MEMS?壓力傳感器
已有樣品/n已完成針對低、中、高壓(10kPa-40MPa)MEMS 壓力芯片的原型器件開發(fā);能 夠針對不同應(yīng)用領(lǐng)域的 MEMS 壓力芯片進行優(yōu)化設(shè)計,解決提高靈敏度和降低非線 性、芯片長期工作穩(wěn)定性的關(guān)鍵技術(shù)難題;原型芯片的研發(fā)技術(shù)符合工程量產(chǎn)化技 術(shù)要求,易于快速轉(zhuǎn)化和量產(chǎn);與國外知名公司產(chǎn)品相比,技術(shù)指標(biāo)相當(dāng),部分指 標(biāo)如靈敏度溫漂系數(shù)相比優(yōu)異。 MEMS壓力傳感器可應(yīng)用于工業(yè)類儀器儀表、油井勘探、工業(yè)自動化控制中壓力 監(jiān)測、可穿戴、智慧醫(yī)療領(lǐng)域壓力測量、汽車電子等領(lǐng)域。年需求量可達數(shù)千萬只。
中國科學(xué)院大學(xué)
2021-01-12