非硅MEMS 技術(shù)及其應用
1988年國際上提出的MEMS(MicroElectroMechanical System)技術(shù)是將IC工藝和機電設計相結(jié)合制造微傳感器、微執(zhí)行器和微系統(tǒng)的新技術(shù),也稱硅MEMS。作為對硅MEMS的補充和發(fā)展,非硅材料種類繁多、性能各異,能滿足不同應用領(lǐng)域的需求,我們在國家863 計劃等項目支持下于九十年代初首先提出并創(chuàng)立了非硅MEMS技術(shù)。 提出非硅MEMS新概念和總體思路;開發(fā)了以金屬基為主的多種材料兼容的非硅表面微加工、高深寬比三維微加工等成套非硅微加工技術(shù),為非硅MEMS發(fā)展奠定了良好基礎(chǔ);把經(jīng)典原理和非硅微加工結(jié)合,開發(fā)了一系列壓電、靜電、磁電、微流體、慣性等種類的微器件和微系統(tǒng),形成若干具有完全知識產(chǎn)權(quán)的專利群;并將非硅MEMS應用于生物芯片、微引信、信息、光器件、復合膜模具、國防武器、非硅MEMS生產(chǎn)線等眾多領(lǐng)域,取得了顯著的經(jīng)濟、社會效益,推動和引領(lǐng)了我國非硅MEMS技術(shù)的應用和發(fā)展。 非硅MEMS技術(shù)及其應用獲得國家技術(shù)發(fā)明二等獎2項(2008,2000),省部一等獎4項,獲2009年中國工業(yè)博覽會創(chuàng)新獎;授權(quán)發(fā)明專利200多項;出版MEMS專著6部。
上海交通大學
2021-04-13