一種可溯源白光干涉原子力探針自動(dòng)定位工件方法
本發(fā)明公開了一種可溯源白光干涉原子力探針自動(dòng)定位工件方 法,該方法包括如下步驟:在納米級(jí)位移平臺(tái)運(yùn)動(dòng)之前記錄下激光干 涉位移計(jì)量系統(tǒng)的初始位移;接著其在垂直方向上快速產(chǎn)生一個(gè)適量 的位移,在位移發(fā)生后通過零級(jí)條紋的移動(dòng)量是否在閾值范圍內(nèi)來判 斷原子力探針是否定位到工件,而如果納米級(jí)垂直位移平臺(tái)在到達(dá)極 限的位移運(yùn)動(dòng)時(shí)還未定位到工件,記錄下其最終位置,并將納米級(jí)垂 直位移平臺(tái)復(fù)位,重復(fù)上述步驟,直至定位到工件。按照本發(fā)明設(shè)定 的自動(dòng)定位的方法,不受原子力探針與工件之間的距離限制,同時(shí)在定位過程中對(duì)位移進(jìn)行計(jì)量,可實(shí)現(xiàn)可溯源,而采用零級(jí)條紋的移動(dòng) 量來判斷探針是否定位到工件具有定位快速和高精度的顯著效果。
華中科技大學(xué)
2021-04-11