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MEMS慣性測量單元
慣性測量單元（Inertial Measurement Unit，簡稱IMU）是測量物體三軸姿態角（或角速度）以及加速度的裝置。IMU屬于捷聯式慣導，該系統由兩個加速度傳感器與三個速度傳感器（陀螺）組成，加速度計測量物體在載體坐標系統獨立三軸的加速度信號，而陀螺檢測載體相對于導航坐標系的角速度信號，測量物體在三維空間中的角速度和加速度，并以此解算出物體的姿態。在導航中有著很重要的應用價值。
電子科技大學
2021-04-10
MEMS慣性測量單元
成果簡介： 慣性測量單元（Inertial Measurement Unit，簡稱IMU）是測量物體三軸姿態角（或角速度）以及加速度的裝置。IMU屬于捷聯式慣導，該系統由兩個加速度傳感器與三個速度傳感器（陀螺）組成，加速度計測量物體在載體坐標系統獨立三軸的加速度信號，而陀螺檢測載體相對于導航坐標系的角速度信號，測量物體在三維空間中的角速度和加速度，并以此解算出物體的姿態。在導航中有著很重要的應用價值。 技術指標 技術指標 單位 型號 UESTCME-1 UESTCME-2 UESTCME-3 軸數 個 3 3 3 加速度量程 ±10g ±35g ±35g 加速度精度 2.8 5.5 11 加速度靈敏度 mV/g 100±2 20±1 40±1 加速度零點穩定性 mg/hr 15 60 40 加速度溫度漂移 % <2% <2% <2% 角速度量程 o/s ±150 ±300 ±300 角度精度 度 0.1 0.2 0.1 角度靈敏度 mV/o/s 6±1 6±1 25±1 角度零點漂移 o/hr 0.3 1.0 0.3 角度溫度漂移 % <2% <5% <2%
電子科技大學
2017-10-23
MEMS氣象站
MEMS氣象站可實現溫度、濕度、壓力和風速等信息的實時監測。
東南大學
2021-04-13
基于MEMS技術的傳感器及數據記錄儀
在空氣動力學研究、飛行器及發動機試驗、風洞試驗、流體力學及水工試驗、水輪機及 水下兵器試驗、生物醫學應用，化爆或核爆沖擊波等許多研究中，出于對不改變被測流場的 考慮或受安放位置局限，必須原位測壓時，常常對傳感器的外形尺寸的微型化有較為苛刻的 要求，以期在不干擾流場狀態情況下，復現動態流場的變化規律。XJG4 微型壓力傳感器正 是為這些應用開發的，它采用了微型化設計的微機械加工工藝制成集成壓阻力敏元件，進行 精致巧妙的微型封裝，通常外徑在Φ8mm 到Φ15mm、長度不超過 25mm，并且可按照用戶要求 的形狀與尺寸定制。微型壓力傳感器系列以其小巧的外形、高輸出、高溫、優異的動態和靜 態特性以及極高的可靠性而顯示其特色。
西安交通大學
2021-04-10
非硅MEMS 技術及其應用
1988年國際上提出的MEMS(MicroElectroMechanical System)技術是將IC工藝和機電設計相結合制造微傳感器、微執行器和微系統的新技術，也稱硅MEMS。作為對硅MEMS的補充和發展，非硅材料種類繁多、性能各異，能滿足不同應用領域的需求，我們在國家863 計劃等項目支持下于九十年代初首先提出并創立了非硅MEMS技術。 提出非硅MEMS新概念和總體思路；開發了以金屬基為主的多種材料兼容的非硅表面微加工、高深寬比三維微加工等成套非硅微加工技術，為非硅MEMS發展奠定了良好基礎；把經典原理和非硅微加工結合，開發了一系列壓電、靜電、磁電、微流體、慣性等種類的微器件和微系統，形成若干具有完全知識產權的專利群；并將非硅MEMS應用于生物芯片、微引信、信息、光器件、復合膜模具、國防武器、非硅MEMS生產線等眾多領域，取得了顯著的經濟、社會效益，推動和引領了我國非硅MEMS技術的應用和發展。 非硅MEMS技術及其應用獲得國家技術發明二等獎2項（2008，2000），省部一等獎4項，獲2009年中國工業博覽會創新獎；授權發明專利200多項；出版MEMS專著6部。
上海交通大學
2021-04-13
寬量程MEMS風速風向傳感器設計與制造關鍵技術及應用
"該成果獲2018年度高等學校科學研究優秀成果獎（科學技術）技術發明類一等獎。1. 針對MEMS風速風向傳感器低風速誤差大、高風速難以測量的問題，發明了風速風向傳感器深槽隔熱結構，降低了襯底橫向熱傳導，提高了靈敏度，降低了測量誤差，擴大了傳感器的量程。 2. 針對MEMS風速風向傳感器高風速難以測量的問題，建立了傳感器系統級模型，實現了閉環控制；提出了風速風向傳感器的溫度自平衡測控方法，實現了60m/s的量程，解決了長期以來風速風向傳感器量程難以提高的技術難題。 3. 針對MEMS風速風向傳感器野外工作防護技術問題，發明了風速風向傳感器的陶瓷圓片級倒裝封裝技術，提出了導熱凸點與導電凸點結構及工藝技術；發明了傳感器嵌入式組裝結構，突破了傳感器野外工作的可靠性技術瓶頸。 4. 針對MEMS風速風向傳感器受環境溫度、濕度影響問題，在國際上首次建立了風速風向傳感器的濕度效應模型；基于傳感器材料與結構的溫度特性，建立了風速風向傳感器溫度效應模型，保障了傳感器長期工作的穩定性。 "
東南大學
2021-04-13
一種 MEMS 器件的封裝方法
本發明公開了一種 MEMS 器件的封裝方法，包括 S1 在框架基 板與封蓋的內表面上對稱附著圖形化的過渡金屬化層和釬料層；S2 在 框架基板的釬料層上附著圖形化的自蔓延多層膜；S3 將芯片鍵合固定 在框架基板上并實現信號互連；S4 將固定有芯片的框架基板與封蓋進 行除氣除濕處理后對準堆疊形成封裝結構；S5 對封裝結構施加壓力、 預熱后引燃自蔓延多層膜，自蔓延多層膜燃燒并熔化釬料層實現冶金 互連。本發明將封蓋直接與框架
華中科技大學
2021-04-14
基于MEMS傳感器和VLC定位融合的雙粒子濾波導航裝置和方法
本發明公開了一種基于MEMS傳感器和VLC定位融合的雙粒子濾波導航裝置和方法，包括MEMS傳感器、INS模塊、PDR定位模塊、VLC定位模塊、測姿粒子濾波器和定位粒子濾波器；本發明在測姿濾波器的設計中，三維姿態誤差和三軸陀螺儀漂移作為6維的狀態向量。基于慣導機械編排的誤差方程作為其系統方程，用于更新粒子狀態。觀測方程包括加速度計觀測量更新和磁力計觀測量更新，用于計算粒子權重。測姿濾波器輸出VLC接收器的姿態給VLC定位模塊以校正姿態的影響。在定位濾波器的設計中，二維平面的位置信息作為系統狀態向量，基于行人航位推算的誤差方程作為系統方程，而VLC的定位結果則作為定位濾波器的觀測方程。
東南大學
2021-04-11
基于MEMS傳感器和VLC定位融合的單粒子濾波導航裝置和方法
本發明公開了一種基于MEMS傳感器和VLC定位融合的單粒子濾波導航裝置和方法，包括MEMS傳感器、INS模塊、VLC定位模塊、PDR定位模塊和測姿定位單粒子濾波器模塊；本發明中基于INS慣導機械編排的誤差方程作為融合濾波器的系統方程，用于對粒子群的粒子進行更新。觀測方程包括VLC定位信息更新、PDR定位信息更新和磁力計觀測量更新，用于計算各個粒子的權重。輸出姿態信息給VLC定位模塊和PDR定位模塊。本發明首次在VLC定位領域使用融合測姿準確估計VLC接收器的姿態信息，解決VLC定位容易受接收器姿態影響以及在光信號被遮擋情況下定位不連續的問題，并消除姿態對VLC定位的影響。
東南大學
2021-04-11
基于MEMS的胰島素泵系統
已有樣品/n該研究得到科技部“863計劃”資助（編號：2005AA404220），旨在研制與無損血糖監測耦聯的閉環式人工胰島微系統，將檢測和治療系統集成。減小系統體積、減輕重量，提高可靠性，方便使用；集成血糖儀、微泵、硅針、微流通道與控制系統于一體，實現無痛化注射。成果的先進性或獨特性：該研究研制與無損血糖監測耦聯的閉環式人工胰島微系統，將檢測和治療系統集成。減小系統體積、減輕重量，提高可靠性，方便使用；集成血糖儀、微泵、硅針、微流通道與控制系統于一體，實現無痛化注射。目
武漢大學
2021-01-12