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基于MEMS傳感器和VLC定位融合的單卡爾曼濾波導(dǎo)航裝置和方法
本發(fā)明公開了一種基于MEMS傳感器和VLC定位融合的單卡爾曼濾波導(dǎo)航裝置和方法，包括MEMS傳感器、INS模塊、VLC定位模塊、PDR定位模塊和測(cè)姿定位單卡爾曼濾波器模塊；本發(fā)明基于INS慣導(dǎo)機(jī)械編排的誤差方程作為融合濾波器的系統(tǒng)方程，觀測(cè)方程包括VLC定位信息更新、PDR定位信息更新和磁力計(jì)觀測(cè)量更新。融合濾波器輸出VLC接收器的姿態(tài)給VLC定位模塊，輸出PDR設(shè)備的姿態(tài)給PDR定位模塊以校正姿態(tài)的影響。首次在VLC定位領(lǐng)域使用融合測(cè)姿準(zhǔn)確估計(jì)VLC接收器的姿態(tài)信息，主要解決了VLC定位容易受設(shè)備姿態(tài)影響以及在光信號(hào)被遮擋情況下定位不連續(xù)的問題。
東南大學(xué)
2021-04-11
基于MEMS傳感器和VLC定位融合的雙卡爾曼濾波導(dǎo)航裝置和方法
本發(fā)明公開了一種基于MEMS傳感器和VLC定位融合的雙卡爾曼濾波導(dǎo)航裝置和方法，包括MEMS傳感器、INS模塊、PDR定位模塊、VLC定位模塊以及測(cè)姿定位雙卡爾曼濾波器；對(duì)于測(cè)姿濾波器，基于慣導(dǎo)機(jī)械編排的誤差方程作為系統(tǒng)方程，觀測(cè)方程包括加速度計(jì)觀測(cè)量更新和磁力計(jì)觀測(cè)量更新，輸出姿態(tài)信息給VLC定位模塊和PDR定位模塊以校正姿態(tài)的影響。對(duì)于定位濾波器，二維平面的位置信息作為系統(tǒng)狀態(tài)向量，基于行人航位推算的誤差方程作為系統(tǒng)方程，而VLC的定位結(jié)果為觀測(cè)方程。本發(fā)明的技術(shù)方案解決VLC定位容易受設(shè)備姿態(tài)影響以及在光信號(hào)被遮擋情況下定位不連續(xù)的問題，消除姿態(tài)對(duì)VLC定位的影響。
東南大學(xué)
2021-04-11
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基于體積圖形學(xué)的MEMS工藝仿真系統(tǒng)
項(xiàng)目的背景及目的 本軟件是MEMS器件的設(shè)計(jì)人員的輔助工具，通過該軟件設(shè)計(jì)人員可以在實(shí)際生產(chǎn)之前提前預(yù)覽到所設(shè)計(jì)器件的三維幾何形狀，如果不符合要求可以進(jìn)行重新設(shè)計(jì)或者對(duì)原來設(shè)計(jì)進(jìn)行修改。這樣可以大大的降低設(shè)計(jì)的成本和時(shí)間，為MEMS設(shè)計(jì)人員提供較為感性的認(rèn)識(shí)。 技術(shù)原理與工藝流程 基于體積圖形學(xué)的MEMS工藝仿真系統(tǒng)需要結(jié)合體積圖形學(xué)和專家系統(tǒng)以及物理模型，最終實(shí)現(xiàn)MEMS典型工藝的真實(shí)模
南開大學(xué)
2021-04-14
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新型氣敏材料及MEMS氣敏器件的研究
復(fù)旦大學(xué)微電子學(xué)院教授盧紅亮團(tuán)隊(duì)首次結(jié)合硬模板法、原子層沉積技術(shù)和水熱工藝，在低功耗MEMS器件上原位合成了單層有序SnO2納米碗支化ZnO納米線的多級(jí)異質(zhì)復(fù)合納米材料，并以此作為氣體傳感器，對(duì)濃度低至1 ppm的硫化氫實(shí)
復(fù)旦大學(xué)
2021-01-12
最新的MEMS陀螺儀--HTG系列陀螺儀
產(chǎn)品詳細(xì)介紹 最新的MEMS陀螺儀--HTG系列陀螺儀 MEMS陀螺儀HTG系列簡(jiǎn)介：最新的MEMS陀螺儀--HTG系列陀螺儀是用來測(cè)量角速率的固態(tài)傳感器, 采用MEMS芯片，制造采用BIMOS生產(chǎn)工藝和載流焊工藝技術(shù)。HTG系列MEMS陀螺儀具有高可靠性和高封裝堅(jiān)固性;可用于慣性測(cè)量元件、高可靠性的汽車電子、導(dǎo)彈制導(dǎo)和控制、飛行器穩(wěn)定控制、天線穩(wěn)定、攝像、數(shù)碼攝影、機(jī)器人等系統(tǒng)。 MEMS陀螺儀HTG系列性能參數(shù)：
陜西航天長(zhǎng)城科技有限公司
2021-08-23
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一種基于 MEMS 的智能服裝及其制作方法
本發(fā)明公開了一種基于 MEMS 的智能服裝及其制備方法，可用于采集心電、心音等人體生理參數(shù)，該智能服裝的功能是通過將柔性傳感器陣列薄膜與紡織品整合的方式來實(shí)現(xiàn)的：首先，在晶圓上采用MEMS 技術(shù)分別制作出聲/電換能器及其電氣互聯(lián)結(jié)構(gòu)。其次，在晶圓的反面刻蝕出硅島圖形，使得每個(gè)傳感器之間相互孤立。再次，在晶圓的正反面旋涂上聚合物，并對(duì)其進(jìn)行光刻圖形化出傳感器窗口以及縫紉孔，即得到柔性傳感器陣列薄膜。聚合物起到對(duì)傳感器的保護(hù)作用，縫紉孔可用于讓導(dǎo)電纖維將傳感器傳感器陣列薄膜與紡織品縫合于一體，即得到有特
華中科技大學(xué)
2021-04-14
一種 MEMS 陀螺儀芯片雙面陽(yáng)極鍵合工藝
本發(fā)明提出這樣一種陽(yáng)極鍵合工藝方法：將 MEMS 陀螺儀器件層沉積到臨時(shí)高分子襯底上，完成金屬電極沉積和 MEMS 結(jié)構(gòu)刻蝕之后，將臨時(shí)高分子襯底用化學(xué)機(jī)械拋光的方法去除。去除之后，將玻璃基體和玻璃蓋帽分別緊貼 MEMS 結(jié)構(gòu)的兩側(cè)，加電加熱后一次完成雙面陽(yáng)極鍵合。這種工藝方法與傳統(tǒng)的兩次陽(yáng)極鍵合分兩步進(jìn)行相比，更加節(jié)省成本，而且避免了第二次陽(yáng)極鍵合對(duì)第一次陽(yáng)極鍵合強(qiáng)度削弱這個(gè)固有缺點(diǎn)，使得產(chǎn)品可靠性提高。
華中科技大學(xué)
2021-04-14
一種基于位移差分的 MEMS 重力梯度儀
本發(fā)明公開了一種基于位移差分的 MEMS 重力梯度儀。包括第一振子單元和第二振子單元；前者包括第一外圍框架和與第一外圍框架通過第一組梁連接的第一檢驗(yàn)質(zhì)量，后者包括第二外圍框架和與第二外圍框架通過第二組梁連接的第二檢驗(yàn)質(zhì)量，第一組梁和第一檢驗(yàn)質(zhì)量構(gòu)成第一機(jī)械振子，第二組梁和第二檢驗(yàn)質(zhì)量構(gòu)成第二機(jī)械振子，第一振子單元和第二振子單元相向正對(duì)設(shè)置，第一機(jī)械振子和第二機(jī)械振子的敏感軸位于同一直線上，第一檢驗(yàn)質(zhì)量上的電容陣列與第二檢驗(yàn)質(zhì)量上的電容陣列構(gòu)成位移檢測(cè)電容，通過位移檢測(cè)電容測(cè)得檢驗(yàn)質(zhì)量的位移差進(jìn)而得到
華中科技大學(xué)
2021-04-14
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系列化主被式上下肢關(guān)節(jié)運(yùn)動(dòng)康復(fù)器
針對(duì)腦卒中與關(guān)節(jié)損傷高發(fā)趨勢(shì)，本產(chǎn)品基于康復(fù)醫(yī)學(xué)理論研發(fā)多關(guān)節(jié)智能康復(fù)產(chǎn)品，覆蓋肘、膝、踝、腕等上下肢關(guān)鍵關(guān)節(jié)，通過對(duì)關(guān)節(jié)的反復(fù)訓(xùn)練，增強(qiáng)關(guān)節(jié)本體感覺，打開活動(dòng)度，推動(dòng)神經(jīng)系統(tǒng)重組代償，助力關(guān)節(jié)功能恢復(fù)。
本產(chǎn)品實(shí)現(xiàn)多項(xiàng)突破，運(yùn)用高精度傳感器，精準(zhǔn)捕捉關(guān)節(jié)運(yùn)動(dòng)微小變化，實(shí)現(xiàn)人機(jī)互動(dòng)與實(shí)時(shí)康復(fù)數(shù)據(jù)反饋；結(jié)合自適應(yīng)算法實(shí)現(xiàn)動(dòng)態(tài)重力補(bǔ)償，精準(zhǔn)調(diào)控角度/速度/力矩三維參數(shù)，通過循跡坐標(biāo)點(diǎn)樣線擬合生理運(yùn)動(dòng)軌跡；創(chuàng)新集成多訓(xùn)練模式切換系統(tǒng)，滿足全康復(fù)周期需求；產(chǎn)品兼具硬/軟件雙重安全防護(hù)，提高產(chǎn)品安全性。
腕關(guān)節(jié)康復(fù)器
前臂康復(fù)器
肘關(guān)節(jié)康復(fù)器
膝關(guān)節(jié)康復(fù)器
踝關(guān)節(jié)康復(fù)器
吉林大學(xué)
2025-05-19
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一種基于 MEMS 系統(tǒng)的高靈敏度高分辨率的 微型溫度傳感器及監(jiān)測(cè)方法
本發(fā)明涉及一種基于 MEMS 系統(tǒng)的高靈敏度高分辨率的微型溫度傳感器及監(jiān)測(cè)方法，包括兩組 V 型彎曲梁組件，其中每組 V 型彎曲梁組件包括若干上下疊放的 V 型梁，所述每組 V 型彎曲梁組件的所 有 V 型梁同中心，且同時(shí)固定在一個(gè)固定塊上；兩組 V 型彎曲梁組件通過連接桿與固定在一個(gè)杠桿的 一端，所述杠桿另一端設(shè)有壓電陶瓷，壓電陶瓷的上下斷面分別是接電的上電極和下電極。本發(fā)明可以 感應(yīng)極其微小的溫度變化并且將之轉(zhuǎn)換為較大的電信號(hào)輸出，能夠顯著
武漢大學(xué)
2021-04-14