763 (2018) 926-934 等。

NOx 選擇性催化還原（SCR）技術在電力和玻璃等行業得到了大規模的推廣應用，但是，傳統的SCR 催化劑需要在 300℃ 運行，難以應用于焦化、冶金化工、酸洗和中小工業鍋爐等行業煙氣脫硝工程。北京工業大學對低溫 SCR 催化劑和低溫 SCR 脫硝工藝進行了長達 10 年的研究，成功地開發出反應溫度為180—400℃的低溫 SCR 催化劑，并將低溫 SCR 催化劑應用于草酸、催化劑和金屬板材酸洗等行業的脫硝工程，也在焦化和玻璃行業進行了煙氣脫硝應用示范工程和工業側線實驗，從而形成了低溫 SCR 催化脫硝技術，為我國解決霧霾污染提供了技術支持。該技術主要創新點是利用離子修飾和摻雜技術提   高了 SCR 催化劑的低溫活性，拓展了 SCR 脫硝技術應用范圍，使低溫煙氣（低于 300℃）催化脫硝成為可能，該項技術處于國內外領先地位。